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Twenty-nine million intrinsic Q-factor monolithic microresonators on thin-film lithium niobate

Photonics Research 2024年第08期12卷 1587-1592页

作者： XINRUI ZHU YAOWEN HU SHENGYUAN LU HANA K.WARNER XUDONG LI YUNXIANG SONG LETíCIA MAGALH?ES amirhassan shams-ansari ANDREA CORDARO NEIL SINCLAIR MARKO LON?AR John A.Paulson School for Engineering and Applied Sciences Harvard University State Key Laboratory for Mesoscopic Physics and Frontiers Science Center for Nano-optoelectronics School of Physics Peking University DRS Daylight Solutions

The recent emergence of thin-film lithium niobate(TFLN) has extended the landscape of integrated *** has been enabled by the commercialization of TFLN wafers and advanced nanofabrication of TFLN such as high-quality dry etching. However, fabrication imperfections still limit the propagation loss to a few dB/m, restricting the impact of this platform. Here, we demonstrate TFLN microresonators with a record-high intrinsic quality(Q) factor of twenty-nine million, corresponding to an ultra-low propagation loss of 1.3 dB/m. We present spectral analysis and the statistical distribution of Q factors across different resonator geometries. Our work pushes the fabrication limits of TFLN photonics to achieve a Q factor within 1 order of magnitude of the material limit. ? 2024 Chinese Laser Press

关键词： Coupled resonators Integrated photonics Lithium niobate Q factor Ring resonators Scanning electron microscopy

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