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MEMS高温压力传感器耐高温引线结构优化

压电与声光 2024年第3期46卷 386-391页

作者：刘润鹏雷程梁庭杜康乐中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室山西太原030051

绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处... 详细信息

绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处热应力变大,金属引线因过热而出现金属引线断裂或失效,无法满足高温需求。在此基础上研究了一种硅引线技术,使其与压敏电阻处于同一高度层,金属引线平铺在硅引线上端,经退火后形成良好的欧姆接触。实验测试表明,该方案能使压力传感器在300℃高温环境下正常工作,金属引线与电阻区连接完好,传感器敏感区应力降低接近50%,且优化后传感器灵敏度符合设计要求。

关键词：绝缘体上硅(SOI) 高温压力传感器器件区电阻高度差硅引线

RCN1和GRP78在结直肠癌中的表达及临床意义

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海南医学院学报 2024年第7期30卷 526-532,544页

作者：李灵玉雷程王海江新疆医科大学附属肿瘤医院新疆乌鲁木齐830000

目的:检测RCN1和GRP78在结直肠癌组织中的表达水平,分析与临床病理特点的相关性,并探索预后价值。方法:采用TCGA及UALCAN数据库分析RCN1和HSPA5 mRNA在结直肠癌中的表达情况,收集临床标本进行免疫组化验证两者表达情况,分析与临床病理... 详细信息

目的:检测RCN1和GRP78在结直肠癌组织中的表达水平,分析与临床病理特点的相关性,并探索预后价值。方法:采用TCGA及UALCAN数据库分析RCN1和HSPA5 mRNA在结直肠癌中的表达情况,收集临床标本进行免疫组化验证两者表达情况,分析与临床病理特征的相关性及预后价值。结果:生物信息学分析表明,RCN1和HSPA5 mRNA在结直肠癌中都显著高表达,并且两者表达呈正相关。RCN1表达与N分期及TP53突变显著相关,HSPA5在黏液腺癌中的表达较高。在结直肠癌组织中,RCN1和GRP78蛋白均高表达并定位于细胞质,GRP78的表达与T分期显著相关。Kaplan-Meier生存分析曲线显示,RCN1高表达组患者DFS明显低于低表达组患者,且有较短的OS趋势。多因素COX回归分析表明,神经侵袭、TNM分期及高表达的RCN1是结直肠癌DFS的独立危险因素。相关性分析:RCN1和GRP78在结直肠癌中表达呈正相关。结论:RCN1与GRP78表达呈正相关,是结直肠癌不良预后的独立危险因素。

关键词： RCN1 GRP78 结直肠癌临床病理特征预后

基于4H-SiC的开槽四梁式压阻式加速度计设计及仿真研究

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仪表技术与传感器 2024年第2期 11-14,35页

作者：白贵文田学东雷程梁庭中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室陕西华燕航空仪表有限公司

基于4H-SiC设计了一种开槽四梁式的压阻式加速度计,通过分析开槽位置、开槽大小对传感器灵敏度及固有频率的影响确定了开槽的相关参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在不同温度场下施加不同载荷时的理论电... 详细信息

基于4H-SiC设计了一种开槽四梁式的压阻式加速度计,通过分析开槽位置、开槽大小对传感器灵敏度及固有频率的影响确定了开槽的相关参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在不同温度场下施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于传统双端四梁结构输出灵敏度提升51.4%,固有频率仅下降14.2%,在ANSYS 600℃的稳态温度场环境下,传感器输入载荷与输出电压成线性关系,理论满量程输出为39.71 mV。

关键词： 4H-SiC 开槽压阻式加速度计有限元方法热-力耦合仿真

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用于原子磁强计的超表面集成反射型气室设计

中国激光 2024年第2期51卷 180-185页

作者：史镕瑞雷程梁庭王涛龙刘士琳王丙寅陈国锋中北大学动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 内蒙古动力机械研究所内蒙古呼和浩特010000

原子磁强计以其高灵敏度和成本低等优势受到了越来越多的关注,如今,进一步提高原子磁强计的芯片集成度已成为主要趋势,因为它有利于生物磁性测量与成像。但是,目前实现原子磁强计小型化的主要障碍是微加工原子气室的光学元件分立。鉴于... 详细信息

原子磁强计以其高灵敏度和成本低等优势受到了越来越多的关注,如今,进一步提高原子磁强计的芯片集成度已成为主要趋势,因为它有利于生物磁性测量与成像。但是,目前实现原子磁强计小型化的主要障碍是微加工原子气室的光学元件分立。鉴于此,笔者提出一种基于新兴超表面的超紧凑片上原子气室方案,该方案将超表面与各向异性腐蚀的单晶硅相结合,在保证高灵敏度的同时提高了原子气室的集成度。该方案能够对圆偏振入射光束进行光路操纵,效率可达到80%。超表面采用厚度为500 nm的硅设计而成,可以通过基本的微加工工艺直接在原子气室上制造。所设计的新型原子气室具有集成度高、可大批量制造的优点,为未来生物磁性传感系统的发展提供了参考。

