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高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究

北京理工大学学报 2021年第5期41卷 494-500页

作者：袁志扬朱煜成荣张鸣刘剑仲凯清华大学机械工程系北京100084 上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203

高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的... 详细信息

高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.

关键词：光刻机平面光栅尺热解耦粘滞阻尼平面光栅尺测量系统平面光栅尺载体

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光刻机多面体主基板的设计与算法

中国机械工程 2013年第9期24卷 1164-1168页

作者：吴飞王茜袁志扬魏巍陈文枢上海微电子装备有限公司上海201203

论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行... 详细信息

论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行数据的采集,对主基板和测量支架的安装面上的接口和支撑位置进行有效定义,明确所有相关接口在三维空间内的位置数据;其次采用凸包算法求解获得主基板多面体的外形轮廓,由于光刻机内部结构的复杂性,还要对模型进行局部修正;再次,结合平面切剖多面体算法设计主基板内部结构;最后,经有限元仿真验证取得了提高振动模态和减小结构质量的双重改进效果,达到了设计性能指标并且该结构适合工程制造。

关键词：多边形多面体凸包算法平面与凸多面体相交一阶模态

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精密主动减振器技术研究现状与进展

机械科学与技术 2012年第9期31卷 1411-1419页

作者：廖飞红李小平陈学东袁志扬李巍华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室武汉430074 上海微电子装备有限公司上海201203

环境振动直接降低精密制造和测量设备的动态性能,成为其性能的主要影响因素。主动减振器用于衰减地基振动和负载直接扰动,以维持精密设备的负载平台的稳定性。主动减振器按固有频率的差异,区分为软式主动减振器和硬式主动减振器。高刚... 详细信息

环境振动直接降低精密制造和测量设备的动态性能,成为其性能的主要影响因素。主动减振器用于衰减地基振动和负载直接扰动,以维持精密设备的负载平台的稳定性。主动减振器按固有频率的差异,区分为软式主动减振器和硬式主动减振器。高刚性的硬式主动减振器衰减负载的直接扰动力和结构模态,低刚性的软式主动减振器能较好的隔离地基振动。论述两种类型主动减振器的结构技术的研究成果、研究进展和及其应用。针对精密设备发展对主动减振器的应用需求,对硬式主动减振器和软式主动减振器的结构技术的发展前景进行展望,指出其发展面临的挑战与有待解决的关键技术。

关键词：主动减振器精密设备硬式主动减振器软式主动减振器

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锆石微破裂过程的离散元模拟

岩石学报 2024年第8期40卷 2574-2584页

作者：袁志煌田云涛高燕中山大学地球科学与工程学院广东省地球动力作用与地质灾害重点实验室珠海519080 南方海洋科学与工程广东省实验室(珠海) 珠海519082

锆石中富含放射性元素U和Th,其U-Pb、U-Th-He与裂变径迹分析方法是最常用的地质热年代计,但这些年龄均与锆石的辐射损伤程度有关。锆石中放射性元素U和Th衰变所导致的晶体自辐射损伤,会改变晶体的物理和化学性质,在微观上表现为蜕晶化,... 详细信息

锆石中富含放射性元素U和Th,其U-Pb、U-Th-He与裂变径迹分析方法是最常用的地质热年代计,但这些年龄均与锆石的辐射损伤程度有关。锆石中放射性元素U和Th衰变所导致的晶体自辐射损伤,会改变晶体的物理和化学性质,在微观上表现为蜕晶化,宏观上则表现为密度降低和体积膨胀。不同生长环带间的差异膨胀产生相对膨胀力,导致锆石发生微破裂。为了探究微破裂的发育过程与机制,本文基于锆石自辐射损伤-体积膨胀经验关系,利用离散元模拟方法,模拟核-边双层锆石自辐射损伤过程中内部应力分布;结合锆石的弹性模量与抗拉强度,模拟自辐射损伤与围压对核部高U、Th(模型Ⅰ)与边部高U、Th(模型Ⅱ)两类锆石微破裂发育的影响。结果显示随着自辐射损伤及体积膨胀的增大,锆石微破裂过程具有显著的阶段性:模型Ⅰ边部破裂对称发育,从单条逐渐发育成空心“十”字与“米”字形破裂网络;模型Ⅱ核部发育的多个同心状破裂是由早期放射状破裂随自辐射损伤增强而拓展并逐渐相连而形成。围压的影响效果与自辐射损伤程度有关:低自辐射损伤下,围压增加会抑制模型Ⅰ边部与模型Ⅱ核部破裂的发育与拓展;高自辐射损伤下,随着围压的增大,模型Ⅰ放射状破裂密度增大,而模型Ⅱ同心状破裂数目减少。锆石中微破裂的发育将晶体分割成若干亚颗粒,改变原子扩散出颗粒的路径与距离,因此本文对锆石微破裂过程的研究,对于理解锆石中元素的扩散及相关的地质应用具有参考意义。

关键词：锆石微破裂自辐射损伤蜕晶化离散元模拟

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求解带时间窗车辆路径问题的改进FPA

计算机工程与设计 2024年第3期45卷 793-798页

作者：丛扬潇袁志高李素姜缘平王祖荣北京工商大学计算机学院北京100048

车辆路径规划问题广泛应用于物流行业,为解决这一NP难的组合优化问题,提出一种求解带时间窗车辆路径问题的改进花授粉算法。针对FPA存在寻优精度低和过早陷入局部最优等缺陷,在原始FPA中引入遗传算法的交叉和变异因子,设计基于精英父代... 详细信息

