检索结果-南通市图书馆

时空调制投影曝光提升DMD刻写图形质量的方法研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

时空调制投影曝光提升DMD刻写图形质量的方法研究

作者：郭书平东北师范大学

学位级别：硕士

在过去的几十年里,随着光学微纳加工技术的飞速开展,基于数字微镜器件（DMD,Digital Micromirror Device）的无掩模光刻工艺得到了人们广泛的关注。基于DMD的无掩模光刻技术由于具有无需掩模、较高的光刻效率以及成本低等优点,而被广泛... 详细信息

在过去的几十年里,随着光学微纳加工技术的飞速开展,基于数字微镜器件（DMD,Digital Micromirror Device）的无掩模光刻工艺得到了人们广泛的关注。基于DMD的无掩模光刻技术由于具有无需掩模、较高的光刻效率以及成本低等优点,而被广泛应用于集成电路制造、药物传递、细胞载体、组织工程等众多领域。然而,数字微镜器件（DMD）固有的微观结构,即方形微镜,会产生像素化图案。这些像素化图案会造成刻写微结构的位置偏差和边缘锯齿,降低刻写图形质量。低位置精度和粗糙锯齿边缘不能满足微器件高精度制造（例如衍射微光学）日益增长的要求。为了解决这个问题,可以用更高倍率的投影物镜来进行光刻,但这样会大大降低光刻效率。基于此,本研究针对前面所述的问题,提出了一种新的光刻方法——基于DMD的时空调制投影光刻技术（STPL）。该技术充分利用了高分辨率的压电平台（PZS）、DMD生成的灵活掩模图和可控光源,它可以平衡制造效率、分辨率、成本等多方面因素。根据前面所述的新方法,主要进行如下工作:（1）本文在传统的基于DMD的光刻系统中提出了一种新的STPL技术。研究中没有使用高倍率物镜或依赖昂贵的高分辨率DMD,而是创新性地将PZS的微动、DMD灵活的图案生成以及曝光时间结合在一起。弥补了DMD微镜本身带来的这种像素效果,使刻写线宽更加精确、线条位置更加精准、线条边缘更加流畅,对于静态曝光方式提升任意光刻图形的质量是十分有效的。通过能量模拟和重复实验,证明了使用该方法能够制备亚微米量级的微结构。（2）根据微结构制造精度受限于DMD固有的微观结构,无法实现高精度制造（例如衍射微光学）日益增长的要求这一问题。本文提出了一种新的STPL技术。利用这一技术,制作出了具有亚微米刻线心位置精度和线条边缘粗糙度大大降低的高保真衍射透镜--菲涅耳波带片。研究中用时空调制投影光刻技术（N=6）制作的波带片边缘锯齿降低至0.3μm;实际测量线宽与理想线宽误差仅在±0.1um之内;焦距为15mm,与设计焦距基本吻合。这些结果表明,STPL可以在实现高保真微器件的微制造领域发挥重要作用。

关键词： DMD 时空调制光刻技术亚像素衍射透镜

Beggs-Brill截面含液率计算模型的剖析与修正

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

油气储运 2000年第8期19卷 31-34页

作者：李玉星喻西崇冯叔初郭书平石油大学中国石油天然气管道职教中心

指出了Beggs-Brill截面含液率计算模型在计算下倾管路时存在的问题,并从数学上进行了分析,推导得出了截面含液率计算公式在计算下倾管时的使用范围。提供了一种用于管路持液率计算的方法,可以用于水平管、上倾管和下倾管的计算,并利用... 详细信息

指出了Beggs-Brill截面含液率计算模型在计算下倾管路时存在的问题,并从数学上进行了分析,推导得出了截面含液率计算公式在计算下倾管时的使用范围。提供了一种用于管路持液率计算的方法,可以用于水平管、上倾管和下倾管的计算,并利用实验数据对两者的计算结果作了比较。

关键词：两相流工艺计算截面含液率油气集输系统

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

华亭县玉米新品种引种试验结果简报

农业科技与信息 2015年第17期 57-58页

作者：郭书平甘肃省华亭县种子管理局甘肃华亭744100

华亭县引进6个玉米新品种进行品比试验,以先玉335为对照,结果表明辽吉939折合产量最高,为13 378.37 kg/hm2,较对照先玉335增产18.5%;其次为泰玉1028,折合产量13 078.3 kg/hm2,较对照增产15.84%。两品种生长整齐,综合性状优势明显,适宜... 详细信息

华亭县引进6个玉米新品种进行品比试验,以先玉335为对照,结果表明辽吉939折合产量最高,为13 378.37 kg/hm2,较对照先玉335增产18.5%;其次为泰玉1028,折合产量13 078.3 kg/hm2,较对照增产15.84%。两品种生长整齐,综合性状优势明显,适宜在华亭县种植推广。

关键词：玉米新品种试验华亭县

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

高血压脑出血患者术后护理体会

河南外科学杂志 2013年第4期19卷 123-124页

作者：郭书平河南西平县人民医院西平463900

高血压脑出血多发于45岁以上高血压脑动脉硬化患者，是高血压患者死亡的主要原因，其发病率呈逐年上升趋势，且45岁以下患者逐年增多，呈年轻化趋势，使患者生活质量大大下降，严重危害患者的身心健康。虽然先进的手术方法降低了患者的... 详细信息

