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超薄不锈钢基板CMP过程动态压力和抛光温度在线检测的研究

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超薄不锈钢基板CMP过程动态压力和抛光温度在线检测的研究

作者：郑海凤广东工业大学

学位级别：硕士

平板显示器的技术发展使得柔性显示器逐渐成为发展趋势,而超薄不锈钢基板的出现改善了传统柔性显示衬底在工艺特性上的缺陷。化学机械抛光作为一种新型抛光方法,又进一步满足了高质量、低损伤的技术要求。然而化学机械抛光工艺过程复杂... 详细信息

平板显示器的技术发展使得柔性显示器逐渐成为发展趋势,而超薄不锈钢基板的出现改善了传统柔性显示衬底在工艺特性上的缺陷。化学机械抛光作为一种新型抛光方法,又进一步满足了高质量、低损伤的技术要求。然而化学机械抛光工艺过程复杂,影响因素较多。抛光过程参数的变化对其化学及物理作用产生影响,其中动态压力和抛光温度的变化更是直接与抛光表面质量有关。由于抛光环境的复杂性及抛光过程参数变化特征导致了这两种动态参数都较难被测量,国内外对于这方面的研究也比较少。本文基于超薄不锈钢抛光过程的特征及抛光环境,设计并构建了动态压力与抛光温度的在线检测系统,并通过实验研究不锈钢抛光工艺参数与过程参数和表面质量三者的关系。首先选择传感器类型,并设计合适的静态性能,在软硬件中均加入数据处理环节,使得系统满足测量要求,最后用软件编程实现数据的采集与存储。然后,通过实验研究了抛光工艺参数和抛光垫结构参数、过程参数及表面质量的三者的影响关系,建立了抛光工艺参数及抛光垫工艺参数与抛光温度的经验公式。最后,通过正交试验,对不锈钢基板的工艺参数进行优化。主要的研究结果如下：(1)选用Kistler9257B型三向力传感器和BZ2105型电荷放大器作为动态压力的采集硬件部分;E型热电偶传感器进行抛光温度的检测。采集卡选择PCI-9118DG多功能模数/数模转换卡。LabVIEW软件实现数据采集和存储功能。(2)不锈钢的抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随抛光液流量的增大而减小。抛光压力增大,不锈钢基板的动态压力增大;不锈钢的动态压力随抛光液的增大而下降。不锈钢材料去除率随抛光压力和抛光垫转速增大而增大,随抛光液流量的增大先减小后略有上升。表面粗糙度Ra随抛光压力和抛光垫转速的增大先下降后上升,随抛光液流量增大而减小。(3)相同条件下,聚氨酯无沟槽抛光垫动态压力和温升值最大,材料去除率和表面粗糙度Ra也更大,合成革次之,磨砂革最小。当抛光垫加沟槽后,动态压力和抛光温度明显下降,材料去除率增大较多,表面粗糙度Ra下降。径向型沟槽与周向型沟槽的抛光温度变化趋势较为接近,网格型沟槽效果最佳。(4)动态压力和抛光温度随抛光垫沟槽间距及宽度的增大而增大,而材料去除率随沟槽间距的增大而减小,随沟槽宽度的增大略有上升,表面粗糙度Ra随沟槽间距的增大先上升后下降,随沟槽宽度的增加在一定范围内上下波动。(5)正交试验得出抛光压力对材料去除率的影响最大,最优的试验参数方案分别是抛光压力8kPa,抛光垫转速70r/min,抛光液流量85mL/min,抛光垫沟槽宽度6mm。

关键词：化学机械抛光不锈钢基板动态压力和抛光温度在线检测表面质量

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浅析建筑屋面防水渗漏的原因及防治措施

绿色环保建材 2018年第11期 181-182页

作者：郑海凤锦州华城建筑工程有限公司

随着我国建筑业的不断发展进步,建筑工程施工技术也在不断进步,国家的规范及标准也在进一步细化,为建设质量更好的工程提供合理依据。因此,了解建筑屋面的做法,运用新的施工技术为建设工程服务。只有熟练掌握屋面的防水做法,保证正确的... 详细信息

随着我国建筑业的不断发展进步,建筑工程施工技术也在不断进步,国家的规范及标准也在进一步细化,为建设质量更好的工程提供合理依据。因此,了解建筑屋面的做法,运用新的施工技术为建设工程服务。只有熟练掌握屋面的防水做法,保证正确的施工工艺,才能保证施工屋面的质量,避免出现质量问题和缺陷,为建设合格建筑物的过程提供良好的条件。

