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多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积制备高晶化率微晶硅薄膜

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多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积制备高晶化率微晶硅薄膜

空心阴极放电在不同衬底上制备微晶硅薄膜的性能研究

第十五届全国等离子体科学技术会议

作者：陈玖香张受业陈强北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室

本文采用多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积(HC-PECVD)技术,以二氯硅烷(SiHCl)和氢气(H)分别作为硅源和还原剂制备微晶硅薄膜.通过傅里叶变换红外谱、拉曼散射谱和X射线衍射等表征方法研究了生长条件对微晶硅薄膜沉积速率和晶化率... 详细信息

本文采用多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积(HC-PECVD)技术,以二氯硅烷(SiHCl)和氢气(H)分别作为硅源和还原剂制备微晶硅薄膜.通过傅里叶变换红外谱、拉曼散射谱和X射线衍射等表征方法研究了生长条件对微晶硅薄膜沉积速率和晶化率的影响。研究发现通过多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积技术,在无Ar气掺杂的条件下可以制得较高质量的微晶硅薄膜,薄膜最大的晶化率可达71.4%,沉积速率最高可达40.2纳米/分钟。

关键词：空心阴极晶化率微晶硅薄膜

来源： cnki会议评论

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空心阴极放电在不同衬底上制备微晶硅薄膜的性能研究

基于改进贝叶斯网络的A320空调系统故障传播路径识别方法

第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会

作者：葛腾陈玖香姜鑫先张授业陈强北京印刷学院等离子体物理及材料研究室北京理工大学理学院

随着薄膜太阳能电池的兴起,微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注,而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电,利用等离子体增强化学气相沉积技术,... 详细信息

随着薄膜太阳能电池的兴起,微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注,而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电,利用等离子体增强化学气相沉积技术,以二氯二氢硅(SiH2C12)为前驱反应气体、氢气(H)为稀释气体,分别在玻璃衬底及柔性衬底(PI、PET)上制备氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜。研究发现,在玻璃衬底上,得到了沉积速率约为1.2nm/s、晶化率约为71%的μc-Si:H薄膜。由于孵化层厚度的影响,随着薄膜厚度增加,晶化率增大。在薄膜厚度为750 nm时,晶化率最大,约为90%。对有机聚合物基底PI和PET,在磁控溅射沉积ITO之后,衬底温度为300℃时,在其上沉积的μc-Si:H薄膜晶化率依然可以超过70%。而将衬底温度从300℃降为150℃之后,薄膜的晶化率为60%左右。即沉积速率较玻璃衬底几乎不变,但是晶化率有所下降。分析认为可能是ITO薄膜产生的影响,对于玻璃和柔性衬底,存在两种不同的μc-Si:H薄膜生长机制。

关键词：空心阴极放电微晶硅薄膜玻璃和柔性衬底晶化率生长机制

来源： cnki会议评论

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北京航空航天大学学报 2024年

作者：陈玖圣余卓洋郭润夏吴军中国民航大学电子信息与自动化学院中国民航大学航空工程学院

飞机空调系统是控制飞机内部环境的关键机载系统之一，其内部结构呈现多闭环和多冗余等复杂特征，导致故障在各个组件之间传播。贝叶斯网络可以有效地推理开环系统的故障传播路径，但无法适应闭环结构。为解决这一适应性问题，本文提出... 详细信息

飞机空调系统是控制飞机内部环境的关键机载系统之一，其内部结构呈现多闭环和多冗余等复杂特征，导致故障在各个组件之间传播。贝叶斯网络可以有效地推理开环系统的故障传播路径，但无法适应闭环结构。为解决这一适应性问题，本文提出了一种基于贝叶斯网络的改进模型，用于识别A320空调系统特定结构下的故障传播路径。首先，分析空调系统的功能行为和物理结构，综合复杂网络理论，构建系统拓扑有向图。并结合网络结构和信息传递定义边影响强度，对边重要性进行度量，从而提高了边重要性度量的准确性。其次，通过基于边影响强度的解环策略，将闭环结构转换为开环结构，以获得最佳的贝叶斯故障传播网络结构，从而精确地识别多闭环结构下的故障传播路径。最后，通过A320空调系统的案例研究验证了所提出方法的有效性。

