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电子致放气测试装置的研究

真空科学与技术学报 2024年第3期44卷 196-203页

作者：罗艳王魁波吴晓斌李慧谢婉露沙鹏飞韩晓泉王金地中国科学院微电子研究所北京100029 中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司电仪中心(检测中心) 吉林132021

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束... 详细信息

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量,进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素,结果表明,聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响,而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外,阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流,从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力,采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品,比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明,经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定,且电子束轰击下放气的主要成分由N_(2)/CO变为H_(2)。

关键词：电子诱导解吸放气电子束真空

不同术式治疗高血压脑出血患者对术后脑水肿体积、术中出血量及预后的影响

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数理医药学杂志 2022年第2期35卷 182-184页

作者：韩晓泉辉县市中医院外科辉县453600

目的:针对高血压脑出血患者采取不同术式治疗,观察患者术后脑水肿体积、术中出血量及预后情况。方法:收集的高血压脑出血病例均来源于2018年5月~2020年5月,共计60例,采用随机数字表法分为观察组(神经内镜下微创手术)和对照组(传统开颅手... 详细信息

目的:针对高血压脑出血患者采取不同术式治疗,观察患者术后脑水肿体积、术中出血量及预后情况。方法:收集的高血压脑出血病例均来源于2018年5月~2020年5月,共计60例,采用随机数字表法分为观察组(神经内镜下微创手术)和对照组(传统开颅手术)各30例,比较两组预后评分(GOS)、生活质量评分(ADL)治疗前后变化情况,记录患者术后恢复指标,比较不良反应发生率。结果:两组患者GOS评分、ADL评分治疗后均提高,观察组较对照组提升明显(P<0.05),有统计学意义;观察组患者术后脑残留血量、脑水肿体积、脑水肿持续及住院用时均少于对照组,术中出血量观察组更少,差异有统计学意义(P<0.05);观察组并发症发生率的6.7%(2/30)低于对照组的26.7%(8/30),差异显著(P<0.05)。结论:高血压脑出血患者行神经内镜下微创术式,有利于脑水肿症状缓解,增强患者预后,并发症少,安全可靠。

关键词：神经内镜下微创手术高血压脑出血脑水肿体积预后 ADL评分并发症

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地震数据采集核心装备现状及发展方向

石油地球物理勘探 2013年第4期48卷 663-675,506页

作者：刘振武撒利明董世泰韩晓泉中国石油天然气集团公司北京100007 中国石油勘探开发研究院北京100083 INOVA地球物理设备公司陕西西安710061

地震数据采集核心装备是推动地震勘探技术和方法发展的原动力。高密度、宽方位、全波采集等地震勘探技术已成为解决复杂地质问题的关键技术,超万道地震仪器、高保真宽频数字检波器、高效激发震源等是这些技术推广应用的基础。本文系统... 详细信息

地震数据采集核心装备是推动地震勘探技术和方法发展的原动力。高密度、宽方位、全波采集等地震勘探技术已成为解决复杂地质问题的关键技术,超万道地震仪器、高保真宽频数字检波器、高效激发震源等是这些技术推广应用的基础。本文系统地介绍了当今世界地震数据采集核心装备技术进展,剖析了中国石油地震数据采集核心装备的发展现状。根据物探技术发展需求,提出了发展有线、无线相结合的地震仪器、数字检波器和宽频高效采集可控震源的方向。

关键词：地震数据采集核心装备现状发展方向

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电镀件的真空放气特性研究

真空科学与技术学报 2022年第8期42卷 578-583页

作者：罗艳王魁波吴晓斌谢婉露李慧沙鹏飞韩晓泉中国科学院微电子研究所北京100029

材料的真空放气特性与其表面状态息息相关,本文采用小孔流导法,比较研究了电镀件镀层材料、镀层厚度和不同基底材料下的放气特性。从实验结果可以看出,在所测试的24 h时间内,材料的表面放气仍占主导作用,基底材料和镀层厚度对材料放气... 详细信息

材料的真空放气特性与其表面状态息息相关,本文采用小孔流导法,比较研究了电镀件镀层材料、镀层厚度和不同基底材料下的放气特性。从实验结果可以看出,在所测试的24 h时间内,材料的表面放气仍占主导作用,基底材料和镀层厚度对材料放气率的时间变化趋势和最终放气率基本没有影响。而镀层材料对电镀件的放气率影响较大,同一时间点,电镀件的放气率高于未电镀件;电镀件中,镀锌件的放气率最高。无论电镀与否,未烘烤样品放出的气体组分中H_(2)O含量最高,其次有H_(2)、N_(2)/CO、CO_(2)和O_(2)等。而相比其它电镀件,镀锌件放出的HO最多。电镀件放出过量的水蒸气可能会影响含钨灯丝的热阴极电离规读数的准确性。真空系统中应尽量避免使用电镀锌件。

关键词：真空放气电镀件镀锌

基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究

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中国激光 2023年

作者：张良乐韩晓泉谢婉露吴晓斌方旭晨高梓翔沙鹏飞王魁波中国科学院微电子研究所光电技术研发中心中国科学院大学

基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 详细信息

基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明：在相同光源参数下，SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型；通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的影响因子从6.2%降低到0.64%，多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%，与国外同等实验装置精度相当，实现了高精度反射率测试，可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。

