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主题

  • 1 篇 垂直腔面发射激光...
  • 1 篇 钝化
  • 1 篇 湿法氧化
  • 1 篇 激光器
  • 1 篇 干法刻蚀
  • 1 篇 氧化孔

机构

  • 1 篇 北京工业大学

作者

  • 1 篇 郑翔瑞
  • 1 篇 杨治业
  • 1 篇 付加王
  • 1 篇 闫博
  • 1 篇 谢佳琦
  • 1 篇 杨春鹏
  • 1 篇 高欣雨
  • 1 篇 薛昭胜
  • 1 篇 唐立新
  • 1 篇 覃和平
  • 1 篇 崔碧峰
  • 1 篇 李武华
  • 1 篇 高材林
  • 1 篇 闫博昭
  • 1 篇 王晴
  • 1 篇 杜晓华
  • 1 篇 陈中标

语言

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垂直腔面发射半导体激光器氧化优化研究
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中国激光 2024年 第8期51卷 16-22页
作者： 陈中标 崔碧峰 郑翔瑞 杨春鹏 闫博昭 王晴 高欣雨 北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室 北京100124
GaAs基垂直腔面发射激光器在干法刻蚀过程中,台面侧壁形成的缺陷会导致器件出现层结构分层、断裂以及氧化孔不规则等问题。针对该问题,提出了一种干法刻蚀与硫化铵钝化相结合的氧化前预处理方案,研究了硫化铵钝化处理对器件层结构以及... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
吉林省金融运行报告  010
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吉林日报
作者： 高材林 薛昭胜 唐立新 李武华 杜晓华 付加王 杨治业 谢佳琦 闫博 覃和平
2013年第三季度，全球经济增长仍处于低速，但增长动力正在发生转变，先进经济体的增长逐步增强，新兴市场经济体的增长逐步放缓。国际货币基金组织（IMF）在10月份的《世界经济展望》将2013年全球经济增长预期从7月的3.1%下调至2.9%，...
来源： cnki报纸 评论
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