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Twenty-nine million intrinsic Q-factor monolithic microresonators on thin-film lithium niobate

Photonics Research 2024年第8期12卷 I0001-I0006页

作者： XINRUI ZHU YAOWEN HU SHENGYUAN LU HANA KWARNER XUDONG LI YUNXIANG SONG LETÍCIA MAGALHÃES AMIRHASSAN SHAMS-ANSARI andrea cordaro NEIL SINCLAIR MARKO LONČAR John A.Paulson School for Engineering and Applied Sciences Harvard UniversityCambridgeMassachusetts 02138USA State Key Laboratory for Mesoscopic Physics and Frontiers Science Center for Nano-optoelectronics School of PhysicsPeking UniversityBeijing 100871China DRS Daylight Solutions San DiegoCalifornia 92127USA

The recent emergence of thin-film lithium niobate(TFLN)has extended the landscape of integrated *** has been enabled by the commercialization of TFLN wafers and advanced nanofabrication of TFLN such as high-quality dry ***,fabrication imperfections still limit the propagation loss to a few dB/m,restricting the impact of this ***,we demonstrate TFLN microresonators with a record-high intrinsic quality(Q)factor of twenty-nine million,corresponding to an ultra-low propagation loss of 1.3 dB/*** present spectral analysis and the statistical distribution of Q factors across different resonator *** work pushes the fabrication limits of TFLN photonics to achieve a Q factor within 1 order of magnitude of the material limit.

关键词： resonator lithium film

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