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玻璃基SnO2：Sb透明导电薄膜的射频磁控溅射法制备及其光电性能研究

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玻璃基SnO2：Sb透明导电薄膜的射频磁控溅射法制备及其光电性能研...

作者：陈甲林武汉理工大学

学位级别：硕士

透明导电氧化物薄膜作为一种功能材料有大的载流子浓度和光学禁带宽度,因而表现出优良的光电特性,如较低的电阻率和较高的可见光透过率等。SnO:Sb(ATO)薄膜由于具有优良的光电特性而成为InO:Sn(ITO)薄膜的潜在替代材料,可以应用于光电... 详细信息

透明导电氧化物薄膜作为一种功能材料有大的载流子浓度和光学禁带宽度,因而表现出优良的光电特性,如较低的电阻率和较高的可见光透过率等。SnO:Sb(ATO)薄膜由于具有优良的光电特性而成为InO:Sn(ITO)薄膜的潜在替代材料,可以应用于光电器件的透明电极以及低辐射玻璃等,且它还具有原材料来源丰富、成本低廉、稳定性较好等优点,是目前研究薄膜材料的热点之一。本研究课题以SnO和SbO两种氧化物为原料制成陶瓷靶,采用射频磁控溅射工艺在载玻片玻璃衬底上沉积了ATO透明导电薄膜。用XRD、SEM、XPS、AFM和红外、紫外分光光度计、四探针电阻测试仪以及霍耳效应实验等测试手段对沉积薄膜的光电性能进行了表征。研究分析了成膜过程中各工艺参数对其结构和光电特性的影响,并研究了薄膜的真空在线退火工艺,得到的结果如下: ATO薄膜属于金红石结构;薄膜中锑元素以Sb和Sb两种状态存在;晶格的氧缺位、5价Sb杂质在SnO禁带形成施主能级并向导带提供n型载流子是ATO导电的两种主要机理;溅射过程中衬底温度和氧气分压是两个主要的影响因素:a) 基片温度越高,薄膜的晶形结构越完整;沉积薄膜的柱状结构随着基片温度的升高逐渐演变,并逐渐形成由发育相对完整的晶粒堆积而成的表面;随着基片温度的升高,薄膜的厚度减小,可见光透过率和光学带隙增加,电阻率降低,载流子浓度和霍耳迁移率增大;较高的基片温度有利于Sb的n掺杂,提高基片温度能够提高ATO薄膜的光电性能。b) 随着氧气分压的增加,薄膜中Sb离子的相对含量增加;氧气分压为零时,所制备的薄膜基本不导电,氧气分压不为零时,所制得的薄膜是n型半导体。随着氧气分压的增加,沉积薄膜的厚度减小;吸收边和截止波长均出现蓝移现象;薄膜的光学带隙增大。薄膜的红外反射率随氧气分压增大先增大后减小。退火过程中,衬底中的Na离子会扩散到薄膜中去,影响薄膜的光电性能;薄膜的在线真空退火工艺和SiO隔离层都能提高薄膜的退火温度和延长薄膜的退火时间,能够改善薄膜的光电性能。最后得到薄膜的性能为:可见光透过率达到了70%,电阻率为2.51×10Ω.cm,载流子浓度高达1.2×10cm,迁移率为2.04cm.V.S,中红外波段的反射率达到了70%。

关键词： ATO透明导电薄膜射频磁控溅射氧化物陶瓷靶红外反射在线真空退火工艺

射频磁控溅射法制备SnO_2∶Sb透明导电薄膜的光电性能研究

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液晶与显示 2005年第5期20卷 406-411页

作者：陈甲林赵青南张君武汉理工大学材料科学与工程学院硅酸盐材料工程教育部重点实验室湖北武汉430070

采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能... 详细信息

采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能的影响,增加氧气分压,薄膜的厚度减小、吸收边和截止波长蓝移,光学带隙增大,并且氧气分压对薄膜电阻率、载流子浓度和霍耳迁移率的影响不是线性的,而是存在一个最佳值。当氧气分压为0.10 Pa时,薄膜的光电性能最佳,此时膜厚为399 nm,可见光平均透过率为70%,电阻率为2.5×10-3Ω.cm,载流子浓度为1.2×1021cm-3,载流子霍耳迁移率为2.04 cm2.V-1.s-1,其光电特性已达到了TFT-LCD透明电极的要求。

关键词：射频磁控溅射透明导电薄膜光电性能氧气分压

直流磁控反应溅射工艺参数对SnO_2:Sb薄膜光学带隙的影响

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河南建材 2004年第4期 7-9页

作者：陈甲林张君赵青南武汉理工大学硅酸盐实验室 430070

用紫外 -可见光谱仪对直流磁控反应溅射工艺参数对SnO2 :Sb薄膜光学带隙的影响进行了研究。结果表明 :SnO2 :Sb薄膜的光学带隙随着溅射功率的增加而减小 ,随着氧气分压的增加而增大 ,随着退火温度的增加而增大。同时 ,工艺参数还对薄膜... 详细信息

用紫外 -可见光谱仪对直流磁控反应溅射工艺参数对SnO2 :Sb薄膜光学带隙的影响进行了研究。结果表明 :SnO2 :Sb薄膜的光学带隙随着溅射功率的增加而减小 ,随着氧气分压的增加而增大 ,随着退火温度的增加而增大。同时 ,工艺参数还对薄膜的其它性质有影响。

关键词：直流磁控反应溅射紫外-可见光谱仪光学带隙

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海南扶桑品种资源调查及其园林应用研究

热带农业科学 2009年第3期29卷 24-28页

作者：陈甲林史佑海梁伟红东莞市岭南市政服务有限公司广东东莞523008 海南大学园艺园林学院海南儋州571737 中国热带农业科学院科技信息所海南儋州571737

