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GaN基垂直结构器件关键工艺与技术研究

GaN基垂直结构器件关键工艺与技术研究

作者：陈延博北方工业大学

学位级别：硕士

GaN具有优异的材料特性,适合制备高频高压大功率器件。GaN器件结构有横向结构器件和垂直结构器件,因为垂直结构的GaN器件具有很多横向结构器件没有的优势,近年来引起了国内外广泛的研究并且取得了很多研究成果,若能将这些研究成果转化... 详细信息

GaN具有优异的材料特性,适合制备高频高压大功率器件。GaN器件结构有横向结构器件和垂直结构器件,因为垂直结构的GaN器件具有很多横向结构器件没有的优势,近年来引起了国内外广泛的研究并且取得了很多研究成果,若能将这些研究成果转化成我们日常使用的器件,将会更好的促进节能减排。但受制于GaN外延片的价格和器件生产制造成本等因素,GaN垂直结构器件在产业化上进展缓慢。本文提出利用现有成熟的Si-CMOS工艺线,同时结合价格相对较低的硅基GaN外延片生产制造GaN垂直结构器件,以降低生产制造成本,促进其产业化。本文围绕CMOS兼容的硅基GaN垂直结构器件制备的关键工艺,首先研究了硅基GaN上N型无金欧姆接触工艺,然后对电极进行了金属结构和退火条件的探索,最后制备了CMOS兼容的硅基GaN垂直结构SBD。本文的主要研究内容和成果如下:1.研究确定了无金工艺的电极金属结构Ti/Al/Ti/Ti N,设计了样品测试图形,进行了不同Ti(第一层)厚度的欧姆接触实验。经过对测试样品的制备、测试和分析的结果,确定了电极结构中第一层Ti的厚度为20nm时,与硅基N型GaN形成的欧姆接触性能较好。2.探究了N型GaN上无金欧姆接触合适的退火温度,制定了研究方案,最终确定了硅基N型GaN无金欧姆接触的合适退火温度为650℃。探索出了结构为Ti/Al/Ti/TiN(20nm/50nm/10nm/25nm)的电极在650℃的N氛围下退火60s形成的欧姆接触最好,对应的比接触电阻率ρ为8.76×10Ω·cm。3.应用研究得到的N型GaN无金欧姆接触关键工艺,制备了CMOS兼容的硅基GaN垂直结构SBD,取得了较好的性能,由此证明了采用硅基GaN外延片与Si-CMOS工艺线结合的方式制造GaN垂直结构器件的可行性。

关键词： GaN 垂直结构 CMOS兼容工艺欧姆接触产业化

聚焦国家发展大局扎实推进广东宗教工作服务中国式现代化建设

同方学位论文库评论

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中国宗教 2024年第5期 4-7页

作者：陈延超广东省民族宗教研究院宗教研究所

党的二十大报告提出以中国式现代化全面推进中华民族伟大复兴,为开展社会主义现代化国家建设提供了根本遵循,也为做好新时代党的宗教工作指明了方向。广东五大宗教俱全,宗教历史底蕴深厚,是佛教、伊斯兰教、天主教、基督教由海路传入中... 详细信息

党的二十大报告提出以中国式现代化全面推进中华民族伟大复兴,为开展社会主义现代化国家建设提供了根本遵循,也为做好新时代党的宗教工作指明了方向。广东五大宗教俱全,宗教历史底蕴深厚,是佛教、伊斯兰教、天主教、基督教由海路传入中国的经由地。广东既是改革开放的先行地,又是宗教文化交流的重要通道和全国宗教工作重点省份。

关键词：中国式现代化宗教文化交流伊斯兰教天主教五大宗教根本遵循基督教扎实推进

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中华传统家礼文化及其时代价值

伦理学研究 2024年第2期 51-58页

作者：陈延斌江苏省社科重点研究基地江苏师范大学中华家文化研究院贵阳孔学堂高等研究院

礼是基于民族心理、道德观念和风俗习惯形成的道德规范、行为准则、典章制度与文化样态,是维护家庭和社会生活正常进行的重要手段。中华礼文化内涵极为丰富,是由礼义、礼仪、礼节、礼制、礼器、礼乐、礼教、礼法、礼治、礼俗构成的体系... 详细信息

礼是基于民族心理、道德观念和风俗习惯形成的道德规范、行为准则、典章制度与文化样态,是维护家庭和社会生活正常进行的重要手段。中华礼文化内涵极为丰富,是由礼义、礼仪、礼节、礼制、礼器、礼乐、礼教、礼法、礼治、礼俗构成的体系,家礼亦然。家礼文化是传统家礼在价值理念、仪式、制度、器物以及教化等行为活动等多层面的体现,比家法、族规、家训等其他家文化形式更具有仪节的庄严性、礼义的教育性和制度的规范性等特点,在家文化和中华民族整个礼文化体系中处于重要地位。家礼文化是中国传统社会治家、齐家、教家的重要制度文化,也是当代优良家德、家风培育和公民礼仪文明建设的丰富资源。借鉴传统家礼以仪立范路径涵养公民个人品德,吸收传统家礼伦理内涵滋养良好家风与淳朴世风,继承弘扬传统家礼称情立文的撰订原则助推社会礼仪文明建设。

