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低位错密度8英寸导电型碳化硅单晶衬底制备

无机材料学报 2023年第11期38卷 1371-1372页

作者：熊希希杨祥龙陈秀芳李晓蒙谢雪健胡国杰彭燕于国建胡小波王垚浩徐现刚山东大学晶体材料国家重点实验室新一代半导体材料研究院济南250100 广州南砂晶圆半导体技术有限公司广州511458

碳化硅具有优异的物理化学性能,在电动汽车、轨道交通、高压输变电、光伏、5G通信等领域具有广泛应用前景。8英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底在降低器件单位成本、增加产能供应方面具有巨大的潜力,成为行业重要的技术发展方向。近期山东大... 详细信息

碳化硅具有优异的物理化学性能,在电动汽车、轨道交通、高压输变电、光伏、5G通信等领域具有广泛应用前景。8英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底在降低器件单位成本、增加产能供应方面具有巨大的潜力,成为行业重要的技术发展方向。近期山东大学与广州南砂晶圆半导体技术有限公司在8英寸SiC衬底位错缺陷控制方面取得了重大突破,使用物理气相传输法(Physical vapor transport,PVT)制备了低位错密度8英寸导电型4H-SiC单晶衬底,其中螺位错(Threading screw dislocation,TSD)密度为0.55 cm^(–2),基平面位错(Basal plane dislocation,BPD)密度为202 cm^(–2)。

关键词： 4H-SiC 8英寸低位错密度单晶衬底

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8英寸导电型4H-SiC单晶的生长

人工晶体学报 2022年第9期51卷 1745-1748页

作者：杨祥龙陈秀芳谢雪健彭燕于国建胡小波王垚浩徐现刚山东大学晶体材料国家重点实验室新一代半导体材料研究院济南250100 广州南砂晶圆半导体技术有限公司广州511458

采用物理气相传输(PVT)法扩径获得了8英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC籽晶,用于8英寸导电型4H-SiC晶体生长,并加工出厚度520μm的8英寸4H-SiC衬底。使用拉曼光谱、全自动显微镜面扫描、非接触电阻率测试仪面扫描和高分辨X射线衍射仪对衬底的... 详细信息

采用物理气相传输(PVT)法扩径获得了8英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC籽晶,用于8英寸导电型4H-SiC晶体生长,并加工出厚度520μm的8英寸4H-SiC衬底。使用拉曼光谱、全自动显微镜面扫描、非接触电阻率测试仪面扫描和高分辨X射线衍射仪对衬底的晶型、微管、电阻率和结晶质量进行了表征。衬底颜色均一并结合拉曼光谱表明衬底4H-SiC晶型面积比例为100%;衬底微管密度小于0.3 cm^(-2);衬底电阻率范围20~23 mΩ·cm,平均值为22 mΩ·cm;(004)面高分辨X射线摇摆曲线半峰全宽为32.7″,表明衬底良好的结晶质量。

关键词： SiC单晶衬底 8英寸物理气相传输法微管密度电阻率

全反式视黄酸预防性给药可减轻类风湿关节炎模型大鼠的炎症

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南方医科大学学报 2017年第2期37卷 172-177页

作者：曾香单靖焱刘杨宁艳花谢雪健申雨燕宋杰李云四川大学华西公共卫生学院营养食品卫生与毒理学系四川成都610041 成都市双流区妇幼保健院四川成都610200 宁夏医科大学护理学院社区护理系宁夏银川750004

目的探索全反式视黄酸(ATRA)对Ⅱ型胶原(CⅡ)诱导的类风湿关节炎模型(CIA)大鼠关节炎形成期关节组织结构、血清中相关炎性细胞因子表达水平,以及软骨损伤相关蛋白表达水平的影响。方法将6~8周龄雌性Wistar大鼠随机分为空白对照组、溶剂... 详细信息