关键词：空调系统闭环系统边重要性评估贝叶斯网络故障传播路径

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感应耦合化学气相沉积高速制备微晶硅薄膜

北京印刷学院学报 2013年第2期21卷 63-65,69页

作者：陈玖香王伟仲程志贤陈强北京印刷学院等离子体物理与材料研究室北京102600 明志科技大学材料工程系台北24301

采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断。研究发现离子密度(Ni)可以达到1011-1012cm-3,而电子温度(Te)约在2eV,且随着功率的增大略有下降。P型微晶硅薄膜沉积在玻璃... 详细信息

采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断。研究发现离子密度(Ni)可以达到1011-1012cm-3,而电子温度(Te)约在2eV,且随着功率的增大略有下降。P型微晶硅薄膜沉积在玻璃衬底上,研究了功率和气压对其结构和性能的影响。通过在一定SiH4∶B2H6∶H2流量比例下优化工艺参数,结果能在高沉积速率1nm/s的条件下制备高品质微晶硅薄膜。

关键词：电感耦合化学气相沉积等离子体参数微晶硅薄膜沉积速率

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基于先验信息的复杂飞机维修场景三维目标检测方法

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激光与光电子学进展 2024年

作者：吴军靳龙黄硕连劲松陈玖圣郭润夏中国民航大学航空工程学院中国民航大学电子信息与自动化学院

针对复杂飞机维修场景下三维目标检测任务所面临的计算复杂度高、实时性不足的问题，提出一种融合视觉相机与激光雷达基于先验信息的三维目标检测方法。首先，对相机和激光雷达进行参数标定，对激光雷达采集的点云进行预处理获取有效三... 详细信息

针对复杂飞机维修场景下三维目标检测任务所面临的计算复杂度高、实时性不足的问题，提出一种融合视觉相机与激光雷达基于先验信息的三维目标检测方法。首先，对相机和激光雷达进行参数标定，对激光雷达采集的点云进行预处理获取有效三维点云，通过YOLOv7算法识别相机图像中的飞机机体目标；然后，根据待测目标的先验长度基于EPnP方法计算出目标深度；最后，利用深度信息与点云聚类方法完成三维目标检测，并识别障碍物。实验结果表明，本文方法能够从环境点云中精确检测出目标，算法的识别准确率为94.70%，处理一帧数据的时长为42.96ms，在识别准确度和实时性上均表现出良好的性能，能够满足飞机移动过程的碰撞风险检测需求。

关键词：飞机维修复杂场景激光雷达多传感器数据融合三维目标检测

土柱实验在土壤重金属污染研究中的应用进展与展望

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地球与环境 2024年

作者：李卫娜蔡虹明袁玮郑旺陈玖斌天津大学地球系统科学学院表层地球系统科学研究院

近年来土壤重金属污染状况不容乐观，重金属在土壤中的吸附、迁移和转化等行为显著影响着土壤重金属污染的生态环境效应，成为学者研究热点。土柱实验能够较好地模拟污染物进入土壤中的迁移转化过程，在土壤重金属污染机制、土壤和地下... 详细信息

近年来土壤重金属污染状况不容乐观，重金属在土壤中的吸附、迁移和转化等行为显著影响着土壤重金属污染的生态环境效应，成为学者研究热点。土柱实验能够较好地模拟污染物进入土壤中的迁移转化过程，在土壤重金属污染机制、土壤和地下水环境风险评估以及土壤重金属污染的修复等方面均已得到广泛应用。但由于研究中淋滤环境、土壤性质及重金属性质等实验条件的不同，土柱实验并没有一套通用流程，需要研究者自主设计土柱结构，并制定合理的实验方案。本文回顾了近年来土柱实验在重金属污染研究方面的应用进展，总结了在设计土柱实验时供水、渗流及接收等各环节需要注意的问题，并对土柱实验在土壤重金属污染研究方面的应用前景进行了展望，为复杂条件土壤重金属污染研究提供新的研究思路和方法。

关键词：土柱实验土壤重金属综述

基于热解技术的大气颗粒物形态汞同位素组成分析方法

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地球与环境 2024年

作者：苏友达张可樊熊菲陈玖斌郑旺蔡虹明天津大学地球系统科学学院

汞是一种有毒重金属，其在大气中的传输、沉降和循环对生态系统和人类健康构成严重危害。大气颗粒物是汞相态转化的重要载体，在全球汞循环中起着至关重要的作用。汞同位素常被用于追踪大气汞的来源和迁移转化过程，但现有研究仅局限于... 详细信息