关键词：极紫外气体放电等离子体光源反射率能量探测归一化

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基于傅里叶合成技术的光刻照明系统研究

中国激光 2023年第6期50卷 105-112页

作者：李慧吴晓斌韩晓泉马赫沙鹏飞中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029

离轴照明技术是光刻工艺中提高成像分辨率的关键技术之一。本文提出了一种基于傅里叶合成技术的照明系统,该系统能够实现任意照明模式,并可以提高成像数值孔径,同时具有灵活高效、能量利用率高、易于实现等优点。本课题组通过计算仿真... 详细信息

离轴照明技术是光刻工艺中提高成像分辨率的关键技术之一。本文提出了一种基于傅里叶合成技术的照明系统,该系统能够实现任意照明模式,并可以提高成像数值孔径,同时具有灵活高效、能量利用率高、易于实现等优点。本课题组通过计算仿真和搭建的实验装置验证了傅里叶合成技术实现任意照明模式的可行性,掌握了傅里叶照明系统所需的数值孔径合成方法,实现照明所需的发散度。基于优化的照明程序版图在实验中实现了圆盘、二级、四极、环形等照明模式,这些照明模式光强分布较均匀且照明形状无畸变。当MEMS二维振镜的扫描角度为±1°且选用收集镜成像倍率为10时,在收集镜上可以实现最大扫描照明尺寸超过30 mm,焦点面上的4×NA值超过0.6,这一结果可以匹配当前及下一代光刻工艺及掩模检测应用的照明需求。

关键词：傅里叶光学傅里叶合成光刻工艺离轴照明椭球收集镜角度扫描

关于推广环境无害化技术,促进清洁生产的战略思考

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科学学与科学技术管理 2002年第2期23卷 73-75页

作者：韩晓泉薛绍仁环境无害化技术转移中心北方分中心

天津作为我国重要的工业和港口城市 , 国民经济长期保持较高的增长速度 , 综合经济实力显著增强 , 正逐步建设成为一个国际化的大城市 . 作为一个在中国具有重要地位的直辖市 , 天津市地域范围小 , 自然资源缺乏 , 生态环境脆弱 . 近年... 详细信息

天津作为我国重要的工业和港口城市 , 国民经济长期保持较高的增长速度 , 综合经济实力显著增强 , 正逐步建设成为一个国际化的大城市 . 作为一个在中国具有重要地位的直辖市 , 天津市地域范围小 , 自然资源缺乏 , 生态环境脆弱 . 近年来 , 随着环境监督管理力度的加强 , 企业都注重了污染的三同时治理 . 但是大多数企业在环境保护方面以污染末端治理作为唯一的手段 , 而这种手段需要增加生产成本 , 被企业看成是额外的负担 , 不愿意在环境保护方面采取主动的行动 . 调查表明 , 已建成的污染末端治理设施中 , 正常运转的不足 1/3. 致使在工业增长的同时 , 环境的治理跟不上经济增长的步伐 , 工业污染源已成为天津市环境污染最重要的来源 , 并将严重制约天津市经济的进一步发展 . 这一问题已经引起天津市委、市政府的高度重视 , 在 ' 天津市 21世纪议程 ' 中 , 明确规定了把清洁生产确定为天津市工业可持续发展的一个重要目标 , 以根本解决经济快速增长对资源及环境造成的危害 .

关键词：清洁生产企业技术转移资源无污染工艺企业管理技术转让无害化工艺清洁生产工作战略思考

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海上多波勘探装备关键技术的突破

石油机械 2000年第C期28卷 112-113,142页

作者：韩晓泉何国信

海上多波勘探仪器能称涨底电缆采集系统，是利用置于海底的四分量检波器接收的地震信号，经过数字包转换成高精度的２４位数字信号，通过海底数传电缆传输到海面仪器船记录。综述了海上地震数据采集单元、海底数传电缆及海底卤分量检波... 详细信息

海上多波勘探仪器能称涨底电缆采集系统，是利用置于海底的四分量检波器接收的地震信号，经过数字包转换成高精度的２４位数字信号，通过海底数传电缆传输到海面仪器船记录。综述了海上地震数据采集单元、海底数传电缆及海底卤分量检波器的功能原理和特性及在关键技术上的突破。展示了国产海上多波勘探器具有优势及推广前景。

关键词：地震数据处理地震检波器海上地震勘探

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模糊控制算法在光电跟踪伺服系统中的应用

光电工程 2004年第B12期31卷 19-21,25页

作者：韩晓泉王建立赵金宇陈涛中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

针对光电跟踪伺服系统提出了一种新的控制算法。该算法将模糊控制与经典滞后超前控制结合起来,在保持原有系统精度的前提下,使光电跟踪伺服系统的动态性能得到了极大的改善。仿真结果表明,采用该算法后系统的 ts<0.1s, σ=0。采用经典... 详细信息

针对光电跟踪伺服系统提出了一种新的控制算法。该算法将模糊控制与经典滞后超前控制结合起来,在保持原有系统精度的前提下,使光电跟踪伺服系统的动态性能得到了极大的改善。仿真结果表明,采用该算法后系统的 ts<0.1s, σ=0。采用经典的描述函数法对模糊控制系统进行了稳定性分析,说明系统是稳定的。

关键词：模糊控制伺服系统光电跟踪系统稳定性分析