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电子致放气测试装置的研究

真空科学与技术学报 2024年第3期44卷 196-203页

作者：罗艳王魁波吴晓斌李慧谢婉露沙鹏飞韩晓泉王金地中国科学院微电子研究所北京100029 中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司电仪中心(检测中心) 吉林132021

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束... 详细信息

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量,进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素,结果表明,聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响,而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外,阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流,从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力,采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品,比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明,经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定,且电子束轰击下放气的主要成分由N_(2)/CO变为H_(2)。

关键词：电子诱导解吸放气电子束真空

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电镀件的真空放气特性研究

真空科学与技术学报 2022年第8期42卷 578-583页

作者：罗艳王魁波吴晓斌谢婉露李慧沙鹏飞韩晓泉中国科学院微电子研究所北京100029

材料的真空放气特性与其表面状态息息相关,本文采用小孔流导法,比较研究了电镀件镀层材料、镀层厚度和不同基底材料下的放气特性。从实验结果可以看出,在所测试的24 h时间内,材料的表面放气仍占主导作用,基底材料和镀层厚度对材料放气... 详细信息

材料的真空放气特性与其表面状态息息相关,本文采用小孔流导法,比较研究了电镀件镀层材料、镀层厚度和不同基底材料下的放气特性。从实验结果可以看出,在所测试的24 h时间内,材料的表面放气仍占主导作用,基底材料和镀层厚度对材料放气率的时间变化趋势和最终放气率基本没有影响。而镀层材料对电镀件的放气率影响较大,同一时间点,电镀件的放气率高于未电镀件;电镀件中,镀锌件的放气率最高。无论电镀与否,未烘烤样品放出的气体组分中H_(2)O含量最高,其次有H_(2)、N_(2)/CO、CO_(2)和O_(2)等。而相比其它电镀件,镀锌件放出的HO最多。电镀件放出过量的水蒸气可能会影响含钨灯丝的热阴极电离规读数的准确性。真空系统中应尽量避免使用电镀锌件。

关键词：真空放气电镀件镀锌

基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究

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中国激光 2023年

作者：张良乐韩晓泉谢婉露吴晓斌方旭晨高梓翔沙鹏飞王魁波中国科学院微电子研究所光电技术研发中心中国科学院大学

基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 详细信息

基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明：在相同光源参数下，SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型；通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的影响因子从6.2%降低到0.64%，多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%，与国外同等实验装置精度相当，实现了高精度反射率测试，可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。

关键词：极紫外气体放电等离子体光源反射率能量探测归一化

双向质量反馈模式结合针对性健康教育对老年慢性阻塞性肺疾病患者治疗效果的影响

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中西医结合护理（中英文） 2023年第11期9卷 33-36页

作者：薛甜利谢婉露刘洁徐州医科大学附属医院江苏徐州221000

目的分析双向质量反馈模式结合针对性健康教育对老年慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者治疗效果及依从性的影响。方法纳入徐州医科大学附属医院2021年3月至2022年9月收治的114例COPD患者,使用随机抽样法将患者分为观察组和对照组,各57例。2... 详细信息

目的分析双向质量反馈模式结合针对性健康教育对老年慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者治疗效果及依从性的影响。方法纳入徐州医科大学附属医院2021年3月至2022年9月收治的114例COPD患者,使用随机抽样法将患者分为观察组和对照组,各57例。2组均予以常规综合治疗及针对性健康教育,观察组加用双向质量反馈模式干预。对比2组在干预前、干预6个月后的疾病认知和肺功能变化,以及干预前、干预3个月、干预6个月后的依从性和临床症状变化。结果 2组在干预6个月后的疾病认知水平各维度评分、一秒率及最大呼气中段平均流速均较干预前提高;观察组在干预6个月后的以上指标均优于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05)。2组在干预3个月和干预6个月后的治疗依从性评分均较干预前升高,临床症状评分均较干预前降低;观察组在干预3个月和干预6个月后的治疗依从性评分均高于同期对照组,临床症状评分均低于同期对照组,差异均有统计学意义(P均<0.05)。结论在实施针对性健康教育的同时应用双向质量反馈模式护理有助于提高老年COPD患者的疾病认知水平、优化依从性,对于减轻症状、改善肺功能均有益。

关键词：慢性阻塞性肺疾病双向质量反馈模式针对性健康教育依从性临床症状

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极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究