目的探索全反式视黄酸(ATRA)对Ⅱ型胶原(CⅡ)诱导的类风湿关节炎模型(CIA)大鼠关节炎形成期关节组织结构、血清中相关炎性细胞因子表达水平,以及软骨损伤相关蛋白表达水平的影响。方法将6~8周龄雌性Wistar大鼠随机分为空白对照组、溶剂对照组、ATRA各剂量组,给予溶剂对照组和ATRA各剂量组大鼠尾部皮内注射CⅡ和不完全弗氏佐剂诱导类风湿关节炎,空白对照组大鼠以相同方式给予等量生理盐水。自初次免疫第2天起,ATRA各剂量组大鼠腹腔注射不同剂量(0.05、0.5、5 mg/kg)的ATRA油剂,溶剂对照组腹腔注射等体积玉米油,空白对照组腹腔注射等体积生理盐水,每周3次,连续3周。观察ATRA对大鼠关节炎指数(AI)评分、膝踝关节组织病理形态学、血清中相关炎性细胞因子的表达水平及软骨损伤相关蛋白表达水平的影响。结果自初次免疫第15天起,ATRA各剂量组和溶剂对照组AI值均显著高于空白对照组(P0.05);此外,与溶剂对照组相比,ATRA各剂量组白介素-17A(IL-17A)和肿瘤坏死因子-α(TNF-α)分泌减少(P0.05)。结论在胶原诱导关节炎形成期,ATRA可抑制TNF-α、IL-17A等促炎因子的分泌,促进IL-10的分泌,从而减轻CIA大鼠关节炎形成期的炎症反应。说明ATRA在关节炎形成期可延缓疾病的进展,其作用机制可能与纠正Th1/Th2及Th17/Treg失衡有关。

关键词：类风湿关节炎胶原诱导性关节炎全反式视黄酸

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单晶金刚石声子非简谐衰减效应研究

人工晶体学报 2023年第3期52卷 442-451页

作者：李斌胡秀飞杨旖秋王英楠谢雪健彭燕杨祥龙王希玮胡小波徐现刚冯志红山东大学新一代半导体材料研究院济南250100 山东大学晶体材料国家重点实验室济南250100 专用集成电路国家级重点实验室石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051

随着金刚石作为散热材料在大功率半导体器件、激光器、微波器件和大规模集成电路等领域中的应用愈加广泛,通过对金刚石局部进行精确测温以评价其散热性能是一个重要的研究课题。本文使用拉曼光谱仪对不同掺杂类型的高温高压(HTHP)样品... 详细信息

随着金刚石作为散热材料在大功率半导体器件、激光器、微波器件和大规模集成电路等领域中的应用愈加广泛,通过对金刚石局部进行精确测温以评价其散热性能是一个重要的研究课题。本文使用拉曼光谱仪对不同掺杂类型的高温高压(HTHP)样品和化学气相沉积(CVD)样品在228~678 K进行检测,得到了金刚石样品TO模拉曼峰位、半峰全宽等与温度的一一对应关系,并通过理论计算模型明确了热膨胀、三声子、四声子随温度变化对拉曼峰位、半峰全宽的贡献。理论和实验测试结果发现:不同掺杂以及不同类型样品的拉曼光谱峰位无明显区别;随温度升高,半峰全宽宽化,主要影响因素为声子衰减导致的非简谐效应,同时受载流子的电离率、浓度、类型,以及缺陷和杂质影响;声子寿命主要受到声子的非简谐衰减作用影响,基本不受杂质散射的影响。本研究为金刚石材料的温度检测提供了一种无损、非接触、高空间分辨率的方法。

关键词：单晶金刚石拉曼光谱掺杂温度相关性声子衰减声子寿命

染料木黄酮对体外培养乳鼠睾丸组织全基因表达谱的影响

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四川大学学报（医学版） 2017年第5期48卷 705-709,731页

作者：单靖焱曾香徐华宁艳花谢雪健申雨燕宋杰李云四川大学华西公共卫生学院营养食品卫生与毒理学系成都610041 泰山医学院附属医院营养科泰安271000

目的利用基因芯片技术研究染料木黄酮(Genistein,Gen)对体外培养的小鼠睾丸组织全基因表达谱的影响,从基因水平分析Gen影响睾丸细胞增殖凋亡的作用机制。方法利用旋转通气法体外培养乳鼠睾丸组织,给予5μmol/L Gen干预,同时设立DMSO溶... 详细信息

目的利用基因芯片技术研究染料木黄酮(Genistein,Gen)对体外培养的小鼠睾丸组织全基因表达谱的影响,从基因水平分析Gen影响睾丸细胞增殖凋亡的作用机制。方法利用旋转通气法体外培养乳鼠睾丸组织,给予5μmol/L Gen干预,同时设立DMSO溶剂对照组。培养72h后提取组织总RNA,用单标Agilent小鼠全基因芯片检测两组睾丸组织基因表达,筛选差异基因,进行基因功能分类。结果与对照组比较,Gen组筛选出84个表达差异有统计学意义的基因(P<0.05),其中47个基因表达上调,37个基因表达下调。按差异基因功能富集分析(GO)分类标准进行分类,筛选出有统计学意义的GO分类14个(P<0.05),主要涉及生殖发育、细胞增殖、细胞周期等功能。结论通过全基因芯片检测发现,Gen主要影响睾丸组织生殖发育、细胞增殖和细胞周期等功能相关基因表达,从而影响精子发生和睾丸细胞的增殖和凋亡,影响睾丸的功能。

