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Influence of roughness on the detection of mechanical characteristics of low-k film by the surface acoustic waves

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Chinese Physics B 2014年第10期23卷 424-428页

作者：肖夏陶冶孙远 School of Electronic and Information Engineering Tianjin University

The surface acoustic wave （SAW） technique is a precise and nondestructive method to detect the mechanical charac- teristics of the thin low dielectric constant （low-k） film by matching the theoretical dispersion curve with the experimental dispersion curve. In this paper, the influence of sample roughness on the precision of SAW mechanical detection is inves- tigated in detail. Random roughness values at the surface of low-k film and at the interface between this low-k film and the substrate are obtained by the Monte Carlo method. The dispersive characteristic of SAW on the layered structure with rough surface and rough interface is modeled by numerical simulation of finite element method. The Young＇s moduli of the Black DiamondTM samples with different roughness values are determined by SAWs in the experiment. The results show that the influence of sample roughness is very small when the root-mean-square （RMS） of roughness is smaller than 50 nm and correlation length is smaller than 20 μm. This study indicates that the SAW technique is reliable and precise in the nondestructive mechanical detection for low-k films.

关键词： low-k film mechanical character detection rough surface rough interface surface acoustic wave

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2节点6自由度直梁单元

湖南科技大学学报（自然科学版） 2004年第4期19卷 29-32页

作者：娄平曾庆元中南大学土木建筑学院湖南长沙410075

利用构造形函数的方法,得到了2节点6自由度直梁单元形函数表达式,运用变分原理,对梁单元的总势能进行变分导出梁单元的刚度矩阵和节点荷载列阵.以集中荷载作用下的Winkler基础梁为例,分别用2节点4自由度和2节点6自由度梁单元的有限元法... 详细信息

利用构造形函数的方法,得到了2节点6自由度直梁单元形函数表达式,运用变分原理,对梁单元的总势能进行变分导出梁单元的刚度矩阵和节点荷载列阵.以集中荷载作用下的Winkler基础梁为例,分别用2节点4自由度和2节点6自由度梁单元的有限元法计算了梁中点的位移和截面弯矩,计算结果表明:在相同精度的条件下,用2节点6自由度梁单元的有限元法有利于提高计算效率.图4,表1,参12.

关键词：直梁单元形函数刚度矩阵节点荷载列阵铁路轨道

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多次反射法透射式能见度测量系统研究

山东科学 2011年第6期24卷 67-70页

作者：赵力万晓正齐勇付晓曹乃锋陈世哲山东省海洋环境监测技术重点实验室山东省科学院海洋仪器仪表研究所山东青岛266001

针对透射式能见度测量系统占地面积大、长距离光路上不能有遮挡的不足,提出一种多次反射法透射式能见度测量系统。利用反射镜组构成开放式采样气室,使光线多次反射达到测量所需的光程,具备透射法能见度检测高精度优点的同时,大大缩小系... 详细信息

针对透射式能见度测量系统占地面积大、长距离光路上不能有遮挡的不足,提出一种多次反射法透射式能见度测量系统。利用反射镜组构成开放式采样气室,使光线多次反射达到测量所需的光程,具备透射法能见度检测高精度优点的同时,大大缩小系统占地面积;采用位移调节器实现差分大气消光系数测量,具有抗环境污染能力强和测量灵敏度可调等独特优点,有效提高系统的适应性和可靠性。对设计的系统进行精度估算,证明了方法的可行性,为能见度测量提供了新方法。

关键词：能见度透射式多次反射差分测量

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时间基线视差法在形变测量中的应用探索

山东建筑工程学院学报 2001年第3期16卷 19-24页

作者：于承新李妍宋传增郝光荣李宪立丁宁全锦山东建筑工程学院科研处山东济南250014 武汉大学湖北武汉430070 山东建筑工程学院土木工程系山东济南250014

数码相机属于非测量相机 ,它没有框标及定向设备 ,不能得到摄影瞬间的内、外方位元素的初始值。因此用数码相机获取的测量数据传统解法无法计算处理。我们在钢结构变形实验中使用数码相机进行监测 ,测量数据利用时间基线视差法处理 ,采... 详细信息

数码相机属于非测量相机 ,它没有框标及定向设备 ,不能得到摄影瞬间的内、外方位元素的初始值。因此用数码相机获取的测量数据传统解法无法计算处理。我们在钢结构变形实验中使用数码相机进行监测 ,测量数据利用时间基线视差法处理 ,采用“直线内插法”有效地减弱数码相机内、外方位元素不稳定以及外界环境条件的影响 ,取得了成果分析精度达 2 / 10 0 0的效果。

关键词：时间基线视差法钢结构变形测量

Simulation and Optimum of Die Structure in RR Forging Process of Crankshaft by FEM

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Simulation and Optimum of Die Structure in RR Forging Proces...