激光与光电子学进展 2016年第5期53卷 315-323页

作者：陈进新王宇谢婉露中国科学院光电研究院北京100094

从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑... 详细信息

从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑制率进行了比较。研究结果表明,当抑制率为85%以上时,可以近似地使用等截面假设来计算动态气体锁抑制率,且应以清洁气体出口处截面面积作为动态气体锁平均截面面积;动态气体锁抑制率与动态气体锁结构以及清洁气体相关量值有关,当给定动态气体锁结构和扩散系数时,动态气体锁抑制率随着向硅片台腔室扩散的气体体积流量的增大而增大。该动态气体锁抑制率理论研究体系,能够为极紫外(EUV)光刻机动态气体锁的研制提供理论依据。

关键词： X射线光学极紫外光刻机动态气体锁抑制率清洁气体

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极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究

光学学报 2017年第2期37卷 209-219页

作者：陈进新王宇谢婉露中国科学院光电研究院北京100094 北京市准分子激光工程技术研究中心北京100094

开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁实验,并对实验结果进行... 详细信息

开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁实验,并对实验结果进行了分析,验证了动态气体锁理论模型和仿真结果的正确性。实验研究结果表明,当污染气体放气率恒定时,增加清洁气体总流量将使动态气体锁抑制率逐步增加;同等条件下动态气体锁抑制率不随污染气体放气率的改变而改变;当清洁气体总流量和污染气体放气率都恒定时,动态气体锁抑制率随清洁气体相对分子质量的增加而缓慢增加。该动态气体锁抑制率实验研究结果,能够为极紫外光刻机动态气体锁的研制提供实验依据。

关键词：光学制造 X射线光学极紫外光刻动态气体锁抑制率

极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响

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中国激光 2020年第6期47卷 48-53页

作者：谢婉露吴晓斌王魁波罗艳王宇中国科学院微电子研究所北京100029

实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,... 详细信息

实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,受光源放电频率影响较小;典型工作条件下,光斑尺寸在0.79~1.44 mm之间,聚焦光束单脉冲能量在112.09~436.06μJ范围内;在200 Hz、5.0 J时聚焦光束单脉冲能量最高为436.06μJ,聚焦光束单脉冲能量密度最高达到31.53 mJ/cm^2,在1500 Hz、4.6 J时聚焦功率密度达32.87 W/cm^2;最优缓冲气体Ar气工作气压为1~2 Pa,此时聚焦光束单脉冲能量最优。该测试研究可为极紫外辐照损伤测试研究中系统参数优化及设置提供指导参考。

关键词：激光光学极紫外极紫外辐照损伤测试系统极紫外光源参数聚焦光斑聚焦能量

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极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究

激光与光电子学进展 2017年第2期54卷 321-327页

作者：陈进新王宇谢婉露中国科学院光电研究院北京100094 北京市准分子激光工程技术研究中心北京100094

以清洁气体种类和流量以及污染气体放气率为变量,进行了单组分清洁气体的动态气体锁(DGL)流场仿真,并以混合清洁气体的体积比为变量进行了多组分清洁气体DGL流场仿真。仿真结果表明,DGL抑制率随清洁气体流量和分子量的增加而增加,但与... 详细信息

以清洁气体种类和流量以及污染气体放气率为变量,进行了单组分清洁气体的动态气体锁(DGL)流场仿真,并以混合清洁气体的体积比为变量进行了多组分清洁气体DGL流场仿真。仿真结果表明,DGL抑制率随清洁气体流量和分子量的增加而增加,但与污染气体放气率的变化无关。对于多组分清洁气体,当大分子量清洁气体的体积分数增加时,DGL抑制率近似不变。在实际工程中建议以氢气和氩气的混合气体作为DGL的清洁气体。当清洁气体流量为6.5Pa·m3·s-1时,约25%的清洁气体流入硅片室,DGL抑制率约为75%。该仿真结果为研制极紫外光刻机DGL提供了依据。

关键词： X射线光学极紫外光刻动态气体锁抑制率

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不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响

激光与光电子学进展 2020年第17期57卷 295-300页

作者：谢婉露吴晓斌王魁波罗艳王宇中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029

仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载1... 详细信息

仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载10 W功率时,AlSi基底收集镜反射面最高温升为1.39℃。尽管AlSi膨胀系数大于熔融石英和SiC,导致收集镜反射面发生最高为3.51μm结构变形,且相对于理想无变形收集镜,波像差增加8.071λ以及光斑均方根半径增加0.028μm,但AlSi基底收集镜满足极紫外辐照损伤系统的要求。AlSi基底收集镜可用于非成像系统或对成像质量要求不高的系统中,尤其在大口径、复杂面形的收集镜实现上具有明显优势。

关键词： X射线光学极紫外极紫外收集镜基底材料热变形聚焦性能