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晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

西北工业大学学报 2007年第4期25卷 508-511页

作者：黄杏利傅增祥杨红艳马彬睿西北工业大学材料科学与工程学院西北工业大学生命科学院陕西西安710072

在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术。随着晶圆直径的增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现"过磨(over-grinding)"现象,降低了平坦度和晶圆利用率。在晶圆外部施加保持环可以把晶圆中心处和边缘处的抛光... 详细信息

在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术。随着晶圆直径的增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现"过磨(over-grinding)"现象,降低了平坦度和晶圆利用率。在晶圆外部施加保持环可以把晶圆中心处和边缘处的抛光垫压平到一致高度,克服晶圆边缘的"过磨"现象。由此说明,保持环上施加的压力起着至关重要的作用。在实际中,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP加工后晶圆边缘效应的规律不可行,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,需要借助其它方法预测该压力。文中采用有限元模拟的方法分析保持环压力,得出了保持环压力与晶圆压力比值的最优值,并且研究了晶圆与保持环的间隙对最优压力的影响规律。针对不同CMP工艺,保持环压力能够迅速确定,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。

关键词：化学机械抛光(CMP) 晶圆保持环有限元方法(FEM)

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铝/钛/钢爆炸复合板性能研究

热加工工艺 2011年第16期40卷 103-105页

作者：黄杏利汪洋徐鹏郝红卫西安天力金属复合材料有限公司陕西西安710201 陕西省层状金属复合材料工程研究中心陕西西安710201

通过试验加工了船用铝/钛/钢(5083/1060/TA1/CCS-B)爆炸焊接复合板,并对其结合质量、力学性能及界面形态进行了研究。结果表明,将纯铝板1060和钛板TA1作为中间过渡层后,复合板的结合质量良好,且铝/钛界面的剪切强度达到85MPa以上,其力... 详细信息

通过试验加工了船用铝/钛/钢(5083/1060/TA1/CCS-B)爆炸焊接复合板,并对其结合质量、力学性能及界面形态进行了研究。结果表明,将纯铝板1060和钛板TA1作为中间过渡层后,复合板的结合质量良好,且铝/钛界面的剪切强度达到85MPa以上,其力学性能也均达到了相应标准;钛/钢界面呈规则的正弦波形,产生了较明显的塑性变形;铝/钛界面比较平直,波长较大,波幅较小。

关键词：爆炸焊接复合板铝/钛/钢

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大规格钛-钢复合板的制备及性能

稀有金属材料与工程 2023年第11期52卷 3723-3729页

作者：王丁孙雨楠薛治国张鹏辉吴江涛樊科社黄杏利西安天力金属复合材料有限公司陕西西安710201 陕西省层状金属复合材料工程研究中心陕西西安710201

采用爆炸焊接技术制备尺寸为4260 mm×4260 mm×(6.5+32)mm的钛-钢复合板。采用超声波无损检测、相控阵波形显微镜、金相显微镜和扫描电子显微镜对复合材料板材的力学性能和界面形态进行分析。结果表明,当爆速、密度、炸药高度和间隔距... 详细信息

采用爆炸焊接技术制备尺寸为4260 mm×4260 mm×(6.5+32)mm的钛-钢复合板。采用超声波无损检测、相控阵波形显微镜、金相显微镜和扫描电子显微镜对复合材料板材的力学性能和界面形态进行分析。结果表明,当爆速、密度、炸药高度和间隔距离分别为2200~2270 m/s、0.80~0.82 g/cm^(3)、45.0~46.0 mm和8.0~11.0 mm时,制备出的板材各项力学性能满足技术指标ASTM B898-2020。界面的波形为典型波纹状结合,界面清晰均匀,波形在漩涡区存在少量熔化,波幅和波长的比值为0.15~0.25,且在比值为0.2左右时,产品的剪切强度最高。本研究为大规格钛-钢复合板的制备提供工艺方法,并发现大规格钛-钢复合板的界面特点,为后续优化复合板爆炸焊接工艺提供理论指导。

