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矩形孔径主动自由曲面变形数据拟合
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光电工程 2016年 第12期43卷 104-109页
作者: 周超 邢廷文 中国科学院光电技术研究所 成都610209
折反式深紫外光刻物镜采用反射镜为主动自由曲面,补偿系统热像差。一些物镜系统要求反射镜的通光孔径为矩形。出于描述反射镜主动变形的目的,需要采用矩形区域正交的多项式拟合变形数据。高精度的拟合要求需要获得高阶的多项式表达式。... 详细信息
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长波红外对常温目标的跟踪成像研究
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光电工程 2004年 第B12期31卷 64-66页
作者: 高昕 邢廷文 北京跟踪与通信技术研究所 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209
靶场观测中存在大量不发光和表面温度接近常温的低温目标,根据它们的光谱辐射特性、背景辐射特性和大气透过率与目标距离的关系,分别选择了中波和长波红外探测器对降落伞进行气球放飞试验。试验结果表明,长波红外探测器对常温目标的探... 详细信息
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国外红外光谱连续变焦成像系统的研究进展
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光谱学与光谱分析 2014年 第12期34卷 3419-3423页
作者: 白瑜 邢廷文 蒋亚东 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 电子科技大学光电信息学院 四川成都610054 中国科学院大学 北京100049
相比红外光谱定焦成像系统和红外光谱两档成像系统而言,红外光谱连续变焦成像系统具有连续变化的视场,可对目标进行连续成像,是未来红外光谱成像技术的发展方向。为了提高红外光谱连续变焦成像系统的探测性能、实现低成本、良好的消热... 详细信息
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铝镜消应力支撑及SPDT辅助装配设计
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光电工程 2014年 第3期41卷 1-6页
作者: 龙波 邢廷文 廖胜 中国科学院光电技术研究所 成都610209 中国科学院大学 北京100049
单点金刚石车削(SPDT)技术的发展为铝镜的批量化生产和应用奠定了工艺和技术基础。为减小安装预紧力、安装面不平引起的镜面变形从而保证光学像质,总结了典型的铝镜消应力支撑结构形式及设计原则。SPDT技术为光学辅助装配开辟了新的技... 详细信息
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微反射镜阵列在光束整形中的应用
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红外与激光工程 2014年 第4期43卷 1210-1214页
作者: 杜猛 邢廷文 袁家虎 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 中国科学院大学 北京100049
在激光的实际应用中,需要利用光束整形技术将激光器的输出光束调制为期望的光强分布。微机电系统的发展为光束整形提供了一种解决方案。采用微反射镜阵列,实现了激光光束的整形。基于随机化的思想提出了相应的算法,分析了算法在不同单... 详细信息
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薄型折反系统布局及金属主镜安装影响分析
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红外与激光工程 2014年 第3期43卷 845-850页
作者: 龙波 邢廷文 廖胜 黄智强 中国科学院光电技术研究所 中国科学院大学 北京100049
对于含口径80 mm的高次非球面金属主镜、主镜顶点到像面距离仅为17.5 mm的薄型折反式光学系统,设计了带3安装耳的主镜,并利用组件合并及周向同环交错前向安装的方式,在保证所有光机件顺利布局的基础上,有效增加了主镜镜体厚度提高了结... 详细信息
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具有变视场性能的中红外光谱系统设计与研究
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光谱学与光谱分析 2014年 第8期34卷 2293-2297页
作者: 白瑜 邢廷文 蒋亚东 冯成 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 电子科技大学光电信息学院 四川成都610054 中国科学院大学 北京100049 中国南玻集团成都南玻玻璃有限公司 四川成都610200
为了用同一设备对目标在中红外光谱段同时实现跟踪和捕获,针对像元尺寸为15μm×15μm的新型大面阵640×512红外探测器,设计了一套大面阵中红外光谱变视场探测成像系统,系统光谱范围为3.7~4.8μm,F数为4.0,窄视场为0... 详细信息
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大数值孔径下的偏振成像分析
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光电工程 2011年 第12期38卷 35-40页
作者: 刘勇 邢廷文 杨雄 中国科学院光电技术研究所 成都610209 中国科学院研究生院 北京100049
光刻设备的分辨率越来越高,以满足集成电路特征尺寸不断缩小的要求。根据瑞利判据,可以通过缩小曝光波长和工艺因子、增大数值孔径来提升光学投影光刻的分辨率。随着数值孔径的增加,光的偏振特性对成像的影响越来越大。通过分析偏振光... 详细信息
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遮光罩和挡光环程序化设计的原理及实现
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光电工程 2006年 第4期33卷 119-123页
作者: 黄智强 邢廷文 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 中国科学院研究生院 北京100039
阐述了消杂光的遮光罩和挡光环的设计原理和思想,并基于自行推导的设计公式,提出利用程序计算来实现遮光罩—挡光环四种不同组合(圆柱状且挡光环等高布置、圆柱状且挡光环梯度布置、锥状且挡光环等高布置和锥状且挡光环梯度布置的遮光罩... 详细信息
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采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析
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红外与激光工程 2012年 第2期41卷 500-505页
作者: 贾辛 邢廷文 魏豪明 李云 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209
随着现代工业和科学技术的飞速发展,特别是近代大规模集成电路技术的不断提高,对系统精度的要求日益提高。在光刻系统中,越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成... 详细信息
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