检索结果-南通市图书馆

辅助阳极在电弧离子镀和磁控溅射技术中的应用和研究进展

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表面技术 2022年第11期51卷 174-185页

作者：赵栋才邱家稳肖更竭张子扬安徽工业大学先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室安徽马鞍山243002 中国空间技术研究院北京100094 兰州空间技术物理研究所兰州730000

按照位置分类,概述了3类辅助阳极。第1类布置在阴极附近,能起到吸引电子,增大离化率,并降低沉积温度的效果,同时若有带负电的离子,也会被吸引至阳极;第2类布置在基片的背面,在吸引电子达到阳极的过程中,会增大基片附近工艺气体和沉积物... 详细信息

按照位置分类,概述了3类辅助阳极。第1类布置在阴极附近,能起到吸引电子,增大离化率,并降低沉积温度的效果,同时若有带负电的离子,也会被吸引至阳极;第2类布置在基片的背面,在吸引电子达到阳极的过程中,会增大基片附近工艺气体和沉积物的离化率,正离子在负偏压的引导下会和基底发生碰撞,达到基底活化或者提高膜层质量的目的;第3类为特殊工件类,如管内壁镀膜时通过辅助阳极的布置,提高管腔内等离子体的均匀性,从而增加膜层厚度和质量的一致性。辅助阳极的增加只需在真空室特定位置布置特定形状的阳极即可,即使需要额外引线,只需一个接线法兰口就能完成,非常方便。辅助阳极加载的正电压一般在0至几百伏之间,如果是0,则直接和真空腔室连接即可,必要时串联电阻。辅助阳极技术具有改变离子能量和方向的特点,能起到对大颗粒的抑制作用,能改变到达膜层表面离子的能量,对膜层质量的提高具有重要意义,值得推广。

关键词：辅助阳极电弧离子镀磁控溅射离化率大颗粒过滤

多级触发脉冲电弧源技术制备掺氮ta-C薄膜的力学性能研究

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机械工程学报 2023年第24期59卷 108-117页

作者：赵栋才马占吉刘兴光郑军张子扬安徽工业大学先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室马鞍山243002 兰州空间技术物理研究所兰州730000 安徽工业大学材料科学与工程学院马鞍山243000

多级触发脉冲电弧源技术指由前一级电弧放电引发后一级电弧放电的技术,具有高真空下工作、瞬时电流高达上万安培和有效过滤大颗粒等特点,因而非常适合于ta-C薄膜的制备。本研究通过在制备过程中引入氮气,在室温条件下制备了含氮ta-C薄... 详细信息

多级触发脉冲电弧源技术指由前一级电弧放电引发后一级电弧放电的技术,具有高真空下工作、瞬时电流高达上万安培和有效过滤大颗粒等特点,因而非常适合于ta-C薄膜的制备。本研究通过在制备过程中引入氮气,在室温条件下制备了含氮ta-C薄膜。研究发现:当气压从本底真空升高至1.3×10^(-2)Pa时,膜层中的N原子分数从0%升至8.9%左右,随后不再随氮气分压的增加而呈现严格的增加关系。膜层中掺杂的N和C发生了化学反应,生成了sp^(2)态和sp^(3)态的C-N,膜层残余压应力明显下降,硬度略有降低。当沉积气压从3.7×10^(-2)Pa逐步升高至6.0×10^(-1)Pa时,虽然薄膜氮含量并未增加,但其sp^(2)含量逐渐增多,sp^(3)含量逐渐降低,导致膜层硬度和应力逐步降低。在氮原子百分比含量低于8.9%时,薄膜的摩擦因数在0.14~0.15之间,随后随着沉积气压的升高由0.15增长至0.5。最后在钛合金基体上制备了含氮ta-C薄膜,摩擦因数为0.14~0.15,综合性能优异。

关键词： ta-C 掺氮压应力硬度摩擦因数

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初中物理探究课教学的设计和实施

数理化解题研究 2022年第11期 89-91页

作者：赵栋才江苏省连云港市东海县白塔初级中学 222345

初中物理探究性教学课程的设置,是新课标的创新点和亮点.教师应充分认知初中物理探究课的教学价值,在课前基于学生真实学习需求设计物理探究教学情景,在精心做好物理探究课教学的准备工作的基础上,运用多种方式引发学生主动探究意识并... 详细信息

初中物理探究性教学课程的设置,是新课标的创新点和亮点.教师应充分认知初中物理探究课的教学价值,在课前基于学生真实学习需求设计物理探究教学情景,在精心做好物理探究课教学的准备工作的基础上,运用多种方式引发学生主动探究意识并培养学生的探究能力,并引导学生在探究性学习中实现自我提升.

