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表面处理对AlGaN/GaN HEMT器件电学性能的影响

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表面处理对AlGaN/GaN HEMT器件电学性能的影响

作者：马一洁西安电子科技大学

学位级别：硕士

近几年高性能AlGaN/GaN HEMTs器件已经成功展示了多种应用,如高温环境、大功率与微波领域都不乏它们的身影。但器件仍然存在严重的漏电问题,会产生额外的噪声、电流崩塌效应和其它可靠性问题,这些问题严重影响了器件在各个领域更好的应... 详细信息

近几年高性能AlGaN/GaN HEMTs器件已经成功展示了多种应用,如高温环境、大功率与微波领域都不乏它们的身影。但器件仍然存在严重的漏电问题,会产生额外的噪声、电流崩塌效应和其它可靠性问题,这些问题严重影响了器件在各个领域更好的应用,因此提高器件的可靠性非常有必要。本文依据实验条件,通过优化工艺来达到提高器件性能的目的。首先是在制作栅金属之前对器件表面进行不同方式的表面处理,包括HF溶液处理、N等离子体/HF/KOH溶液处理、HF/KOH溶液/AlO处理、HF/KOH溶液处理、KOH溶液处理,并对处理前后不同区域的欧姆接触和台面隔离进行测试。实验结果表明:HF溶液、HF/KOH/AlO、HF/KOH、以及仅SiN钝化后都是RSH减小,Rc增大,KOH溶液对RSH的影响很小,N等离子体使得RSH和Rc减小,HF溶液和KOH溶液一起处理使RSH减小的幅度很大;对于ISO测试,实验中选择了HF溶液、KOH溶液和N等离子体这三种单一处理方式,发现它们都有助于减小电流,提升台面隔离的效果,其中HF和KOH溶液是略微提升,而N等离子体处理后提升效果最为显著。然后就流片工艺结束后的器件特性进行测试分析。探究不同方式表面处理对器件电学特性的影响。发现HF溶液、HF/KOH/AlO、HF/KOH、都会使最大饱和输出电流值减小,N等离子体/HF/KOH、KOH溶液处理没有明显变化,另外这三种方式中N等离子体/HF/KOH处理后使器件的跨导增加的最大,阈值保持不变约为-2.88V。通过三端器件总漏电、CV环漏电和表面漏电曲线的对比分析,对比结果发现:表面处理对体漏电几乎没有影响;HF/KOH溶液的处理方式会使器件性能恶化,同时其它几种方式处理都可以减小漏电;N等离子体处理抑制了后续HF/KOH溶液与表面的反应,从而使N等离子体/HF/KOH使漏电减小;生长一层AlO后使表面漏电和台面漏电从1×10A降到了5×10A(Vgs=-15V),降低最为明显。最后对HEMT器件栅金属和势垒层表面之间的界面态进行分析,用电导法对界面态进行了表征,提取出时间常数和界面态陷阱密度,发现HF溶液、N/HF/KOH处理、KOH溶液和HF/KOH处理的时间常数范围明显减小,说明处理后使一些陷阱能级变浅,并且使陷阱态密度都有所降低。HF/KOH/AlO处理后时间常数范围基本没变,陷阱态浓度没有减小反而增加。原因在于栅槽刻蚀过程中,由于AlO存在,刻蚀后使得此处陷阱态密度增加。对比得出N等离子体处理使欧姆接触电阻减小,跨导增加,饱和输出电流值和阈值电压几乎不变,使负向偏压下电流值由10-3减小到10-6A;生长AlO对漏电的抑制效果最好,主要减小台面漏电;HF/KOH溶液处理方式会使器件表面性能退化。

关键词： AlGaN/GaN HEMT 等离子处理酸碱溶液处理泄漏电流

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浅析社交金融的法律规制

甘肃金融 2019年第11期 28-33页

作者：马一洁甘肃政法大学民商经济法学院

文章介绍了社交金融的具体含义,总结了社交金融的主要运行模式有社交借贷模式、社交众筹模式、社交理财模式、社交支付模式,分析并指出社交金融发展中存在的主要问题是社交金融平台准入及退出机制欠缺、社交金融中对沉淀资金的规定不明... 详细信息

文章介绍了社交金融的具体含义,总结了社交金融的主要运行模式有社交借贷模式、社交众筹模式、社交理财模式、社交支付模式,分析并指出社交金融发展中存在的主要问题是社交金融平台准入及退出机制欠缺、社交金融中对沉淀资金的规定不明确、社交金融中的刑事犯罪风险大、社交金融的信用风险控制难、社交金融用户的个人信息保护机制欠缺等。提出了完善社交金融市场准入及退出机制、完善我国社交金融平台沉淀资金相关法律制度、完善刑法对社交金融的规制、建立社交金融征信体制、加强社交金融的个人信息保护机制等政策建议。