关键词：表面光学超表面异常折射原子气室原子磁强计光路集成

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夏季生猪疫病防控和养殖注意事项的研究

吉林畜牧兽医 2024年第4期45卷 40-42页

作者：罗康瑞雷程庆宾阳县动物疫病预防控制中心广西宾阳530400 宾阳县动物疫病预防控制中心驻新桥片区工作站广西宾阳530400

生猪养殖中,疫病是影响猪体健康与经济效益的关键问题,包括猪瘟、口蹄疫、圆环病毒病、副猪嗜血杆菌病和猪蓝耳病等。本文对夏季生猪疫病的防控和养殖注意事项进行了研究。针对不同的疫病,笔者提出了相应地防控策略,包括加强环境卫生管... 详细信息

生猪养殖中,疫病是影响猪体健康与经济效益的关键问题,包括猪瘟、口蹄疫、圆环病毒病、副猪嗜血杆菌病和猪蓝耳病等。本文对夏季生猪疫病的防控和养殖注意事项进行了研究。针对不同的疫病,笔者提出了相应地防控策略,包括加强环境卫生管理、合理使用疫苗和药物、控制传染源和加强动物营养管理等。此外,笔者还总结了夏季生猪养殖过程中需要注意的事项,如合理调整饲料配方、提供适宜的饮水环境、确保合理的温度和湿度等。通过实施有效的疫病防控和养殖管理措施,可以提高生猪养殖的效益和健康水平。

关键词：夏季生猪疫病防控养殖注意事项猪瘟口蹄疫

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100 GHz双频带通腔体滤波器的设计及制作工艺研究

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传感技术学报 2024年第3期37卷 416-422页

作者：冯伟雷程秦瑞杰张斌珍段俊萍熊继军中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室山西太原030051

针对当前双频或多频带通滤波器主要以30 GHz以内的工作范围为主,在高频毫米波范围内以单频超宽带设计为主这一现象,设计出一款可以在100 GHz~103 GHz工作范围内存在两个超窄带工作带宽的双频腔体滤波器。两个工作频段分别为100.67 GHz~1... 详细信息

针对当前双频或多频带通滤波器主要以30 GHz以内的工作范围为主,在高频毫米波范围内以单频超宽带设计为主这一现象,设计出一款可以在100 GHz~103 GHz工作范围内存在两个超窄带工作带宽的双频腔体滤波器。两个工作频段分别为100.67 GHz~101.36 GHz和102.67 GHz~102.78 GHz,与之对应的相对带宽分别为0.68%和0.11%。所设计腔体滤波器采用UV-LIGA工艺完成其样品的制备,并使用由矢量网络分析仪和扩频模块所搭建的测试平台完成测试,经测试,相对带宽的绝对误差分别为0.19%和0.02%。

关键词：腔体滤波器双频 UV-LIGA工艺非谐振节点超窄带

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基层散养生猪疫病防治中存在的问题及对策

吉林畜牧兽医 2024年第6期45卷 25-27页

作者：雷程庆罗康瑞宾阳县动物疫病预防控制中心驻新桥片区工作站广西南宁530400 宾阳县动物疫病预防控制中心广西南宁530400

随着生猪养殖业的快速发展,基层散养生猪疫病防治工作显得尤为重要。但是由于基础设施不完善、选址不合理、卫生消毒意识不足、免疫程序不科学等问题的存在,基层散养生猪疫病频发,给养殖业带来了巨大损失。本文旨在分析基层散养生猪疫... 详细信息

随着生猪养殖业的快速发展,基层散养生猪疫病防治工作显得尤为重要。但是由于基础设施不完善、选址不合理、卫生消毒意识不足、免疫程序不科学等问题的存在,基层散养生猪疫病频发,给养殖业带来了巨大损失。本文旨在分析基层散养生猪疫病防治中存在的问题,并提出相应的对策,以期为基层散养生猪疫病防治工作提供参考。

关键词：基层散养生猪疫病防制问题对策

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SiC高温压力传感器动态性能研究

传感器与微系统 2024年第10期43卷 27-30页

作者：周行健雷程梁庭钟明李培仪中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 中国航发四川燃气涡轮研究院四川绵阳621000

面向航空发动机测试等恶劣复杂测试环境中动态压力测试需求,本文从芯片及封装结构设计、性能模拟仿真、器件制作工艺及传感器动态性能测试方面对碳化硅(SiC)高温压力传感器动态性能进行了系统研究。仿真结果表明:传感器频响为32.4kHz,... 详细信息

面向航空发动机测试等恶劣复杂测试环境中动态压力测试需求,本文从芯片及封装结构设计、性能模拟仿真、器件制作工艺及传感器动态性能测试方面对碳化硅(SiC)高温压力传感器动态性能进行了系统研究。仿真结果表明:传感器频响为32.4kHz,上升时间为40μs。测试结果表明:传感器的频响不低于5kHz,上升时间为93μs。此传感器具有动态响应频率高、冲击信号响应速度快特点,为航空发动机内脉动压力测量提供了技术支持。

关键词：航空发动机碳化硅高温压力传感器动态性能脉动压力测量

基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究

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仪表技术与传感器 2024年第8期 1-5页

作者：白贵文雷程梁庭王丙寅赵艳栋中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室内蒙古动力机械研究所

文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论... 详细信息

文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于已有的双端四梁结构X轴方向的横向灵敏度由3.3%降至2.6%,Y轴方向横向灵敏度由29.9%降至1.5%,传感器芯片在600℃高温环境下输入载荷与输出电压呈线性关系,100 g载荷下的理论输出电压为3.65 mV。

关键词： 4H-SiC 低横向灵敏度压阻式加速度计有限元方法热-力耦合仿真