关键词：建筑屋面防水渗漏原因防治措施

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浅析《搜神记》中的蛇形象

学语文 2014年第6期 49-50页

作者：郑海凤西华师范大学

魏晋志怪小说以丰富多彩的神仙鬼怪以及神奇的传说异闻开中国小说之先河,是中国古典小说的开端,影响深远。而《搜神记》作为魏晋志怪小说的代表作,以其众多的蛇类形象为我们展示了魏晋人对于时事、世态和人情的观念和对于生命、道德和... 详细信息

魏晋志怪小说以丰富多彩的神仙鬼怪以及神奇的传说异闻开中国小说之先河,是中国古典小说的开端,影响深远。而《搜神记》作为魏晋志怪小说的代表作,以其众多的蛇类形象为我们展示了魏晋人对于时事、世态和人情的观念和对于生命、道德和伦理的深刻思考。《搜神记》中关于蛇形象的故事共有三十篇,其中蛇形象以本相出现的故事较多,以幻象出现的仅有五篇,但每篇都为后世小说中蛇形象描写开创了范式,具有典型意义。《搜神记》中的蛇形象描写具有丰富的时代特色,根据出现的频率分为以下几个部分阐释。

关键词：《搜神记》魏晋人中国古典小说后世小说明月珠传奇小说赤蛇金龙池《易传》车骑将军

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数形结合方法在初中数学教学中的应用

数学大世界(下旬) 2019年第1期 18-19页

作者：郑海凤河南省柘城县实验中学

数与形是数学科目的关键组成部分,也是相关研究人员一直以来研究的主要对象。伴随时代的持续发展,为提升学生学习能力和效率,在初中教学中,数学教师采用数形结合方法,取得了较为良好的效果。本文简述了数形结合方法的概念,分析了初中数... 详细信息

数与形是数学科目的关键组成部分,也是相关研究人员一直以来研究的主要对象。伴随时代的持续发展,为提升学生学习能力和效率,在初中教学中,数学教师采用数形结合方法,取得了较为良好的效果。本文简述了数形结合方法的概念,分析了初中数学教学中数形结合方法的地位及意义,探讨了数形结合方法在初中数学教学中的具体运用。

关键词：数形结合初中数学教学应用

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基于脑科学的教学设计原则研究

现代教育技术 2021年第6期31卷 32-40页

作者：程岭马翠程琳时琦郑海凤江苏师范大学教育科学学院江苏徐州221116

教学的核心目的在于培养人的大脑,所以,教学设计原则应契合大脑的认知特性。文章通过对脑科学成熟理论进行归纳总结,概括出人脑认知的三十种主要特性。基于相关特性并围绕教学设计六大要素分析,文章构建了目标设计的关联性原则、对象设... 详细信息

教学的核心目的在于培养人的大脑,所以,教学设计原则应契合大脑的认知特性。文章通过对脑科学成熟理论进行归纳总结,概括出人脑认知的三十种主要特性。基于相关特性并围绕教学设计六大要素分析,文章构建了目标设计的关联性原则、对象设计的分层性原则、内容设计的探究性原则、策略设计的多元性原则、环境设计的协同性原则和评价设计的参与性原则。如此能够为教师日常实践和创新行动提供理论支持和参考依据。

关键词：脑科学教学设计教学设计原则

急性胰腺炎患者持续泵入生长抑素发生低血糖反应护理分析

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中文科技期刊数据库（全文版）医药卫生 2023年第6期 159-161页

作者：钱前王肖郑海凤徐州医科大学附属医院江苏徐州221000

分析有效预防行持续泵入生长抑素治疗的急性胰腺炎患者发生低血糖的护理措施,观察综合护理的应用效果并探究其实施价值。方法结合研究内容与相关要求设置纳入标准与排除标准,以此为据从徐州医科大学附属医院于2020.01~2022.12接纳的急... 详细信息

分析有效预防行持续泵入生长抑素治疗的急性胰腺炎患者发生低血糖的护理措施,观察综合护理的应用效果并探究其实施价值。方法结合研究内容与相关要求设置纳入标准与排除标准,以此为据从徐州医科大学附属医院于2020.01~2022.12接纳的急性胰腺炎患者中选取64例进行研究,并采用系统化随机法分为对照组(n=32,常规护理)与观察组(n=32,综合护理)。通过分析低血糖发生率,尿淀粉酶、血淀粉酶,ESCA等多项观察指标,评估两组护理效果。结果观察组低血糖发生率低于对照组(p<0.05);观察组血尿淀粉酶改善情况优于对照组,治疗后的血淀粉酶水平更低(p<0.05),尿淀粉酶水平均更高(p<0.05);观察组自我护理能力强于对照组,ESCA各子类项目评分均更高(p<0.05)。结论对行持续泵入生长抑素治疗的急性胰腺炎患者采取综合护理可有效预防低血糖反应的发生,利于患者血尿淀粉酶的改善与自护能力的提高,值得临床推广。

