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国外高变焦比中波红外镜头的研究进展

红外与激光工程 2015年第3期44卷 795-802页

作者：白瑜邢廷文李华蒋亚东冯成中国科学院光电技术研究所四川成都610209 电子科技大学光电信息学院四川成都610054 中国科学院大学北京100049 中国南玻集团成都南玻玻璃有限公司四川成都610200

与红外定焦镜头和红外两档变焦镜头相比,红外连续变焦镜头具有连续可变的视场,可对目标进行连续的跟踪,是未来红外成像技术的发展方向。随着光学冷加工、精密机械加工、镀膜技术等工艺水平的不断进步,以及现代科技的发展要求,红外变焦... 详细信息

与红外定焦镜头和红外两档变焦镜头相比,红外连续变焦镜头具有连续可变的视场,可对目标进行连续的跟踪,是未来红外成像技术的发展方向。随着光学冷加工、精密机械加工、镀膜技术等工艺水平的不断进步,以及现代科技的发展要求,红外变焦镜头向高变焦比方向发展,同时还须保持良好的成像和消热差性能。概述了国外各种高变焦比中波红外镜头的结构和设计方法,包括20×高变焦比中波红外镜头、30×高变焦比中波红外镜头、300×高变焦比中波红外镜头,总结了一套高变焦比中波红外镜头设计经验,对国内高变焦比中波红外镜头的应用发展研究有借鉴价值。

关键词：应用光学光学设计红外光学中波红外变焦镜头

衍射光学元件设计参数对杂散光的影响(英文)

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红外与激光工程 2013年第11期42卷 3059-3064页

作者：殷可为黄智强林妩媚邢廷文中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院大学北京100049

衍射光学元件被广泛应用于激光光束整形领域中。然而,在实际测量中常常发现衍射效率实际的测量值与设计值存在较大的偏差,原因之一在于输出的焦斑主瓣以外会产生高级次衍射杂散光。文中从理论上推导了高级次衍射杂散光产生的原因并对具... 详细信息

衍射光学元件被广泛应用于激光光束整形领域中。然而,在实际测量中常常发现衍射效率实际的测量值与设计值存在较大的偏差,原因之一在于输出的焦斑主瓣以外会产生高级次衍射杂散光。文中从理论上推导了高级次衍射杂散光产生的原因并对具有不同设计参数的衍射光学元件进行了仿真分析。通过研究,定义了一个新的参数,相对周期。它与光波波长成正比,与衍射光学元件的采样单元尺寸以及远场衍射角成反比。结果表明,衍射光学元件的衍射效率只是关于相对周期的函数,而与焦斑主瓣的具体形状无关。随着相对周期的增加,衍射效率随之增大。所以可通过适当选取远场衍射角和采样单元尺寸的参数以调整相对周期的大小,有效抑制高级次衍射杂散光。该参数在衍射元件的设计中具有重要的指导意义。

关键词：衍射光学元件光束整形衍射效率相对周期

基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计

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光学学报 2015年第11期35卷 94-103页

作者：邢莎莎冉英华江海波邢廷文中国科学院光电技术研究所四川成都610209

光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像... 详细信息

光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像与非成像光学,利用柱面复眼透镜,获得了入射到微反射镜阵列上的非均匀的特定光强分布,基于此光强分布对微及射镜二维偏转角度进行了模拟及优化,并对该照明模式变换系统进行仿真,结果表明,光瞳重构精度小于2.5%,X,Y方向光瞳极平衡性小于0.5%,Prolith中重构光源的曝光性能仿真结果满足要求。与类似的系统相比,该系统仅用不足4000个镜单元即可达到设计要求,适用于集成度高的下一代浸没式光刻系统。

关键词：成像系统照明模式变换自由照明光瞳微反射镜阵列光束整形非球面复眼

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抑制大噪声的解包算法

激光与光电子学进展 2011年第1期48卷 67-72页

作者：徐富超邢廷文中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院研究生院北京100049

移相干涉技术是高精度面形检测的主要手段之一,但当图像中含有大噪声和大块无效区域时,解包却是一个难题。将噪声点分为残差点和不连续点,对残差点采用三点邻域的组合对其进行判定,对不连续点在解包前后进行两次标记,并在解包后利用邻... 详细信息