关键词：全基因表达谱染料木黄酮睾丸体外培养

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Ge掺杂碳化硅晶体的生长缺陷

无机材料学报 2016年第11期31卷 1166-1170页

作者：张福生陈秀芳崔潆心肖龙飞谢雪健徐现刚胡小波山东大学晶体材料国家重点实验室济南250100 全球能源互联网(山东)协同创新中心济南250061

采用物理气相传输法(PVT)制备了2英寸Ge掺杂和非掺SiC晶体,并使用二次离子质谱仪(SIMS)、显微拉曼光谱(Raman spectra)仪、体式显微镜、激光共聚焦显微镜(LEXT)和高分辨X射线衍射(HRXRD)仪等测试手段对其进行了表征。结果表明,Ge元素可... 详细信息

采用物理气相传输法(PVT)制备了2英寸Ge掺杂和非掺SiC晶体,并使用二次离子质谱仪(SIMS)、显微拉曼光谱(Raman spectra)仪、体式显微镜、激光共聚焦显微镜(LEXT)和高分辨X射线衍射(HRXRD)仪等测试手段对其进行了表征。结果表明,Ge元素可以有效地掺入SiC晶体材料中,且掺杂浓度达到2.52′1018/cm3,伴随生长过程中Ge组份的消耗和泄漏,掺杂浓度逐渐降低;生长初期高浓度Ge掺杂会促使6H-SiC向15R-SiC晶型转化,并随着生长过程中Ge浓度的降低快速地转回6H-SiC稳定生长。用LEXT显微镜观察发现,生长初期过高的Ge掺杂导致空洞明显增多,位错密度增加,掺杂晶体中位错密度较非掺晶体增大一倍。HRXRD分析表明掺Ge能增大SiC晶格常数,这将有利于提高与外延III族氮化物材料适配度,并改善器件的性能。

关键词：物理气相传输法 Ge掺杂 Si C晶体晶格常数

全反式视黄酸对CIA大鼠血清炎性细胞因子及软骨损伤相关蛋白表达的影响

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四川大学学报（医学版） 2016年第4期47卷 479-484页

作者：谢雪健申雨燕宋杰钟灵毓宁艳花曾香单靖焱刘杨朱彦锋李云四川大学华西公共卫生学院营养食品卫生与毒理学系成都610041 西藏自治区人民政府驻成都办事处医院营养科成都610041 成都医学院公共卫生系成都610500

目的探讨全反式视黄酸(ATRA)对胶原诱导的类风湿关节炎模型大鼠(CIA大鼠)关节炎症反应、炎性相关细胞因子及软骨损伤相关蛋白表达的影响。方法将雌性Wistar大鼠随机分为空白对照组和造模组,造模组采用牛CⅡ型胶原和不完全弗氏佐剂诱导... 详细信息

目的探讨全反式视黄酸(ATRA)对胶原诱导的类风湿关节炎模型大鼠(CIA大鼠)关节炎症反应、炎性相关细胞因子及软骨损伤相关蛋白表达的影响。方法将雌性Wistar大鼠随机分为空白对照组和造模组,造模组采用牛CⅡ型胶原和不完全弗氏佐剂诱导关节炎。造模成功后,将模型鼠随机分为CIA模型组和ATRA治疗组。ATRA治疗组给予不同剂量(0.50mg/kg、1.00mg/kg)的ATRA腹腔注射,3次/周,连续治疗6周。空白对照组给予等体积的生理盐水,CIA模型组给予等体积玉米油。观察CIA大鼠关节炎指数(AI)评分、血清炎性相关细胞因子的水平、膝和踝关节组织病理形态学改变及软骨损伤相关蛋白的表达。结果 ATRA干预6周后,不同剂量ATRA治疗组AI评分与CIA模型组相比,差异均无统计学意义(P>0.05);HE染色示,CIA模型组和ATRA 1.00mg/kg剂量组膝、踝关节结构紊乱,ATRA 0.50mg/kg剂量组膝关节结构有所改善。此外,与CIA模型组相比,ATRA可抑制促炎细胞因子干扰素-γ、肿瘤坏死因子-α、白介素-17A的分泌(P<0.05),促进白介素-4的分泌(P<0.05);下调解整链蛋白金属蛋白酶(ADAMTS)-4、基质金属蛋白酶(MMP)3、MMP1的表达(P<0.05)。结论 ATRA可在一定程度上抑制促炎因子分泌,纠正Th1/Th2及Th17/Treg失衡,并抑制软骨损伤相关酶类的蛋白表达,对类风湿关节炎有潜在的有利影响。

