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10μm 1280×1024 HgCdTe中波红外焦平面阵列探测性能提升（英文）

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红外与毫米波学报 2024年第1期 36-43页

作者：谭必松毛剑宏陈殊璇李伟伟陈世锐陈天晴杜宇彭成盼熊雄周永强余波王舒浙江珏芯微电子有限公司

对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结；采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术，实现高的电学连通率；采用多段温度填胶固化和... 详细信息

对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结；采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术，实现高的电学连通率；采用多段温度填胶固化和边缘刻蚀工艺减轻HgCdTe器件和读出集成电路(ROICs)之间的热失配，从而降低焦平面器件失效率。在85 K焦平面工作温度下，研制探测器的光谱响应范围为3.67μm至4.88μm，有效像元率高达99.95%，并且探测器组件像元的平均噪声等效温差(NETD)和暗电流密度的平均值分别小于16 mK和2.1×10-8A/cm2。与像元尺寸为15μm的探测器相比，10μm的1280×1024中波红外探测器可获取更加精细的图像，具有更远的识别距离。目前，该技术已成功转移到浙江珏芯微电子有限公司(ZJM)的HgCdTe红外探测器产线。

关键词：红外探测器碲镉汞 1 K×1 K红外焦平面阵列 n-on-p

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永零高速首片预制箱梁架设完成

永零高速首片预制箱梁架设完成

湖南日报

作者：谭必松陈星王亮

湖南日报6月14日讯（通讯员谭必松陈星全媒体记者王亮）近日，永零高速公路谷家塘大桥施工现场机器轰隆，一片长25米、重约74吨的预制箱梁从架桥机上平稳落梁，标志着永零高速的桥梁工程从下部结构施工转入上部结构施工，全线建设... 详细信息

湖南日报6月14日讯（通讯员谭必松陈星全媒体记者王亮）近日，永零高速公路谷家塘大桥施工现场机器轰隆，一片长25米、重约74吨的预制箱梁从架桥机上平稳落梁，标志着永零高速的桥梁工程从下部结构施工转入上部结构施工，全线建设开始提速。永零高速由湖南交水建集团旗下......

关键词：预制箱梁架桥机

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湖南高速公路建设火热

湖南高速公路建设火热

湖南日报

作者：彭可心谭必松胡宇

8月22日，记者在衡永高速项目建设现场看到，压路机、摊铺机等大型机器来回穿梭，施工人员在高温沥青旁不断调整摊铺速度。“计划10月底前完成主线路面沥青摊铺。”衡永高速路面二标项目总工柳任介绍。目前，衡永高速进入沥青摊铺高峰... 详细信息

8月22日，记者在衡永高速项目建设现场看到，压路机、摊铺机等大型机器来回穿梭，施工人员在高温沥青旁不断调整摊铺速度。“计划10月底前完成主线路面沥青摊铺。”衡永高速路面二标项目总工柳任介绍。目前，衡永高速进入沥青摊铺高峰期，预计明年5月建成通车。届时，将打通......

关键词：高速公路建设连接线

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ECR等离子体离子参数的测量研究

ECR等离子体离子参数的测量研究

作者：谭必松武汉工程大学

学位级别：硕士

电子回旋共振(ECR)等离子体由于具有工作气压低、等离子体密度高等优点,广泛应用于微电子刻蚀、薄膜材料沉积、材料加工、材料表面技术中。在ECR等离子体中,等离子体参数(特别是离子参数)对薄膜质量、刻蚀速率等方面有着至关重要的影响... 详细信息

电子回旋共振(ECR)等离子体由于具有工作气压低、等离子体密度高等优点,广泛应用于微电子刻蚀、薄膜材料沉积、材料加工、材料表面技术中。在ECR等离子体中,等离子体参数(特别是离子参数)对薄膜质量、刻蚀速率等方面有着至关重要的影响。等离子体参数的测量是ECR等离子体应用的关键。国内外广泛开展了ECR等离子体电子参数的测量研究,然而很少有人开展关于ECR等离子体离子参数的测量研究。本文在自主设计的微波ECR等离子体装置上建立了一套等离子体离子参数自动测量系统,开展了离子参数的测量研究。主要工作如下: 1、构建了一套等离子体离子参数自动测量系统,设计了可调性好、灵敏度高的离子灵敏探针(ISP)和Langmuir双探针,可满足离子参数和电子参数的同时测量。 2、在高低两种气压模式下,研究ISP测量的影响因素,测量等离子体电势,探讨负电压区间的I-V特征曲线的变化机理,并运用双探针测量电子密度,分析等离子体参数对标准屏蔽高度的影响,结果表明: (1)离子收集极顶部和保护电极上端之间的距离,即所谓的屏蔽距离h,在一定范围内才能有效屏蔽电子,从而尽可能多的收集离子,使ISP更加准确的测量饱和离子流,h值过高,会屏蔽部分低能离子,导致离子温度测量值偏大;在收集电极与屏蔽电极之间加上小的负偏压V,能有效抑制探针附近通过E×B漂移运动到达离子收集电极的电子,负V过大,会提高离子饱和电流,使离子温度的测量值偏大。 (2)ISP能稳定测量等离子体电势,不受V的影响,但其测量的准确性受h值影响。h值增大会引起鞘层等势面下降,使测量位置发生变化,从而影响其测量值的准确性,特别在电势径向分布陡峭的等离子体中。 (3)负电压区间的I-V特征曲线取决于离子收集有效面积即鞘层表面积。h增加的过程中,负电压区间离子电流从逐渐增大的趋势变为先减小后增大的趋势,等离子体电势较小的区域变化趋势更明显。 (4)ISP测量的离子密度与双探针测量的电子密度相吻合,与等离子体电中性性质一致。 (5)标准屏蔽高度hc取决于电子回旋半径r和由德拜半径λD决定的鞘层厚度,其取值范围为:10 r≤hc≤10r +8λD。 3、用ISP对ECR等离子体离子参数进行了测量,研究了工作气压、微波功率对离子参数的影响,并探讨了工作气压、磁场位形对离子参数空间分布的影响,结果表明: (1)随着工作气压的增大,离子温度单调减小,离子密度先增大然后减小;随着微波功率从400W增加到800W,离子温度缓慢增加,离子密度先增加后趋于饱和。 (2)气压对离子密度空间分布有显著的影响。低气压时,离子密度沿轴向及径向分布的均匀性较好;而高气压下离子密度沿轴向和径向分布陡峭。 (3)离子温度与共振面密切相关,离共振面越近,离子温度越高。发散场中,离子密度沿轴向和径向都减小,离子密度在远离共振点的等离子体区域具有良好的径向均匀性;磁镜场中,离子被约束在磁镜中,磁场低洼处,离子密度最高;磁镜场中离子温度和密度比发散场中高。