车辆路径规划问题广泛应用于物流行业,为解决这一NP难的组合优化问题,提出一种求解带时间窗车辆路径问题的改进花授粉算法。针对FPA存在寻优精度低和过早陷入局部最优等缺陷,在原始FPA中引入遗传算法的交叉和变异因子,设计基于精英父代的多点交叉算子和单亲多点基因变异换位算子;对FPA中的转换概率p进行自适应调整并重新定义全局授粉和局部授粉操作;采用国际通用标准测试集Solomon对算法进行测试,将求得结果与已知多个算法求得的结果进行对比分析。其结果表明,改进FPA求解带时间窗车辆路径问题是可行有效的。

关键词：花授粉算法遗传算法路径优化时间窗自适应算法改进物流配送

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张奕辰的篆刻实践

中国书法 2024年第7期 198-200页

作者：袁志坚宁波出版社中国文艺评论家协会宁波市文艺评论家协会

张奕辰在创作实践和创作理论两个领域都有作为,二〇一二年编有《赵叔孺印举》,二〇一四年合编有《赵叔孺书画全集》,二〇二一年合编有《赵叔孺篆书选》。他的印风,与赵叔孺一样,雅饬精到、沉潜闳正。张奕辰从摹习秦汉印起步。

关键词：赵叔孺印风篆书书画创作实践

用于VCSEL阵列光分布调控的自由曲面透镜阵列设计

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光学学报 2024年第9期44卷 211-218页

作者：薛宇扬苏宙平江南大学理学院江苏无锡214122 江苏省轻工光电工程技术研究中心江苏无锡214122

针对垂直腔面发射激光器(VCSEL)设计了自由曲面整形透镜,使VCSEL输出光束在目标面呈均匀的辐照度分布。自由曲面透镜前表面为非球面,后表面为自由曲面。在设计自由曲面的设计过程中,在自由曲面透镜中间区域设置虚拟平面,根据虚拟平面和... 详细信息

针对垂直腔面发射激光器(VCSEL)设计了自由曲面整形透镜,使VCSEL输出光束在目标面呈均匀的辐照度分布。自由曲面透镜前表面为非球面,后表面为自由曲面。在设计自由曲面的设计过程中,在自由曲面透镜中间区域设置虚拟平面,根据虚拟平面和目标面能量之间的关系,确定自由曲面入射光束和出射光束的方向矢量,获得自由曲面采样点上各点的法向矢量。自由曲面的矢高和法向矢量之间构成了一个泊松方程。引进离散余弦变换的方法求解泊松方程,获得了自由曲面的矢高。模拟结果表明使用自由曲面整形透镜可将目标面辐照度均匀度提升到93.9%。为了适应在高功率场景中的应用,基于单个VCSEL模组的辐照度分布,应用蚁狮算法优化VCSEL模组之间的距离,对VCSEL模组阵列进行了二次光分布调控,使得阵列在目标面上的辐照度均匀度可以达到85.2%,光效率达到91.8%。

关键词：光学设计垂直腔面发射激光器自由曲面泊松方程离散余弦变换

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利用长波辐射计算地表温度并对比分析

广东气象 2014年第1期36卷 69-72页

作者：袁志扬东莞市气象局广东东莞523086

介绍了铂电阻温度传感器观测地表温度和长波辐射计算地表温度原理和方法。把草面温度(简称草温)作为地表温度代表,利用了2011年1月至2011年12月东莞市板岭国家基本气象站草温和长波辐射资料,计算和比较分析了地表辐射温度与草温的差异... 详细信息

介绍了铂电阻温度传感器观测地表温度和长波辐射计算地表温度原理和方法。把草面温度(简称草温)作为地表温度代表,利用了2011年1月至2011年12月东莞市板岭国家基本气象站草温和长波辐射资料,计算和比较分析了地表辐射温度与草温的差异。结果表明,虽然两者的相关性很好,但还是存在一定的差异,而这种差异主要是由于草温受外部环境影响造成的,通过长波辐射计算地表温度则可以避免外部环境的影响,使观测数据更加准确。

关键词：大气探测地表辐射温度长波辐射草温

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东莞散射系数的特征及与地面气象要素关系

广东气象 2016年第2期38卷 37-40页

作者：袁志扬东莞市气象局广东东莞523086

利用东莞市大气成分站2013年散射系数和地面气象观测资料,分析了散射系数的变化特征及与气象因子的关系,结果可知:2013年东莞散射系数年平均值为163.7 M·m-1,1月份的散射系数最大,7月份最小。散射系数日变化特征表现为:早晨出现峰值,... 详细信息

利用东莞市大气成分站2013年散射系数和地面气象观测资料,分析了散射系数的变化特征及与气象因子的关系,结果可知:2013年东莞散射系数年平均值为163.7 M·m-1,1月份的散射系数最大,7月份最小。散射系数日变化特征表现为:早晨出现峰值,下午出现谷值;白天散射系数的变化非常明显,而夜间变化比较平缓;夜间散射系数值高于白天。散射系数与气象要素关系表现为:受偏西风的影响,东莞散射系数维持在较高的水平,南风则有利于散射系数降低;风速低,散射系数则高,随着风速增大,散射系数逐渐降低,当风速进一步增大时,散射系数保持在较低的水平;正变温或大幅度降温,散射系数会明显下降,而小幅降温则呈上升趋势;散射系数高值较少出现在湿度低的条件下,多出现在高湿度环境下;气压低,散射系数相对较低,不过受热带气旋外围的下沉气流影响,可能会出现极端情况;降雨虽然能洁净大气,降低散射系数,但不是每次降雨后,散射系数都有所降低。

关键词：散射系数大气气溶胶气象要素东莞市