关键词：类风湿关节炎 CIA模型全反式视黄酸

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SiC单晶生长初期表面台阶及微管特性

硅酸盐学报 2022年第8期50卷 2239-2244页

作者：仲光磊胡国杰王鹤静谢雪健杨祥龙彭燕陈秀芳胡小波徐现刚山东大学新一代半导体材料研究院晶体材料国家重点实验室济南250100

晶体生长初期成核阶段的籽晶表面变化对后续晶体生长质量具有重要影响。采用光学显微镜对SiC生长初期的表面和微管形貌进行观察。在8×10^(4)Pa、1800-2100℃生长条件下,籽晶表面出现了原子迁移产生的台阶。同时发现微管会严重干扰正常... 详细信息

晶体生长初期成核阶段的籽晶表面变化对后续晶体生长质量具有重要影响。采用光学显微镜对SiC生长初期的表面和微管形貌进行观察。在8×10^(4)Pa、1800-2100℃生长条件下,籽晶表面出现了原子迁移产生的台阶。同时发现微管会严重干扰正常台阶流的运动,并且微管处会形成一个圆形凹坑。在2×10^(4)Pa、2150~2300℃生长条件下,发现籽晶表面中心已经形成了多个SiC晶核,籽晶边缘附近的部分微管已经产生明显应力区,且应力主要在紧贴微管并朝向边缘的区域,证明了台阶流是由中心向边缘移动的。此外,对加工后的衬底表面进行AFM观察,发现其表面同样存在取向不同的台阶,这可能与晶体生长初期的台阶形貌有关。

关键词：微管碳化硅单晶台阶流晶体生长

大豆异黄酮对体外培养乳鼠睾丸组织Insl3、Mvh、Wt1、α-SMA表达的影响及机制研究

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毒理学杂志 2016年第5期30卷 381-384,385页

作者：宋杰谢雪健申雨燕曲绍娟单靖焱曽香印德娇李云四川大学华西公共卫生学院营养食品卫生与毒理学系成都610041 青岛市第六人民医院重庆市北碚区妇幼保健院

目的采用睾丸体外培养模型研究大豆异黄酮对乳鼠睾丸组织Insl3、Mvh、Wt1和α-SMA表达的影响,并探讨该影响是否由雌激素受体途径介导。方法经适应性体外培养的乳鼠睾丸组织,随机分为对照组、染料木黄酮(Gen)组、Gen+雌激素受体阻断剂ICI... 详细信息

目的采用睾丸体外培养模型研究大豆异黄酮对乳鼠睾丸组织Insl3、Mvh、Wt1和α-SMA表达的影响,并探讨该影响是否由雌激素受体途径介导。方法经适应性体外培养的乳鼠睾丸组织,随机分为对照组、染料木黄酮(Gen)组、Gen+雌激素受体阻断剂ICI 182,780(Gen+ICI)组、大豆苷元(Dai)组和Dai+ICI组。各组分别给予相应的受试物处理并培养72 h后,苏木素-伊红(HE)染色观察睾丸组织病理学变化,real-time PCR测定蛋白Insl3、Mvh、Wt1和α-SMA mRNA表达,免疫组化检测Mvh和α-SMA蛋白表达。结果 HE染色显示,Gen组及Gen+ICI组部分睾丸出现病理改变。Real-time PCR显示,Insl3 mRNA表达在Dai组减少(P<0.05),在Dai+ICI组和Gen+ICI组增加(P<0.05)。Mvh mRNA在Dai组、Gen组和Gen+ICI组表达下降(P<0.05)。Dai+ICI组与Dai组相比Insl3和Mvh mRNA表达均升高(P<0.05)。Wt1和α-SMA mRNA各组表达均无明显变化。免疫组化结果显示Mvh蛋白表达量仅在Gen组增加(P<0.05),而α-SMA蛋白各处理组蛋白表达量均减少(P<0.05)。结论大豆异黄酮对4种蛋白均有一定影响,其中Dai可能通过ER介导的途径影响Insl3的表达,进而影响间质细胞的功能。

关键词：大豆异黄酮间质细胞生殖细胞管周肌样细胞