关键词：社交金融法律监管法律制度

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基于螺旋形纤芯的长周期光纤光栅扭转传感器

光学学报 2024年第11期44卷 258-264页

作者：马一巍田甜耿涛苑立波哈尔滨工程大学纤维集成光学教育部重点实验室黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院黑龙江哈尔滨150001 桂林电子科技大学光子学研究中心广西桂林541004

提出并制备了一种基于螺旋形纤芯的长周期光纤光栅扭转传感器。首先利用激光器对单模光纤进行周期性的多面蚀刻,然后对加工完成的光纤结构进行熔融加热,在表面张力的作用下,结构表面的凹槽形状可以转化为内部纤芯的变形。当该传感器受... 详细信息

提出并制备了一种基于螺旋形纤芯的长周期光纤光栅扭转传感器。首先利用激光器对单模光纤进行周期性的多面蚀刻,然后对加工完成的光纤结构进行熔融加热,在表面张力的作用下,结构表面的凹槽形状可以转化为内部纤芯的变形。当该传感器受到外界施加的扭转时,其纤芯的螺旋状态会被改变,从而使得结构纤芯和包层的有效折射率发生改变,达到提升传感器扭转灵敏度的目的。实验结果表明螺旋芯长周期光纤光栅在-18.42 rad/m至18.42 rad/m的测量范围内的扭转灵敏度可以达到0.37 nm/(rad/m),同时该传感器具有1.75 mm的紧凑长度。

关键词：光纤光学光纤传感器长周期光纤光栅螺旋纤芯扭转

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隐去的阿奶

人民文学 2024年第2期 151-156页

作者：马一莎不详

一.那双熟悉的小手还是很软,只是凉的。两个月前碰这双手,体温应该高两度左右;更久之前,又会再高两度。这只是种错觉,却是真实感受……然后你会看到还是孩提时,晚间,阿奶将那双秀巧的手按在床头土墙上,说是手心烫,这样冰冰舒服一些。想... 详细信息

一.那双熟悉的小手还是很软,只是凉的。两个月前碰这双手,体温应该高两度左右;更久之前,又会再高两度。这只是种错觉,却是真实感受……然后你会看到还是孩提时,晚间,阿奶将那双秀巧的手按在床头土墙上,说是手心烫,这样冰冰舒服一些。想起两个月前回来,阿奶颤颤地开你的手,放进去两颗瓜子。一抬头,一个猝不及防无邪的笑,癌进去的嘴无牙的黑洞,瞬间让你心里一暖,眼就热了……

关键词：无牙真实感受黑洞

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以科技创新引领产业全面振兴

人民论坛 2024年第2期 36-39页

作者：马一德北京市习近平新时代中国特色社会主义思想研究中心中国科学院大学知识产权学院

面对全球新一轮科技革命与产业变革带来的重大机遇与挑战,我国坚持创新在现代化建设全局中的核心地位,创新第一动力作用日益凸显。与此同时,我国产业链各环节的紧密度、供应链上下游的协调性、空间布局的均衡性等方面仍然比较薄弱。科... 详细信息

面对全球新一轮科技革命与产业变革带来的重大机遇与挑战,我国坚持创新在现代化建设全局中的核心地位,创新第一动力作用日益凸显。与此同时,我国产业链各环节的紧密度、供应链上下游的协调性、空间布局的均衡性等方面仍然比较薄弱。科技创新对现代化产业体系的引领作用,从来都不是通过自发、随机、分散的经济活动来实现的。应以科技创新推动产业创新,加快传统产业转型升级,推动战略性新兴产业和未来产业“聚链成群”,提升产业链供应链韧性和安全水平。

关键词：高质量发展新质生产力产业链供应链

小学英语教学中利用戏剧融入中华传统美德的实践

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中小学外语教学 2024年第14期47卷 52-58页

作者：马一淳湖北省武汉市汉阳区弘桥小学

在小学英语课程中,教师可通过开展戏剧教学渗透中华传统美德。教师可利用资源获取或改编剧本,并布置预习任务为课堂做好铺垫。在课堂上,学生对戏剧故事中的主要角色进行探究,通过挖掘人物的性格来理解其行为,从而学习人物行为中蕴含的... 详细信息

在小学英语课程中,教师可通过开展戏剧教学渗透中华传统美德。教师可利用资源获取或改编剧本,并布置预习任务为课堂做好铺垫。在课堂上,学生对戏剧故事中的主要角色进行探究,通过挖掘人物的性格来理解其行为,从而学习人物行为中蕴含的中华传统美德。

