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等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据

物理学报 2024年第9期73卷 1-25页

作者：陈锦峰朱林繁中国科学技术大学近代物理系合肥230026

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工... 详细信息

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景.

关键词：电子碰撞截面干法刻蚀低温等离子体等离子体建模

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高中物理教师NOS-PCK的现状调查与提升策略

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中学物理 2024年第9期42卷 26-31页

作者：侯新杰李林艳陈留定河南师范大学物理学院河南新乡453007 郑州市二七区实验中学河南郑州450000

为了了解高中物理教师NOS-PCK的现状,在阐述物理教师的NOS-PCK内涵和构建NOS-PCK模型的基础上,编制“高中物理教师NOS-PCK调查问卷”,调查分析高中物理教师NOS-PCK的现状.针对高中物理教师NOS-PCK的现状,提出提升高中物理教师NOS-PCK水... 详细信息

为了了解高中物理教师NOS-PCK的现状,在阐述物理教师的NOS-PCK内涵和构建NOS-PCK模型的基础上,编制“高中物理教师NOS-PCK调查问卷”,调查分析高中物理教师NOS-PCK的现状.针对高中物理教师NOS-PCK的现状,提出提升高中物理教师NOS-PCK水平的策略.

关键词：高中物理教师 NOS-PCK 现状调查提升策略

自然权利、福利权与公共自主性：一个调和性的观点

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社会科学研究 2024年第5期 160-168页

作者：朱佳峰中山大学政治与公共事务管理学院

自然权利在现代政治哲学的脉络中有堪称显赫的历史，但它还有未来么？20世纪政治哲学的两大巨擘——罗尔斯和诺齐克——对此给出了截然相反的回答：前者完全抛弃自然权利，而后者将之作为“最小国家”的理论起点。谭安奎的《自然权利的... 详细信息

自然权利在现代政治哲学的脉络中有堪称显赫的历史，但它还有未来么？20世纪政治哲学的两大巨擘——罗尔斯和诺齐克——对此给出了截然相反的回答：前者完全抛弃自然权利，而后者将之作为“最小国家”的理论起点。谭安奎的《自然权利的遗产：福利权问题与现代政治秩序》无疑响应了罗尔斯的“抛弃论”；他从福利权问题入手，穿针引线，最终提出了“洛克式自然权利消解公共自主性”这一重要批评。本文的立场既不同于罗尔斯和谭安奎，也不同于洛克和诺齐克。通过细致考察对洛克式自然权利的两种理解，本文认为完备性自然权利固然会消解公共自主性，但在资源相对稀缺的境况下，我们只能辩护一种非完备性自然权利，而它与公共自主性以及福利权可被融贯地置于一个功能主义的国家理论之中。

关键词：自然权利公共自主性福利权社会基本结构罗尔斯

镁铝合金添加剂对SiC-MgAl_(2)O_(4)材料显微结构和性能的影响

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材料导报 2024年第16期38卷 75-80页

作者：王梦强陈留刚孙红刚杜一昊司瑶晨李红霞郑州大学材料科学与工程学院河南省高温功能材料重点实验室郑州450001 中钢集团洛阳耐火材料研究院有限公司先进耐火材料国家重点实验室河南洛阳471039 北京科技大学材料科学与工程学院北京100083

为探索煤气化用耐火材料的无铬化,本研究采用碳化硅颗粒和镁铝尖晶石细粉为主要原料制备SiC-MgAl_(2)O_(4)复合耐火材料,于流动氮气中500~1450℃热处理,对比未添加和添加4%(质量分数)镁铝合金粉的复合材料在热处理升温过程中的微观结构... 详细信息

