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掩模版真空复制图形位置精度分析
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微纳电子技术 2021年 第11期58卷 1041-1045页
作者: 束名扬 刘勇 袁卓颖 中国电子科技集团公司第五十五研究所 南京211100
半导体工艺中图形位置精度作为掩模版的关键技术指标直接决定着光刻套准精度和最终芯片的良品率。在分立器件行业,为满足微米级特征尺寸图形套准精度,要求工作掩模版图形位置精度达到亚微米级。依据掩模版复制原理提出了一种真空复制光... 详细信息
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微细直角图形失真及预补偿设计方法
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光电子技术 2014年 第4期34卷 295-299页
作者: 徐进 袁卓颖 王刚明 中国电子科技集团公司第五十五研究所 南京210016
提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的最终光刻制作结果。
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0.25μm掩模制造中激光直写参数的优化研究
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电子与封装 2021年 第6期21卷 69-73页
作者: 袁卓颖 华卫群 刘浩 中电国基南方集团有限公司 南京211153 无锡中微掩模电子有限公司 江苏无锡214035
主要介绍了激光直写的工艺原理和主要的直写参数,通过试验的方式,对0.25μm掩模制造中的激光直写参数束斑剂量、焦距、每束光的剂量、光束一致性以及拼接进行分析和优化,最终确定最佳的工艺参数,使得掩模条宽(CD)均匀性提高近20 nm。
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OLED掩模版Mura缺陷分析与改善
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电子与封装 2024年 第3期24卷 82-86页
作者: 束名扬 张玉星 袁卓颖 中国电子科技集团公司第五十五研究所 南京211000
Mura缺陷管控作为关键技术指标直接决定着OLED器件的显示画质与良品率。针对OLED掩模版生产过程中发生的Mura缺陷,通过Mura不良分析发现这种缺陷与阵列像素单元邻近辅助图形有关,并在显影工艺后表现出阵列像素单元关键尺寸(CD)不均匀与... 详细信息
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大跨钢——混混合连续梁桥参数敏感性研究
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公路 2025年 176-183页
作者: 翟晓亮 袁卓 黄博 向正松 中交第一公路勘察设计研究院有限公司 四川公路桥梁建设集团有限公司
为了探究大跨钢混混合连续梁桥主要结构参数对结构受力性能影响的敏感性,依托某钢混混合连续梁桥分析了中跨钢梁长度、边中跨比、支点截面高跨比、跨中截面高跨比对桥梁结构静动力性能的影响。研究结果表明,中跨钢梁长度和边中跨比对边... 详细信息
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优良山茶属植物杂交育种研究
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热带作物学报 2025年 第1期46卷 83-93页
作者: 韦晓娟 卓颖 张幸 武建云 伍思宇 梁晓静 林茂 广西壮族自治区林业科学研究院/广西特色经济林培育与利用重点实验室 广西南宁530002
为培育出观赏价值高的山茶新品种,开展山茶属植物组内、组间的杂交育种研究,以金花茶组(*** Chang)、红山茶组[***(L.)Dyer]、古茶组(*** Sealy)、油茶组(*** Chang)、离生雄蕊组(*** Sealy)、越南茶组[***(Pierre)Sealy]的部分种及品种... 详细信息
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低盐度下金钱鱼对嗜水气单胞菌感染的生理生化及免疫响应
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海南热带海洋学院学报 2025年
作者: 卓颖 蔡博生 吴天利 黄洋 庞欢瑛 李广丽 邓思平 广东海洋大学水产学院 广东海洋大学广东省名特优鱼类生殖调控与繁育工程技术研究中心 广东海洋大学广东省水产动物病害防控与健康养殖重点实验室
为研究金钱鱼在低盐度养殖条件下对嗜水气单胞菌感染的响应情况,本研究随机选择体质量为(200±50) g、体长为(13.5±0.5) cm的金钱鱼,在盐度为5‰的养殖条件下进行嗜水气单胞菌腹腔注射感染,并在感染后0、3、6 h检测血清生理生化和... 详细信息
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血糖指标与乳腺癌发病关系的流行病学研究进展
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中国肿瘤 2025年 第1期 67-72页
作者: 唐丹丹 姜玉 刘湾湾 卓颖 沈秋明 徐群 项永兵 上海交通大学公共卫生学院 上海市肿瘤研究所流行病学研究室 上海交通大学医学院附属仁济医院上海市肿瘤研究所肿瘤系统医学全国重点实验室 上海市长宁区疾病预防控制中心 上海交通大学医学院附属仁济医院健康管理中心
高血糖是糖尿病的主要生物学特征之一。糖负荷后2小时血糖(2-hour postload glucose,2h PG)、空腹血糖(fasting plasma glucose,FPG)和糖化血红蛋白(glycated hemoglobin,HbA1c)是临床上常用于检测血糖水平的3项重要指标,但这些... 详细信息
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On the Forced Tangentially-Averaged Radial-Vertical Circulation within Vortices Part I: Concepts and Equations
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Advances in Atmospheric Sciences 2002年 第6期19卷 953-964页
作者: 袁卓 简茂球 Department of Atmospheric Sciences Zhongshan University Guangzhou Guangdong LASG Institute of Atmospheric Physics Chinese Academy of Sciences Beijing
A linear partial differential equation is derived in cylindrical-isobaric coordinates on the earth for the diagnostic study of the tangentially-averaged radial-vertical circulation within translating vortices. In the ... 详细信息
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Diagnostic Equations for the Walker Circulation
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Advances in Atmospheric Sciences 2001年 第2期18卷 166-178页
作者: 袁卓 简茂球 Department of Atmospheric Sciences Zhongshan University Guangzhou
Two linear partial differential equations are derived in spherical—isobaric coordinates for the numerical simulation of the Walker circulation with the assumption that the meridional motion equation remains in gradie... 详细信息
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