关键词：大规格钛-钢复合板相控阵界面形貌力学性能波幅比

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碎状

新作文（小学中高年级版） 2003年第Z3期 32-33页

作者：黄杏利河南偃师四高 471923

纪续大人:你好!似乎每个人的梦想都是个易碎的漂亮的玻璃杯子,在经过“操场”后,留下了碎状给那些期待梦想的可怜的人们。我不知道你是否认真读了我的《碎状》,而我确实喜欢我的这篇冲动下的作品。

关键词：操场每个人易碎玻璃杯漂亮穿过高考作文男生作品

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大面积高性能钛/钢复合板爆炸复合仿真研究

热加工工艺 2011年第4期40卷 70-72页

作者：薛治国王虎年黄杏利何小松西安天力金属复合材料有限公司陕西西安710014 陕西省层状金属复合材料工程研究中心陕西西安710016

采用非线性动力有限元法建立了大面积钛/钢复合板爆炸复合的有限元模型,实现了对复板运动过程的三维有限元模拟。通过实验对比了不同间隙条件下复板运动过程的竖直方向位移来优化爆炸焊接工艺参数。研究表明,当间隙高度为6 mm时,复合板... 详细信息

采用非线性动力有限元法建立了大面积钛/钢复合板爆炸复合的有限元模型,实现了对复板运动过程的三维有限元模拟。通过实验对比了不同间隙条件下复板运动过程的竖直方向位移来优化爆炸焊接工艺参数。研究表明,当间隙高度为6 mm时,复合板结合率最高;爆炸复合后成品波形规则,性能满足标准要求。

关键词：爆炸焊接参数优化数值模拟

大规格高强度钛/纯钛/不锈钢爆炸焊接复合板性能研究

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热加工工艺 2019年第17期48卷 147-149页

作者：王茹郎雪花马岚黄杏利西安天力金属复合材料有限公司

通过爆炸焊接工艺制备出大规格(大面积、大厚度)的化工用高强度钛/纯钛/不锈钢(Gr12/Gr1/316L)爆炸焊接复合管板,并对其结合质量、力学性能、结合界面形态进行研究。结果表明,复合板的结合质量良好,钛/不锈钢界面的剪切强度达到290 MPa... 详细信息

通过爆炸焊接工艺制备出大规格(大面积、大厚度)的化工用高强度钛/纯钛/不锈钢(Gr12/Gr1/316L)爆炸焊接复合管板,并对其结合质量、力学性能、结合界面形态进行研究。结果表明,复合板的结合质量良好,钛/不锈钢界面的剪切强度达到290 MPa以上,其力学性能也达到ASTM B898-2011(2016)标准要求和客户的验收指标;结合界面形态分析表明,钛/钛(Gr12/Gr1)界面呈现近似于直线状结合,钛/钢(Gr1/316L)界面呈现波纹状结合。

关键词：爆炸焊接大面积大厚度高强度钛/纯钛/不锈钢

短碳纤维增强聚醚醚酮内接骨板应用于断骨修复过程的有限元模拟

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机械科学与技术 2006年第6期25卷 658-662页

作者：傅增祥黄明茂杨红艳黄杏利马彬锐西北工业大学西安710072

聚醚醚酮(PEEK)作为内植入材料,具有优良的生物相容性、力学性能和透X光等特点。在国外,用该材料制成的商业化产品,包括椎间融合器、牙冠和心脏瓣膜等,已经得到FDA认可。该材料经过纤维等手段增强后,性能可以任意调整到和植入部位组织... 详细信息