关键词：急性胰腺炎持续泵注生长抑素低血糖反应综合护理

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不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究

金刚石与磨料磨具工程 2014年第2期34卷 20-24页

作者：郑海凤魏昕谢小柱杨向东胡伟广东工业大学机电工程学院广州510006

鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的... 详细信息

鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的增大而减小。不锈钢基板边缘点抛光温度高于中心点抛光温度,聚氨酯材料比合成革和磨砂革材料的温升更大。当抛光垫加沟槽时,温升将明显下降,且径向型与周向型沟槽温度变化相差不大,网格型沟槽温差变化最小。抛光垫沟槽间距增大,温升增大;沟槽宽度对温升影响较小。

关键词：不锈钢基板化学机械抛光温度检测

Pender健康促进护理在生大黄灌肠治疗急性胰腺炎患者中的应用

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齐鲁护理杂志 2022年第19期28卷 117-119页

作者：刘明粉王媛媛郑海凤高晨徐州医科大学附属医院江苏徐州221000

目的:探讨Pender健康促进护理在生大黄灌肠治疗急性胰腺炎患者中的应用效果。方法:选取2018年1月1日~2021年1月1日接受生大黄灌肠治疗的88例急性胰腺炎患者作为研究对象,采用计算机随机分组的方式,将研究对象按照1∶1的比例分为对照组... 详细信息

目的:探讨Pender健康促进护理在生大黄灌肠治疗急性胰腺炎患者中的应用效果。方法:选取2018年1月1日~2021年1月1日接受生大黄灌肠治疗的88例急性胰腺炎患者作为研究对象,采用计算机随机分组的方式,将研究对象按照1∶1的比例分为对照组和实验组各44例,接受生大黄灌肠治疗后,对照组给予常规护理,实验组给予Pender健康促进护理;比较两组实验室检查指标[包括血清血淀粉酶(AMS)、高敏C反应蛋白(hs-CRP)]、自我护理能力[采用自我护理能力评分量表(ESCA)]、预后。结果:护理后,两组AMS、hs-CRP均低于护理前(P<0.01),且实验组低于对照组(P<0.01);护理后,两组ESCA评分高于护理前(P<0.01),且实验组高于对照组(P<0.01);实验组腹痛消退时间、腹胀消退时间、肠鸣音恢复时间、排便恢复时间、住院时间均短于对照组(P<0.05)。结论:在生大黄灌肠治疗急性胰腺炎后给予患者Pender健康促进护理,可改善患者AMS、炎症因子水平,提高自我护理能力,促进预后。

关键词：生大黄灌肠急性胰腺炎 Pender健康促进护理

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口蹄疫病毒非结构蛋白3D的研究进展

中国兽医科学 2024年

作者：翟凤格聂振宇张涵张钊裴晶晶郑海学河南农业大学动物医学院中国农业科学院兰州兽医研究所兰州大学动物医学与生物安全学院动物疫病防控全国重点实验室甘肃省病原生物学基础学科研究中心

口蹄疫（FMD）是由口蹄疫病毒（FMDV）引起的一种在偶蹄动物间感染与传播的急性、热性、高度传染性疾病，动物死亡率高，严重影响农业生产，造成巨大的经济损失。FMDV 3Dpol蛋白不仅在基因组复制中发挥至关重要的作用，还参与调节宿主... 详细信息

口蹄疫（FMD）是由口蹄疫病毒（FMDV）引起的一种在偶蹄动物间感染与传播的急性、热性、高度传染性疾病，动物死亡率高，严重影响农业生产，造成巨大的经济损失。FMDV 3Dpol蛋白不仅在基因组复制中发挥至关重要的作用，还参与调节宿主细胞生物学过程，包括病毒复制复合体的组装和定位以及先天免疫反应。本文对FMDV 3Dpol与宿主的相互作用、抗病毒靶点研究以及病毒检测应用等内容进行了系统综述，旨在为疫病防控提供新思路。

关键词：口蹄疫病毒 3D 宿主病毒相互作用药物靶点