移相干涉技术是高精度面形检测的主要手段之一,但当图像中含有大噪声和大块无效区域时,解包却是一个难题。将噪声点分为残差点和不连续点,对残差点采用三点邻域的组合对其进行判定,对不连续点在解包前后进行两次标记,并在解包后利用邻域有效点的均值来复原噪声点,从而改进和完善了种子点解包算法。仿真结果表明,改进后的算法有较强的噪声抑制能力,有效解决了在大噪声、大块无效区域情况下图像的相位解包问题,且解包出来的图像中不再含有大的噪声,可用均值滤波进行平滑处理。

关键词：光学检测相位解包移相干涉噪声处理残差点

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用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析

激光与光电子学进展 2012年第11期49卷 67-72页

作者：冯婕邓超邢廷文中国科学院光电技术研究所应用光学实验室四川成都610209 中国科学院大学北京100049

为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅... 详细信息

为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测Φ187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.75nm,实现了非球面元件面形的高精度检测。

关键词：全息术非球面检测计算全息图光学设计误差分析

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光学投影曝光微纳加工技术 4

丛书名：电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著

2006年

作者：姚汉民胡松邢廷文

国家科学技术学术著作出版基金资助:本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。

ISBN: (纸本)7563916695

关键词：光学投影系统电子束光刻

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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部分相干成象的模拟计算方法

光电工程 1996年第2期23卷 20-27页

作者：唐波王效才邢廷文中国科学院光电技术研究所

介绍了一种模拟计算部分相干光成象的实用化方法。根据部分相干理论，推导出数值计算模型，并采用各种方法简化，减少了计算量。根据计算公式编制出了部分相干成象模拟计算软件，可模拟数值孔径、波长、相干因子、离焦、波象差、物体的... 详细信息

介绍了一种模拟计算部分相干光成象的实用化方法。根据部分相干理论，推导出数值计算模型，并采用各种方法简化，减少了计算量。根据计算公式编制出了部分相干成象模拟计算软件，可模拟数值孔径、波长、相干因子、离焦、波象差、物体的线宽、光瞳的中心遮拦等因素对光刻成象质量的影响。

关键词：光刻部分相干成象象质评价计算机模拟光学

EM框架下实现被动测距的状态估计和参数学习

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红外与激光工程 2012年第7期41卷 1708-1713页

作者：王万平廖胜邢廷文中国科学院研究生院北京100049 中国科学院光电技术研究所四川成都610209

在红外成像跟踪系统中,通常仅能测量目标的角度信息,不能直接测量目标与观测站间的距离。研究了基于红外成像系统的被动测距技术,首先利用状态空间模型的分析方法建立被动测距的状态估计和参数学习的混合估计模型,然后介绍EM的基本原理... 详细信息

在红外成像跟踪系统中,通常仅能测量目标的角度信息,不能直接测量目标与观测站间的距离。研究了基于红外成像系统的被动测距技术,首先利用状态空间模型的分析方法建立被动测距的状态估计和参数学习的混合估计模型,然后介绍EM的基本原理和参数的最大似然估计。EM算法的E步利用粒子滤波和粒子平滑器来完成,实现被动测距的状态估计;M步利用梯度搜索的方法来求解参数。被动测距是一个带有未知参数的非线性系统的状态估计,文中利用状态估计与参数学习的状态空间模型来描述,并利用EM法来求解,为被动测距的求解提供了一条新的途径。模拟实验表明,基于粒子滤波和梯度搜索的EM方法能同时完成被动测距的状态估计和参数学习。

关键词：被动测距期望最大化(EM) 粒子滤波梯度搜索

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193nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析

光电工程 2009年第2期36卷 67-72页

作者：邢廷文何国良舒亮中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院研究生院北京100039

为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值... 详细信息

为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差、相移误差、探测器非线性误差以及光源波动、环境变化引起的随机误差等进行了具体分析,从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系,并提出了相应的避免或减小误差的方法。

关键词：干涉测量移相点衍射干涉仪光学检测 193 nm投影光刻