高血压脑出血多发于45岁以上高血压脑动脉硬化患者，是高血压患者死亡的主要原因，其发病率呈逐年上升趋势，且45岁以下患者逐年增多，呈年轻化趋势，使患者生活质量大大下降，严重危害患者的身心健康。虽然先进的手术方法降低了患者的病死率，但术后各种并发症仍然是导致患者死亡的主要原因，因此加强术后护理，是预防并发症，恢复机体功能，降低病死率，提高生活质量的关键。

关键词：高血压脑出血术后护理

基于PDCA法的墩柱成本管控方案研究及应用

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

西部探矿工程 2015年第5期27卷 90-93页

作者：詹平郭丽霞郭书平山西高河能源有限公司山西长治047100 潞安集团漳村矿劳资科山西长治046032 潞安集团石圪节煤业山西长治046000

为缓解高瓦斯对回采工作面的影响,将回采工作面的通风方式由"两进两回"变为了"Y+U"型,沿空留巷将起关键性作用。针对沿空留巷墩柱支护技术中墩柱打设成本高的问题,采用PDCA法,找出主要因素,制定相应的方案并施工,经检验效果明显,在相似... 详细信息

为缓解高瓦斯对回采工作面的影响,将回采工作面的通风方式由"两进两回"变为了"Y+U"型,沿空留巷将起关键性作用。针对沿空留巷墩柱支护技术中墩柱打设成本高的问题,采用PDCA法,找出主要因素,制定相应的方案并施工,经检验效果明显,在相似条件下具有很大的借鉴意义。

关键词：沿空留巷墩柱成本管控 PDCA法

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

上消化道多原发恶性肿瘤56例临床分析

中国临床实用医学 2008年第4期2卷 103-104页

作者：冯如青李君郭书平修志红山东省聊城市第二人民医院消化科 252601

目的探讨上消化道多原发恶性肿瘤的临床、病理及内镜下特点。方法回顾性分析1995—2006年我院56例上消化道多原发恶性肿瘤患者临床资料。结果本组病历占同期上消化道恶性肿瘤的0．73％，同时癌41例，异时癌15例，食管多原发癌10例，食... 详细信息

目的探讨上消化道多原发恶性肿瘤的临床、病理及内镜下特点。方法回顾性分析1995—2006年我院56例上消化道多原发恶性肿瘤患者临床资料。结果本组病历占同期上消化道恶性肿瘤的0．73％，同时癌41例，异时癌15例，食管多原发癌10例，食管胃多原发癌25例，胃多原发癌21例。病灶好发部位依累及次数依次为食管、胃窦、贲门、胃体。结论提高对上消化道多原发恶性肿瘤的认识，早诊、早治是提高疗效的关键。

关键词：上消化道多原发恶性肿瘤食管多原发癌胃多原发癌临床分析

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

无缝轧管机组管坯双向热定心机的设计

冶金设备 2006年第6期 45-47,58页

作者：张玉宝郭书平内蒙古科技大学包头014010 包头钢铁集团有限责任公司包头014010

介绍了无缝轧管机组管坯双向热定心机的设计原理和定心误差分析。所设计的双向热定心机的主要特点是:采用全液压驱动,高强度机架,具有适应不同定尺长度的能力,首次实现了定心孔深度可调、定心速度可调,双向定心精度达到4mm。

关键词：双向热定心机设计定心误差分析

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

双向热定心机的设计及其热定心误差分析

新技术新工艺 2007年第3期 81-83页

作者：张玉宝郭书平内蒙古科技大学机械学院内蒙古包头014010 包头钢铁集团有限责任公司内蒙古包头014010

介绍了无缝轧管机组管坯双向热定心机的设计原理和定心误差分析。所设计的双向热定心机的主要特点是采用全液压驱动,高强度机架,具有适应不同定尺长度的能力,首次实现了定心孔深度可调、定心速度可调,双向定心精度达到4mm。该双向热定... 详细信息

介绍了无缝轧管机组管坯双向热定心机的设计原理和定心误差分析。所设计的双向热定心机的主要特点是采用全液压驱动,高强度机架,具有适应不同定尺长度的能力,首次实现了定心孔深度可调、定心速度可调,双向定心精度达到4mm。该双向热定心机及其技术,为国内外生产无缝钢管管坯热定心提供了成功的经验,具有重大效益和推广使用价值。

关键词：双向热定心机设计定心误差分析无缝钢管

依达拉奉联合高压氧治疗急性重度一氧化碳中毒疗效观察

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

中国医师进修杂志 2008年第9期31卷 62-64页

作者：刘敏朱玉森高雪英郭书平泰山医学院附属聊城市第二人民医院急诊科山东临清252601

目的观察依达拉奉联合高压氧治疗急性重度一氧化碳中毒治疗效果。方法80例急性重度一氧化碳中毒患者随机分成两组，治疗组40例，对照组40例。观察两组患者治疗效果及迟发性脑病发生情况。结果治疗组总有效率95．0％，对照组总有效率77．... 详细信息

目的观察依达拉奉联合高压氧治疗急性重度一氧化碳中毒治疗效果。方法80例急性重度一氧化碳中毒患者随机分成两组，治疗组40例，对照组40例。观察两组患者治疗效果及迟发性脑病发生情况。结果治疗组总有效率95．0％，对照组总有效率77．5％，两组差异有统计学意义（P〈0．05）；治疗组发生迟发眭脑病4例，对照组发生迟发眭脑病12例，两组比较差异有统计学意义（P〈0．05）。结论依达拉奉联合高压氧治疗急性重度一氧化碳中毒，能明显提高临床疗效，降低迟发性脑病发生率，临床上值得推广使用。

关键词：一氧化碳中毒高压氧依达拉奉迟发性脑病