关键词： ECR等离子体离子灵敏探针离子温度离子密度等离子体电势离子参数空间分布

非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜

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强激光与粒子束 2010年第8期22卷 1887-1890页

作者：谭必松马志斌沈武林吴振辉武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室武汉430073

分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀... 详细信息

分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀,并研究了刻蚀机理。结果表明：电子温度为5～10 eV,离子温度为1 eV左右,而等离子体数密度在1010cm-3数量级。随气压的升高,电子和离子温度降低,而电子数密度先增大后减小。在低气压下等离子体数密度空间分布更均匀,优化的刻蚀气压为0.1 Pa。刻蚀过程中,离子的回旋运动特性得到了加强,有利于平行于金刚石膜表面的刻蚀,有效地保护了金刚石膜的晶界和缺陷。

关键词：非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积

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隆香梅和她的“阿雅手工”

民族论坛 2009年第1期 30-31页

作者：谭必松

她曾多次受邀赴香港、青岛等地参加民间手工制品艺术展览会,并现场表演织布、雕花、剪纸等民间手艺制作;她创作的作品曾被黄永玉收藏,并亲自为她题词"阿雅手工",使之声名远播;她创作的作品销往美国、德国、日本,深受国际友人好评。她就... 详细信息

她曾多次受邀赴香港、青岛等地参加民间手工制品艺术展览会,并现场表演织布、雕花、剪纸等民间手艺制作;她创作的作品曾被黄永玉收藏,并亲自为她题词"阿雅手工",使之声名远播;她创作的作品销往美国、德国、日本,深受国际友人好评。她就是湘西土家族苗族自治州著名民间艺术家隆香梅。

关键词：手工制品阿雅湘西土家族苗族自治州民间艺术家现场表演国际友人展览会黄永玉

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Ion Heating in an ECR Plasma with a Magnetic Mirror Field

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Plasma Science and Technology 2013年第6期15卷 516-520页

作者：沈武林马志斌谭必松吴俊 Provincial Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials School of Materials Science and EngineeringWuhan Institute of Technology

Magnetoelectric heating was used to heat ions in an ECR plasma with a magnetic mirror *** temperature and density of ions were measured by an ion sensitive probe（ISP） before and after magnetoelectric heating in order to investigate the influence of the anode ring’s radius,axial position and working pressure on magnetoelectric *** showed that a suitable radius of the anode ring could improve the ion temperature effectively and the optimal size of the anode ring depended on the cyclotron radius of *** radial uniformity of the ion density was improved by increasing the radius of the anode ring after *** magnetic mirror field could reduce the loss of ions caused by collision with the wall of the chamber and it was beneficial to increase the ion temperature and the ion *** was suitable to heat the ions when the anode ring was set at the center of the magnetic mirror field where there was a weaker magnetic field *** pressure contributed to the increase in the ion temperature and efficiency of magnetoelectric heating.

关键词： ECR plasma magnetoelectric heating ion temperature

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刘昌刚到永顺县调研 001

刘昌刚到永顺县调研

团结报

作者：谭必松

本报讯（谭必松）3月2日，州政协主席刘昌刚、州政协副主席向顶天带领部分州政协委员和相关委室负责人到永顺县调研。州政协党组成员罗亚阳陪同调研。刘昌刚一行到芙蓉镇产业园，察看了老爹公司、民瑞医药、伟佳果业和同康制衣扶贫车间... 详细信息

本报讯（谭必松）3月2日，州政协主席刘昌刚、州政协副主席向顶天带领部分州政协委员和相关委室负责人到永顺县调研。州政协党组成员罗亚阳陪同调研。刘昌刚一行到芙蓉镇产业园，察看了老爹公司、民瑞医药、伟佳果业和同康制衣扶贫车间等企业的复工复产情况；走访慰问了永?

关键词：永顺县红色文化旅游疫情防控

刘昌刚调研疫情防控和企业复工复产情况 001

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刘昌刚调研疫情防控和企业复工复产情况

团结报

作者：谭必松

本报讯（谭必松）2月14日上午，州政协主席刘昌刚到丰达合金科技有限公司、湘泉制药有限公司，调研疫情防控和企业复工复产情况。在丰达合金科技有限公司，刘昌刚详细了解企业的疫情防控措施、复工复产情况，深入氮化锰车间了解企业生... 详细信息

本报讯（谭必松）2月14日上午，州政协主席刘昌刚到丰达合金科技有限公司、湘泉制药有限公司，调研疫情防控和企业复工复产情况。在丰达合金科技有限公司，刘昌刚详细了解企业的疫情防控措施、复工复产情况，深入氮化锰车间了解企业生产经营情况，仔细询问企业当前存在的困

关键词：疫情防控