关键词：双戏剧教学文化自信中华传统美德

数字怀旧:互联网记忆展演背后的社会心态研究

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新闻记者 2024年第2期 77-96页

作者：吴志远马一琨南京大学新闻传播学院

数字怀旧正成为当下数字交往中的重要文化风潮和社会现象,它不仅反映了网民的媒介记忆和集体记忆,也是中国当代互联网史的另类书写。本研究运用虚拟民族志对数字怀旧的媒介物、内容文本呈现和网民群体的怀旧表达,进行了田野考察与文本分... 详细信息

数字怀旧正成为当下数字交往中的重要文化风潮和社会现象,它不仅反映了网民的媒介记忆和集体记忆,也是中国当代互联网史的另类书写。本研究运用虚拟民族志对数字怀旧的媒介物、内容文本呈现和网民群体的怀旧表达,进行了田野考察与文本分析,同时结合深度访谈方法描摹数字怀旧背后所折射的青年社会心态与当代社会变迁。研究发现:1.数字怀旧中的“乡愁”展演,反映了当代青年在融入城市化过程中面对陌生人社会的社会孤独心态。2.数字怀旧中对传统生活想象的“慰藉”,反映了现代化背景中的社会焦躁心态。3.对互联网“黄金时代”的追忆,反映出社会固化心态。4.数字怀旧中的技术复古和文化期待,表现了青年群体的“文艺复兴”心态。本研究认为,“数字怀旧”是数字交往中一种新的情感结构和交往实践,它表面上是对过去的回忆,但追忆过往背后充满了对过去的想象和对当下的对比,反映了社会转型过程中的复杂情感结构。

关键词：数字怀旧媒介记忆集体记忆社会心态互联网史

水玻璃种类对聚合物改性碱激发矿渣性能的影响

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建筑材料学报 2024年第6期27卷 536-542页

作者：潘晔卢子臣杨晓杰马一平同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室上海201804 同济大学材料科学与工程学院上海201804

从水化过程、力学性能、收缩性能等方面系统研究了2种水玻璃对苯丙乳液(SA乳液)改性碱激发矿渣(AAS)性能的影响及其作用机理,以期指导SA乳液在AAS中的应用.结果表明:钾水玻璃(PWG)加速矿渣水化进程的能力强于钠水玻璃(SWG);SA乳液不影响... 详细信息

从水化过程、力学性能、收缩性能等方面系统研究了2种水玻璃对苯丙乳液(SA乳液)改性碱激发矿渣(AAS)性能的影响及其作用机理,以期指导SA乳液在AAS中的应用.结果表明:钾水玻璃(PWG)加速矿渣水化进程的能力强于钠水玻璃(SWG);SA乳液不影响AAS的水化进程,不会阻碍水化硅酸钙/水化硅铝酸钙的生成,但会抑制水滑石的生成;SA乳液显著降低了AAS的抗压强度,并且对PWG激发AAS的影响强于SWG激发AAS;AAS的抗折强度随着SA乳液掺量的增加呈先增大后减小的趋势,在SWG与PWG激发AAS中,SA乳液的最佳掺量分别为2.5%与5.0%;PWG激发AAS在14d内的总变形量高于SWG激发AAS,SA乳液可显著降低硬化浆体的总收缩量.

关键词：水玻璃聚合物乳液碱激发矿渣水化进程力学性能

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传承和弘扬中华优秀传统法律文化

红旗文稿 2024年第7期 34-37页

作者：马一德中国科学院大学知识产权学院

习近平总书记在中央政治局第十次集体学习时强调:“中华法系源远流长,中华优秀传统法律文化蕴含丰富法治思想和深邃政治智慧,是中华文化的瑰宝。要积极推动中华优秀传统法律文化创造性转化、创新性发展,赋予中华法治文明新的时代内涵,... 详细信息

习近平总书记在中央政治局第十次集体学习时强调:“中华法系源远流长,中华优秀传统法律文化蕴含丰富法治思想和深邃政治智慧,是中华文化的瑰宝。要积极推动中华优秀传统法律文化创造性转化、创新性发展,赋予中华法治文明新的时代内涵,激发起蓬勃生机。”中华优秀传统法律文化作为中华优秀传统文化的重要组成部分,根植于华夏文明的肥沃土壤,世代延续、从未间断。发掘、传承和弘扬中华优秀传统法律文化,要以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导.

关键词：习近平新时代中国特色社会主义思想中华优秀传统法治文明中华法系创造性转化华夏文明传承和弘扬肥沃土壤

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