汞是一种有毒重金属，其在大气中的传输、沉降和循环对生态系统和人类健康构成严重危害。大气颗粒物是汞相态转化的重要载体，在全球汞循环中起着至关重要的作用。汞同位素常被用于追踪大气汞的来源和迁移转化过程，但现有研究仅局限于大气颗粒物总汞同位素，难以深入理解大气汞转化机制和生态效应。本研究旨在建立一种基于热解技术的形态汞同位素分析方法，用以分离大气颗粒物中不同汞形态并进行同位素组成检测，为深入研究颗粒态汞（PBM）在大气中的行为和源汇特性奠定基础。本研究通过自主搭建的热解装置对大气颗粒物样品进行汞形态分离，判定了天津市实际大气PBM中主要的形态为有机结合态汞（Hg-OM）、β-硫化汞（β-HgS）和α-硫化汞（α-HgS），同时测试分析了各形态汞同位素组成。结果表明，热解方法能有效区分PBM中不同汞形态并进行同位素分析，为进一步揭示大气中汞的源-汇过程和迁移转化机制开辟了新的视野。

关键词：大气颗粒态汞形态热解汞同位素

衬底材料对空心阴极沉积氢化微晶硅薄膜的影响

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真空 2014年第2期51卷 31-34页

作者：葛腾陈玖香张受业施继龙陈强北京印刷学院等离子体物理及材料研究室北京102600

本文中，我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积（MHC-PECVD）在玻璃、表面溅射氧化铟锡（ITO）的玻璃（玻璃＋ITO）以及表面溅射ITO的聚酰亚胺（PI＋ITO）柔性衬底上沉积氢化微晶硅（μc-Si：H），研究不同衬底材料对微晶硅薄膜性... 详细信息

本文中，我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积（MHC-PECVD）在玻璃、表面溅射氧化铟锡（ITO）的玻璃（玻璃＋ITO）以及表面溅射ITO的聚酰亚胺（PI＋ITO）柔性衬底上沉积氢化微晶硅（μc-Si：H），研究不同衬底材料对微晶硅薄膜性质的影响。我们发现在 PI＋ITO衬底上沉积薄膜的结晶率（Xc）最小，且结晶率最大值时的温度依赖沉底材料：对于 PI＋ITO 衬底来说，结晶率最大值时的温度为200℃，而对于玻璃和玻璃＋ITO 衬底来说，这个温度会在250℃－300℃之间浮动。我们认为PI＋ITO衬底上薄膜较低的结晶率与其较高的热膨胀系数（CTE）以及小分子和气体的释放有关。

关键词：微晶硅低温沉积空心阴极放电结晶率柔性衬底

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基于正交试验的U型通风采煤工作面瓦斯爆炸超压影响因素

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爆炸与冲击 2024年

作者：刘佳佳张翔高志扬张扬陈玖强靳马超河南理工大学安全科学与工程学院安徽理工大学深部煤矿采动响应与灾害防控国家重点实验室河南理工大学煤炭安全生产与清洁高效利用省部共建协同创新中心山西冶金岩土工程勘察有限公司

为探究U型通风采煤工作面瓦斯爆炸传播规律并探讨不同影响因素对瓦斯爆炸超压衰减的敏感性，利用Fluent模拟软件并结合某矿3906工作面情况开展了数值模拟研究。为了验证数学模型可靠性首先将模拟与实验数据对比，经对比得到两者误差均小... 详细信息

为探究U型通风采煤工作面瓦斯爆炸传播规律并探讨不同影响因素对瓦斯爆炸超压衰减的敏感性，利用Fluent模拟软件并结合某矿3906工作面情况开展了数值模拟研究。为了验证数学模型可靠性首先将模拟与实验数据对比，经对比得到两者误差均小于15%；其次依序进行模拟关键参数的优化并得到网格尺寸、迭代步长及点火温度最合理关键参数分别为0.2m、0.05ms及1900K，通过拟合得到工作面爆炸超压峰值及其到达时间与爆炸点距离之间的函数关系。采用极差分析得到三个主控因素极差值从大到小依次排列为：温度>瓦斯浓度>瓦斯积聚区压力，此次模拟中温度对于爆炸超压衰减影响最大，其中R值达到5.928；运用方差分析法对影响瓦斯爆炸超压衰减率主控因素进行显著性研究，三个主控因素极差值从大到小依次排列为：温度>瓦斯积聚区压力>瓦斯浓度，其中温度显著性达到31.835，其余两项不显著。

关键词： U型通风采煤工作面瓦斯爆炸超压衰减率正交试验