Error Compensation of Magnetic Flux Leakage Inspecting Based on Multi-sensor Fusion

The Fourth International Conference on Physical and Numerical Simulation of Materials Processing (ICPNS’2004)

作者： Yingbiao LIANQ Jiansheng LIU and Huiqin CHEN Advanced Material Processing Center, Taiyuan Heavy machinery Institute

Reasonable design of die structure has much influence on shape dimension and precision of the formed crank-arm with a non elliptical section. The RR process of the 12V240 crankshaft and die structure are designed and studied by the TFORM3 software of 3D rigid plastic FEM. A new design scheme of die structure to prevent generation of forming defect is put forward, and it can enhance the restrain of dies to deformation of billets in the process by means of improving geometrical design of section on die cavities and changing the angel of the horizontal upsetting surfaces of dies. Thus, this offers a scientific basis for optimum design of the process and dies.

关键词： Crankshaft RR Upsetting 3D Rigid-plastic

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Error Compensation of Magnetic Flux Leakage Inspecting Based...

第三届国际仪器科学技术学术研讨会

作者： CHEN Tian-lu a QUE Pei-wen a QIAO Li-yan b aInstitute of Automatic Detection Shanghai Jiaotong university bInstitute of Automation Measurement and Control Harbin Institute of technology

The equipment inspecting the transportation pipelines of oil and gas works with high temperature and high pressure. The sensors in the equipment used to test the leakage of magnetic flux are sensitive

关键词： error compensation data fusion RBF magnet sensitive sensor MFL

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灰色动态预测模型在货币供应量预测中的应用

太原理工大学学报（社会科学版） 2004年第2期22卷 40-43页

作者：吴玉鸣李永福华东师范大学区域经济研究所上海200062 太原理工大学文学院山西太原030024

在对金融系统中货币供应量的预测进行相关研究的基础上,介绍了符合金融系统预测规律的灰色系统动态预测法,并根据中国货币供应量的实际数据进行了实证的预测检验。结果显示,这种方法简单,不需要借助于其他任何时间序列数据,需要数据量少... 详细信息

在对金融系统中货币供应量的预测进行相关研究的基础上,介绍了符合金融系统预测规律的灰色系统动态预测法,并根据中国货币供应量的实际数据进行了实证的预测检验。结果显示,这种方法简单,不需要借助于其他任何时间序列数据,需要数据量少,预测精确度高,对于近期预测尤其准确,也可进行中长期预测;实证预测结果也符合我国金融系统中货币供应量预测的实际。

关键词：金融系统 GM(1,1)模型货币供应量灰色动态预测

Soft-measuring Approach to On-line Predict BOD Based on PCA Time-Delay Neural Network

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Soft-measuring Approach to On-line Predict BOD Based on PCA ...

第五届全球智能控制与自动化大会会议

作者： Weili Ran Junfei Qiao Xudong Ye School of Electronic and Control Engineering Beijing university of technology Beijing 100022FuXin Power Supply Corporation Fuxin Liaoning 123000

＜正＞ In monitoring and controlling wastewater treatment processes, on-line information of some essential wastewater parameters is inaccessible. In order to acquire the real time data and contribute to real time closed loop control, a soft-measuring approach applied in wastewater quality measurement is put forward based on PCA time-delay neural network. It is composed of three elements: principal components analysis, time-delay neural network and model updating, where the offline model is trained through the algorithm GABP. This model, which is of good real-time property, good stability, high precision and easy updating, can be applied to on-line predict wastewater BOD.

关键词： Soft-measurement Time-Delay Neural Network (TDNN) PCA On-line Predict

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基于CPLD的相位差测量方法研究及实现

天津科技大学学报 2004年第3期19卷 59-61页

作者：贾方亮田立国郝立果王春鹤天津职业技术师范学院自动化系天津300222

针对传统相位测量方法测量精度不高、抗干扰能力差等缺点,采用复杂可编程逻辑器件CPLD和单片机的综合技术,应用CPLD进行相位和频率检测,单片机进行数据处理和显示,有效提高了检测精度和抗干扰能力。系统中的各种测量数据可通过液晶显示... 详细信息

针对传统相位测量方法测量精度不高、抗干扰能力差等缺点,采用复杂可编程逻辑器件CPLD和单片机的综合技术,应用CPLD进行相位和频率检测,单片机进行数据处理和显示,有效提高了检测精度和抗干扰能力。系统中的各种测量数据可通过液晶显示屏显示,并且具有日历,时间和掉电保护装置,具有良好的人机界面。

关键词：复杂可编程逻辑器件单片机相位测量