关键词：礼家礼家礼文化礼仪文明

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基于渗透原理的可吸水模型根系研发与性能研究

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浙江大学学报（工学版） 2023年第7期57卷 1382-1392页

作者：赵俊键梁腾詹良通梁钧陈延博赵宇陈云敏浙江大学超重力研究中心浙江杭州310058 浙江大学岩土工程研究所浙江杭州310058 香港科技大学土木及环境工程系中国香港999077

为了模拟自然植物根系的吸水过程,探究其对周边土体水文力学特征的影响机制,利用3D打印技术,设计并制造基于正渗透原理的新型可吸水模型根系.模型根系采用中空结构,侧壁开孔,外覆半透膜.当内部灌注聚乙二醇(PEG)溶液时,PEG溶液和土中水... 详细信息

为了模拟自然植物根系的吸水过程,探究其对周边土体水文力学特征的影响机制,利用3D打印技术,设计并制造基于正渗透原理的新型可吸水模型根系.模型根系采用中空结构,侧壁开孔,外覆半透膜.当内部灌注聚乙二醇(PEG)溶液时,PEG溶液和土中水分间存在的渗透压梯度驱使了模型根系吸水.常重力模型根系吸水试验结果表明,在含砂粉质黏土中,循环浓度等效1 500 kPa渗透压的PEG溶液可在根系附近土体中产生最大约120 kPa的基质吸力,该基质吸力超过了真空法模型根系的理论最大产生吸力.通过在适当范围内调整PEG溶液的质量摩尔浓度,并控制溶液循环特征,模型根系可以具备不同的吸水能力,从而模拟不同的现实工况.

关键词：生态岩土工程土体基质吸力模型根系渗透原理 3D打印技术

Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜力学性能、抗氧化及疏水性能

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材料工程 2024年第2期52卷 190-197页

作者：李仲博中国航发北京航空材料研究院北京100095

利用物理气相沉积(PVD)技术交替沉积Ti_(3)AlN和ZrYN纳米层,制备一系列具有不同ZrYN纳米层厚度(l)的Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜,并通过XRD,SEM,纳米压痕仪,显微硬度计及接触角测量仪等研究不同l对Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜力学、抗氧化... 详细信息

利用物理气相沉积(PVD)技术交替沉积Ti_(3)AlN和ZrYN纳米层,制备一系列具有不同ZrYN纳米层厚度(l)的Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜,并通过XRD,SEM,纳米压痕仪,显微硬度计及接触角测量仪等研究不同l对Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜力学、抗氧化以及疏水性能的影响。结果表明:当Ti_(3)AlN和ZrYN纳米层厚度分别为10 nm和1 nm时,纳米多层膜具有高硬度(H=26.8 GPa)和优异的断裂韧度(Kf=4.21 MPa∙m^(1/2))。硬度和断裂韧度的提高可能是因为,当l较小时,纳米层间形成良好的c-Ti_(3)AlN/c-ZrYN共格外延结构,可以有效阻碍位错的产生和滑移。高密度的异质界面可使微裂纹发生连续偏转,有效延长裂纹扩散路径的同时消耗裂纹传播能量,从而提高断裂韧度。同时,较小的l也易于获得优异的抗氧化性能,l较小时Ti_(3)AlN纳米层占主导地位,Al倾向于在表面形成致密的Al_(2)O_(3)层,阻碍氧气向薄膜内部扩散。此外,Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜表面形成的结瘤缺陷增加表面粗糙度,使得薄膜的疏水性能得到提高,从而使其在潮湿环境中不易快速发生腐蚀。

关键词： Ti_(3)AlN/ZrYN纳米多层膜力学性能抗氧化性疏水性

民事执行中代扣代缴税款是否构成执行款:类案分歧及审查进路

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税务研究 2024年第1期 83-89页

作者：郑林陈延忠厦门大学法学院厦门海事法院宁德法庭

民事执行中,如果被执行人就执行款履行代扣代缴义务,可能导致不足额履行生效法律文书。代扣代缴税款是否能够构成执行款组成部分,从而视为完全履行法律文书规定义务,目前司法实践做法不一,导致被执行人陷入两难。本文通过梳理现有典型类... 详细信息

民事执行中,如果被执行人就执行款履行代扣代缴义务,可能导致不足额履行生效法律文书。代扣代缴税款是否能够构成执行款组成部分,从而视为完全履行法律文书规定义务,目前司法实践做法不一,导致被执行人陷入两难。本文通过梳理现有典型类案,对被执行人支付相关执行款时是否必须履行代扣代缴义务、在判决(裁决)未明确说明的情况下裁判给付金额是税前还是税后、代扣代缴问题是否属于执行异议审查范围等三个核心问题进行剖析,从而明确代扣代缴税款应构成执行款一部分,并从兼顾公法义务与私法义务、私法债权与国家征税权平衡的角度提出相应对策。

关键词：民事执行代扣代缴税款执行款公法义务

生活垃圾腐殖土物化性质及资源化利用途径——以浙江省某高龄期填埋场为例

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中国环境科学 2022年第7期42卷 3254-3264页