为探索煤气化用耐火材料的无铬化,本研究采用碳化硅颗粒和镁铝尖晶石细粉为主要原料制备SiC-MgAl_(2)O_(4)复合耐火材料,于流动氮气中500~1450℃热处理,对比未添加和添加4%(质量分数)镁铝合金粉的复合材料在热处理升温过程中的微观结构及性能变化,探究镁铝合金氮化烧成中形成的低维相对SiC-MgAl_(2)O_(4)复合材料性能的改善效果。结果表明,镁铝合金与热处理环境中的N 2、O_(2)的反应温度区间为650~800℃,主要反应产物为AlN和MgO。添加镁铝合金后的试样在700℃形成蜂窝状MgAl_(2)O_(4)尖晶石,增强了SiC骨料和MgAl_(2)O_(4)基质间的结合,此时试样的常温力学强度达到最高;900~1300℃时,MgAl_(2)O_(4)尖晶石由蜂窝状转变为棒状,1300~1500℃时,其再转变为片状、粒状的MgAlON尖晶石,这些形貌和物相的转变伴随体积膨胀,导致试样的强度小幅下降。镁铝合金的添加能使SiC-MgAl_(2)O_(4)在较低温度热处理下原位形成尖晶石,从而提高材料的力学性能。

关键词：复合耐火材料镁铝尖晶石氮化反应镁铝合金

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石墨烯表面气体扩散系数的原子模型

中国科学：物理学、力学、天文学 2024年第2期54卷 80-89页

作者：周润峰孙成珍白博峰西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室西安710049

石墨烯表面的气体扩散是诸多应用中的关键过程,其机制不同于一般固体表面气体扩散,反而类似分子碰撞控制的体相扩散,但对应的表面扩散系数因吸附效应低于体相理论预估.本文针对石墨烯表面气体扩散系数开展了理论和分子动力学模拟研究,基... 详细信息

石墨烯表面的气体扩散是诸多应用中的关键过程,其机制不同于一般固体表面气体扩散,反而类似分子碰撞控制的体相扩散,但对应的表面扩散系数因吸附效应低于体相理论预估.本文针对石墨烯表面气体扩散系数开展了理论和分子动力学模拟研究,基于Chapman-Enskog方程提出了一种仅依赖原子势能参数的表面气体扩散系数预测模型,弥补了该领域的缺失.首先,通过分子动力学模拟研究了不同压力、流固作用下的石墨烯表面气体扩散系数,证明了表面吸附引起的表面数密度增加是导致现有理论预估出现偏差的原因;然后,直接从原子势能参数导出气体空间密度分布,解决了石墨烯表面数密度准确估计的问题并拓展Chapman-Enskog方程建立了石墨烯表面气体扩散系数的理论预测模型;最后,对理论模型的准确性加以验证,理论模型预测值和本文模拟结果的相对误差小于10%;同时,该模型也能很好预测文献中石墨烯表面实际气体的扩散系数,进一步证明了其有效性和实用性.

关键词：扩散系数石墨烯表面吸附 Chapman-Enskog方程

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张宗祥抄本《各省进呈书目》考述

图书馆杂志 2024年

作者：罗毅峰复旦大学古籍研究所

浙江图书馆藏张宗祥抄本《各省进呈书目》是一部珍贵的四库进呈文献，大约抄成于1927年至1944年之间，并于1961年捐入浙江图书馆。此书原始册序现已被打乱，但尚可依据张氏统计清单得以复原，其底本出自《四库馆进呈书籍底簿》系统，而... 详细信息

浙江图书馆藏张宗祥抄本《各省进呈书目》是一部珍贵的四库进呈文献，大约抄成于1927年至1944年之间，并于1961年捐入浙江图书馆。此书原始册序现已被打乱，但尚可依据张氏统计清单得以复原，其底本出自《四库馆进呈书籍底簿》系统，而与《涵芬楼秘笈》排印本《各省进呈书目》不同源。此书对厘清《底簿》错乱的顺序、完善《底簿》缺损的内容以及重新整理《四库进呈书目》均有一定参考价值。