关键词：初中物理教学探究教学设计实施

镀膜前离子束清洗对复合材料表面Al膜附着力影响研究

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真空科学与技术学报 2013年第9期33卷 867-870页

作者：赵栋才武生虎马占吉肖更竭任妮兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室兰州730000

在树脂基复合材料表面镀Al膜前,利用Ar离子束对基体表面进行清洗处理,当离子束清洗时间不同或离子束能量不同时,经万能拉伸试验仪、扫描电镜、X射线光电子谱测试发现,Ar离子束能对表面造成溅射现象,如果加大离子束能量,表面有熔融现象;A... 详细信息

在树脂基复合材料表面镀Al膜前,利用Ar离子束对基体表面进行清洗处理,当离子束清洗时间不同或离子束能量不同时,经万能拉伸试验仪、扫描电镜、X射线光电子谱测试发现,Ar离子束能对表面造成溅射现象,如果加大离子束能量,表面有熔融现象;Al和基体之间形成了化学键,但键的多少与镀膜前离子束清洗时间长短、离子束能量大小无关;离子束未作清洗的样品表面Al膜附着力测试值离散性很大,会出现测试值接近0的个别子样,其他样品附着力均大于5 N/mm2。

关键词： Al膜复合材料附着力离子束

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电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用

表面技术 2012年第2期41卷 93-100,104页

作者：邱家稳赵栋才中国空间技术研究院北京100094 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室兰州730000

从电弧蒸发源控制技术和大颗粒过滤技术出发,论述了电弧离子镀技术最近的发展成果,并总结了电弧离子镀技术在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方面的技术应用进展,以期能对我国电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用起到一定的参考作用。

关键词：电弧离子镀硬质薄膜氮化物非晶碳膜氧化物薄膜

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复材表面电弧离子镀镀铝膜性能研究

真空科学与技术学报 2010年第5期30卷 510-513页

作者：赵栋才肖更竭马占吉武生虎任妮表面工程技术国家级重点实验室兰州物理研究所兰州730000

为了减小复材天线反射器在高频段的反射损耗,利用电弧离子镀膜技术在其表面镀Al膜。用万能拉伸测试仪、表面轮廓仪、SEM、XPS、XRD、Z-82数字式四探针测试仪对其性能进行评价。发现薄膜致密、均匀、形成晶体结构,导电性能接近块体Al材... 详细信息

为了减小复材天线反射器在高频段的反射损耗,利用电弧离子镀膜技术在其表面镀Al膜。用万能拉伸测试仪、表面轮廓仪、SEM、XPS、XRD、Z-82数字式四探针测试仪对其性能进行评价。发现薄膜致密、均匀、形成晶体结构,导电性能接近块体Al材。通过XPS研究发现,组成薄膜的金属元素和基底中的氧、碳等元素发生了反应。在拉拔试验中,复材基底成分层状脱落,薄膜和复材基底附着完好。说明组成薄膜的Al元素在界面处和基底材料发生反应,形成化学键,提高了附着力。

关键词：铝膜碳纤维复合材料电弧镀金属化

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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究

物理学报 2008年第3期57卷 1935-1940页

作者：赵栋才任妮马占吉邱家稳肖更竭武生虎兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室兰州730000

用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的... 详细信息

用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的硬度相比,基本保持不变;当硅含量小于6.7at.%时薄膜的摩擦系数相对于未掺杂的类金刚石薄膜也保持不变,为0.15.当薄膜中硅含量继续增加时,薄膜中C—Si键的含量增多,导致薄膜硬度和应力都有较大幅度地减小、摩擦系数增大、磨损性能也变差了.

关键词：类金刚石膜掺硅应力硬度制备力学性能

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七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究

真空科学与技术学报 2008年第4期28卷 346-350页

作者：赵栋才任妮马占吉肖更竭武生虎兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室兰州730000

为了解决类金刚石(DLC)膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)制备了DLC薄膜。利用Si(100)基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚(0.9μm)DLC膜。薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被拉开。纳米硬度计测试结果表明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不随基底材料改变。往复式摩擦试验结果显示,稳定后的摩擦系数在0.1附近。通过Raman谱发现,所有基底上薄膜的谱图一致,这说明薄膜的结构不受基底影响。

关键词：类金刚石膜硬度摩擦系数附着力

在复合材料表面以Ti为过渡层制备的Al膜技术性质(英文)

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稀有金属材料与工程 2013年第S2期42卷 243-246页

作者：赵栋才肖更竭马占吉武生虎任妮兰州物理研究所表面工程技术重点实验室甘肃兰州730000

利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak 8 Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附着力和膜基界面进行评价,发现Al膜性能接近Al块材,且Ti和基... 详细信息

利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak 8 Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附着力和膜基界面进行评价,发现Al膜性能接近Al块材,且Ti和基体形成了Ti-C,Ti-O等化学键,提高了Al在复材表面的附着力。

关键词：铝膜电弧离子镀附着力复合材料