作者：郑康琪陈萍邱鈺峰郭淇萌陈延博元妙新詹良通浙江理工大学建筑工程学院浙江杭州310018 浙江大学岩土工程研究所浙江杭州310058 软弱土与环境土工教育部重点实验室浙江杭州310058 浙江大学超重力研究中心浙江杭州310058 中节能大地(杭州)环境修复有限公司浙江杭州310016

以填埋龄期23~37a、粒径<15mm腐殖土为对象,测试分析了其物质组成、理化性质和浸出液性质.测试与分析结果表明:腐殖土中粒径范围2~15mm、0.075~2mm和<0.075mm的组分分别占比42.9%~53.9%、40.9%~44.1%和5.1%~13.0%,属于细粒砂土;随着填... 详细信息

以填埋龄期23~37a、粒径<15mm腐殖土为对象,测试分析了其物质组成、理化性质和浸出液性质.测试与分析结果表明:腐殖土中粒径范围2~15mm、0.075~2mm和<0.075mm的组分分别占比42.9%~53.9%、40.9%~44.1%和5.1%~13.0%,属于细粒砂土;随着填埋龄期增加,腐殖土特征粒径d_(50)和d_(10)呈现减小趋势,比重明显增大,并在30a后趋于稳定.腐殖土中有机质含量(18.1%~19.1%,)、氮磷钾含量、浸出液p H值(7.26~8.30)及电导率(1.08~2.51mS/cm)等指标均满足国家现行《绿化用有机基质》要求.腐殖土中重金属Cu、Zn、Cd、Cr含量均超出国家现行《土壤环境质量农用地土壤污染风险管控标准(试行)》、《绿化种植土壤》和《绿化用有机基质》的标准要求,内梅罗综合污染指数高达15.48~17.95,属于重度污染类型,且重金属主要富集在粒径<2mm的细颗粒.建议将腐殖土进一步精细化筛分为粒径2~15mm与粒径<2mm两部分,针对粒径<2mm部分采用微生物诱导碳酸盐沉淀等技术,降低重金属浸出浓度.处理后的腐殖土可作为园林绿化、填埋场覆盖以及废弃矿山修复的绿化土层.

关键词：生活垃圾填埋场腐殖土物化性质填埋龄期浸出液性质资源化利用

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承古拓新:宋元士庶丧礼礼仪因革与复兴

湖南大学学报（社会科学版） 2024年第1期38卷 15-21页

作者：陈延斌王伟贵阳孔学堂高等研究院贵州贵阳550025 山东大学儒学高等研究院山东济南250100

先秦时期“礼不下庶人”的情况在秦汉以后逐渐发生改变,原本施行于贵族阶层的冠婚丧祭诸礼日渐下移,到唐后期尤其是宋元时期基本实现了“礼下庶人”阶层的转变,在这一过程中古礼中的丧礼也得到了复兴。礼制在宋元时期发生转折的重要原... 详细信息

先秦时期“礼不下庶人”的情况在秦汉以后逐渐发生改变,原本施行于贵族阶层的冠婚丧祭诸礼日渐下移,到唐后期尤其是宋元时期基本实现了“礼下庶人”阶层的转变,在这一过程中古礼中的丧礼也得到了复兴。礼制在宋元时期发生转折的重要原因是士族阶层的衰落,以及士大夫复兴宗法制度和匡正世风的需要。司马光、朱熹、吕祖谦均试图在不违背古礼精神的前提下,对先秦丧礼礼制进行简化,以适应社会士庶礼仪文化的需要。相较而言,《朱子家礼》更具有可操作性和实用性,对后世影响最大。北宋吕大钧等撰修的《乡仪》和元代郑泳撰修的《郑氏家仪》,则是民间依据古礼撰修家礼文献的杰出代表,在社会上影响深远。

关键词：宋元时期礼制下移丧礼《朱子家礼》《郑氏家仪》

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融合多源数据的城市三维建模方法探索

测绘通报 2023年第11期 128-131页

作者：胡晓静刘钰陈延博李书丹李遥自然资源部第二地形测量队陕西西安710054

为发挥多源数据的优势,弥补单一数据的局限性,本文探索多源数据融合的关键技术,提出了一种多源数据的融合建模方法。利用该方法实现了陕西某大院城市实体三维重建,分别构建LOD1—LOD3级别的城市模型,并结合实测控制点成果对建模成果精... 详细信息

为发挥多源数据的优势,弥补单一数据的局限性,本文探索多源数据融合的关键技术,提出了一种多源数据的融合建模方法。利用该方法实现了陕西某大院城市实体三维重建,分别构建LOD1—LOD3级别的城市模型,并结合实测控制点成果对建模成果精度及模型精细度进行了评价。结果表明:该方法能够高效地实现多源数据融合建模;融合数据建模成果在模型精细度和成果精度上都有提高;多源融合数据构建的不同细节程度的城市模型精度均符合CityGML对于城市实体的要求。

关键词：三维重建多源数据融合点云配准点云重组城市实体