通过对海南扶桑品种资源状况的调查,初步确定海南共有扶桑品种14个,其中单瓣型8个,重瓣型6个。描述海南主要扶桑品种的形态特征,并对扶桑在海南城市园林绿化中的应用形式进行总结和分析。

关键词：海南扶桑资源调查园林利用

不同浓度的B9和PP333对矮化发财树的影响

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热带农业工程 2008年第1期32卷 30-32页

作者：陈甲林褚桂有玉峰华李占伟吴慧敏陈艳丽海南大学园艺园林学院海南儋州571737

使用不同浓度的B9和PP333两种植物生长调节剂对发财树进行处理,处理时期分别在种子时期、子叶展平和一叶一心时(种子进行药剂浸泡处理,B9喷施,PP333灌根处理)。结果表明:用PP333浸种的处理能有效地控制植株生长高度,下胚轴和节间长度也... 详细信息

使用不同浓度的B9和PP333两种植物生长调节剂对发财树进行处理,处理时期分别在种子时期、子叶展平和一叶一心时(种子进行药剂浸泡处理,B9喷施,PP333灌根处理)。结果表明:用PP333浸种的处理能有效地控制植株生长高度,下胚轴和节间长度也受到了抑制;PP333在其它2个时期施用,只对节间的伸长生长产生抑制,PP333各浓度处理间的差异不显著;B9对发财树的矮化效果不明显。

关键词： B9 PP333 发财树矮化植物生长调节剂

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中国矿产资源保供要重视周边国家

中国国土资源经济 2025年

作者：陈甲斌刘超聂宾汗余良晖中国自然资源经济研究院

中国式现代化建设是传统工业化和发展高端制造业叠加同步进行的，面临“大宗矿产”和“小宗矿产”消费同步扩张的态势，中国的矿产资源供应问题仍主要集中在油气、铁、铜等紧缺“大宗矿产”上。周边国家矿产资源丰富，且与我国具有很好... 详细信息

中国式现代化建设是传统工业化和发展高端制造业叠加同步进行的，面临“大宗矿产”和“小宗矿产”消费同步扩张的态势，中国的矿产资源供应问题仍主要集中在油气、铁、铜等紧缺“大宗矿产”上。周边国家矿产资源丰富，且与我国具有很好的互补性，是我国资源供应不可忽视的重要来源。增强中国矿产资源供应能力，需要在加快国内“增储上产”能力建设的同时，维护好亚太地区和平稳定的大好局面和海外权益资源资产安全，并加强与周边国家矿业合作，努力拓展利用周边国家的资源来解决中国矿产供应的部分问题。

关键词：周边国家矿产资源增储上产外采率储消比

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论“连”字句中的“都”和“也”

世界汉语教学 2025年第1期 77-85页

作者：邓川林北京外国语大学中国语言文学学院

“连”字句关联对比成分，并将其置于语用量级的最低点，从而得到带有极性语义的量级含义。其中副词“都”具有内在的极性语义，构成绝对的语用量级；而“也”需要与其他成分共同表达外在的极性语义，构成相对的语用量级。因此“也”更... 详细信息

“连”字句关联对比成分，并将其置于语用量级的最低点，从而得到带有极性语义的量级含义。其中副词“都”具有内在的极性语义，构成绝对的语用量级；而“也”需要与其他成分共同表达外在的极性语义，构成相对的语用量级。因此“也”更多用于复杂句式；“都”对于句法条件的要求没有“也”那么苛刻，可以更自由地用于简单句式。“连”字句中“都”“也”语义的差别带来用法的不同，有助于理解词项与构式之间的互动关系。

关键词： “连”字句量级含义极性语义 “都” “也”

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强化科技支撑高质推进“三普”工作

土壤 2025年

作者：张桃林中华人民共和国农业农村部

本文在分析总结第三次全国土壤普查(简称“三普”)试点实践经验基础上，从强化多方参与的技术体系，保障普查工作专业规范；构建全程把控的质量体系，保障普查数据真实可靠；规范成果编制，保障普查成果高质实用等方面，提出了全面开展... 详细信息

本文在分析总结第三次全国土壤普查(简称“三普”)试点实践经验基础上，从强化多方参与的技术体系，保障普查工作专业规范；构建全程把控的质量体系，保障普查数据真实可靠；规范成果编制，保障普查成果高质实用等方面，提出了全面开展“三普”工作的科技支撑意见，期望对科学高效推进“三普”工作和推动土壤科学事业发展起到积极作用。

关键词：土壤普查标准规范质量控制普查成果

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魏禧题跋文论略

广西大学学报(哲学社会科学版) 2025年 83-91页

作者：郭春林广西大学文学与文化中心、文学院

魏禧是清初著名古文家，其题跋文题材广泛，包含多层面的内容：一是歌颂忠臣节妇，贬斥明末奸臣误国，展现了遗民文士的民族气节；二是寄托身世之感，涉及易堂诸子诗文创作，彰显其易堂作家群的盟主地位；三是评议从《左传》、欧阳修、... 详细信息

魏禧是清初著名古文家，其题跋文题材广泛，包含多层面的内容：一是歌颂忠臣节妇，贬斥明末奸臣误国，展现了遗民文士的民族气节；二是寄托身世之感，涉及易堂诸子诗文创作，彰显其易堂作家群的盟主地位；三是评议从《左传》、欧阳修、苏洵、苏辙到归有光等名家文章，蕴含其古文观念和经世致用的文章主旨。魏禧题跋文源自先秦散文，承传宋代古文，独具清初文章风格，凝聚遗民情结而自成一家，在中国散文史上占有重要的地位，值得学界深入探究。

关键词：魏禧清初散文题跋文经世致用