关键词：各省进呈书目四库馆进呈书籍底簿四库全书张宗祥浙江图书馆

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涡轮盘内榫槽精密数控拉床的研发与应用

世界制造技术与装备市场 2024年第1期 70-74页

作者：陈留洋赵建华陈雪林长沙思胜智能设备有限公司中南大学

一、研发背景榫槽是航空发动机、燃气轮机等关键部件中涡轮盘连接叶片的关键结构,数量多、精度要求高。涡轮盘材料为高温合金,如钛合金、镍基合金等,单位切削热力大,热力耦合剧烈,造成了切削变形大,刀具寿命低,其高效精密制造技术一直... 详细信息

一、研发背景榫槽是航空发动机、燃气轮机等关键部件中涡轮盘连接叶片的关键结构,数量多、精度要求高。涡轮盘材料为高温合金,如钛合金、镍基合金等,单位切削热力大,热力耦合剧烈,造成了切削变形大,刀具寿命低,其高效精密制造技术一直是研究前沿。拉削工艺在加工高精度要求的多个重复结构等方面具有突出优势。

关键词：刀具寿命切削变形镍基合金高温合金热力耦合精密制造技术涡轮盘重复结构

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基于点线的视觉惯性导航系统初始化方法

中国惯性技术学报 2024年第5期32卷 463-467页

作者：吴建峰程向红微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室南京210096 东南大学仪器科学与工程学院南京210096

视觉惯性导航系统在初始化阶段解算出系统初始位姿、惯性测量单元(IMU)零偏以及单目尺度因子,能极大程度上保证系统收敛。为解决视觉惯性导航系统在点特征缺失环境下初始化效果差甚至失败的问题,提出了一种基于点线的视觉惯性导航系统... 详细信息

视觉惯性导航系统在初始化阶段解算出系统初始位姿、惯性测量单元(IMU)零偏以及单目尺度因子,能极大程度上保证系统收敛。为解决视觉惯性导航系统在点特征缺失环境下初始化效果差甚至失败的问题,提出了一种基于点线的视觉惯性导航系统初始化方法。首先,通过几何方法在滑动窗口内构造了一个基于点线的结构,该结构相比于点结构具有更丰富的先验信息;其次,使用从运动中恢复结构(Sf M)的方法,恢复点线结构的运动状态;最后,以松组合的形式对齐结构的运动状态以及IMU预积分结果,求解出IMU零偏、重力加速度、速度和尺度因子等初始量。实验结果表明:在点特征缺失的公共数据集上,相较于基于点特征的初始化方法,所提方法的均方根定位误差减少6%,初始误差显著降低,同时具有更好的建图结果。

关键词：视觉惯性导航系统线特征初始化

激光角反射器:从月球激光测距到天体探测基础设施

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宇航学报 2024年第5期45卷 661-679页

作者：严一粟郭继峰哈尔滨工业大学航天学院哈尔滨150001

激光测距已成为太阳系内检验等效原理与洛仑兹破缺、测定后牛顿参数与引力常数时变等引力与相对论物理学研究的强大工具。为此,对激光角反射器在自然天体探测中的应用与发展进行了概述与分析。简单陈述激光角反射器的历史沿革后,首先介... 详细信息

激光测距已成为太阳系内检验等效原理与洛仑兹破缺、测定后牛顿参数与引力常数时变等引力与相对论物理学研究的强大工具。为此,对激光角反射器在自然天体探测中的应用与发展进行了概述与分析。简单陈述激光角反射器的历史沿革后,首先介绍了数个有待或正在实施的包含激光角反射器部署的天体探测计划。其次,基于激光角反射器与激光测距资料的已有工程经验,描述了激光角反射器在天体探测中承担的科学任务与关键技术问题。最后,以本世纪新一代激光角反射器与收发光源革新为背景,预测了激光角反射器及其激光测距的发展趋势,并针对无人与载人月球探测,对激光角反射器在新阶段天体探测中的使用提出建议。

关键词：激光角反射器月球激光测距引力与相对论物理学天体物理学天体探测