聚醚醚酮(PEEK)作为内植入材料,具有优良的生物相容性、力学性能和透X光等特点。在国外,用该材料制成的商业化产品,包括椎间融合器、牙冠和心脏瓣膜等,已经得到FDA认可。该材料经过纤维等手段增强后,性能可以任意调整到和植入部位组织或骨力学性能匹配,能制作出所需要的植入件。它有望取代骨科金属材料,成为内植入件的主流材料。在先期完成短碳纤维增强PEEK复合材料内接骨板制备和性能测量的基础上,本文选用具有代表性的不同弹性模量的4种骨板(不锈钢骨板、Ti6A14V骨板、碳/羟磷灰石骨板、C/PEEK骨板),采用有限元软件建立正常骨-骨板-断骨三维有限元模型,对骨修复过程中的3个阶段(断骨修复程度1%、50%、75%)分别进行模拟。结果表明:4种内接骨板在断骨处都会产生应力遮挡的现象。随着骨板弹性模量的增大,紧贴骨板下断骨中应力遮挡率越大,有骨板处和其对面没有骨板处应力遮挡率相差变大,没有骨板处断骨最大应变越大,且该处断骨层出现变薄的现象;在螺钉上产生的最大应力也增大,应力集中更明显,骨板内应力集中也越明显,C/PEEK骨板能明显地降低应力屏蔽。

关键词：骨板骨修复弹性模量应力遮挡 C/PEEK 有限元

PTA项目用钛/钢复合板模拟焊后热处理性能研究

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热加工工艺 2016年第19期45卷 242-244页

作者：黄杏利马岚王礼营韩淑荣西安天力金属复合材料有限公司陕西西安710201

研究了PTA项目用爆炸焊接钛/钢复合板(SB265 Gr1/SA516 Gr70)在经过不同的模拟焊后热处理后的剪切性能、拉伸性能及冲击性能的变化情况。研究表明,模拟焊后热处理降低了钛/钢复合板的抗拉强度、屈服强度和剪切强度,而模拟焊后热处理后... 详细信息

研究了PTA项目用爆炸焊接钛/钢复合板(SB265 Gr1/SA516 Gr70)在经过不同的模拟焊后热处理后的剪切性能、拉伸性能及冲击性能的变化情况。研究表明,模拟焊后热处理降低了钛/钢复合板的抗拉强度、屈服强度和剪切强度,而模拟焊后热处理后的延伸率和冲击性能都有所提升。此外,SPWHT2(615±10)℃×3 h+(565±15)℃×8.7 h)对拉伸性能、剪切性能和冲击性能的影响大于SPWHT1(565±15)℃×13 h。本文研究成果对PTA项目用钛/钢复合板在制备过程中的性能控制提供了重要依据。

关键词：钛/钢复合板模拟焊后热处理性能

热处理工艺对2205-Q345R爆炸复合板性能的影响

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中国舰船研究 2016年第3期11卷 128-132页

作者：刘燕平李平仓刘凯黄杏利赵惠西安天力金属复合材料有限公司陕西西安710201 陕西省层状金属复合材料工程研究中心陕西西安710201

2205-Q345R爆炸复合板因结合了基复层的优良性能而被广泛应用，爆炸复合后的去应力退火温度对复层2205的性能影响很大。通过对2205-Q345R爆炸复合板在不同热处理工艺下进行退火处理，结合晶问腐蚀、金相、拉伸、弯曲等检测方法，对其耐... 详细信息

2205-Q345R爆炸复合板因结合了基复层的优良性能而被广泛应用，爆炸复合后的去应力退火温度对复层2205的性能影响很大。通过对2205-Q345R爆炸复合板在不同热处理工艺下进行退火处理，结合晶问腐蚀、金相、拉伸、弯曲等检测方法，对其耐蚀性、显微组织、力学性能进行研究。结果表明：在480～600℃之间对2205-Q345R爆炸复合板进行去应力退火，复合板的耐蚀性、强度及弯曲性能均满足标准及用户后续的使用要求。综合考虑热处理制度对复层2205析出相的影响及复合板残余应力的消除情况，建议最佳的热处理工艺选择540～560℃，1～4h炉冷，300℃以下出炉空玲。

关键词：爆炸焊接 2205双相不锈钢热处理力学性能耐蚀性