检索结果-南通市图书馆

使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜

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中国表面工程 2024年

作者：殷冀平吕少波蔺增巴德纯东北大学机械工程与自动化学院沈阳仪表科学研究院有限公司汇博光学辽宁省植入器械与界面科学重点实验室

中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好，但不可避免仍然存在一部分颗粒物，将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜，进行了等离子体... 详细信息

中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好，但不可避免仍然存在一部分颗粒物，将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜，进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明：在相同条件下，ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体，无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电，展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%，能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移，原因是其放电得到的薄膜均匀而致密，使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。本研究还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系，为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。

关键词：电子回旋波共振等离子体中频磁控溅射等离子体诊断感应耦合等离子体氧化铌薄膜

PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

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中国表面工程 2023年第5期36卷 222-233页

作者：刘万锁岳向吉蔺增东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819 沈阳市真空镀膜工程技术研究中心沈阳110819

喷淋板微通道结构对等离子体增强化学气相沉积镀膜工艺成膜均匀性具有重要影响,目前缺少对不同微通道差异性的研究。通过采用滑移边界修正的连续流计算方法,获得克努森数为0.009~0.01的微通道流动特性结果,计算结果与其他微通道试验与... 详细信息

喷淋板微通道结构对等离子体增强化学气相沉积镀膜工艺成膜均匀性具有重要影响,目前缺少对不同微通道差异性的研究。通过采用滑移边界修正的连续流计算方法,获得克努森数为0.009~0.01的微通道流动特性结果,计算结果与其他微通道试验与计算结果具有一致性。结果表明,等径型与收缩型微通道几何尺寸对均匀性影响较小,出口射流所形成的涡流会降低均匀性,扩张型微通道提高出口扩散性,其射流均匀性明显优于前两者。通过提出均匀性量化方法,研究等径型、收缩型和扩张型三种具有代表性的微通道结构,进一步完善了喷淋板及稀薄环境微通道研究的不足。

关键词：微通道射流均匀性均匀性量化扩张腔等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

应用于PECVD过渡流模拟的NS/DSMC双向耦合方法特性研究

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东北大学学报（自然科学版） 2023年第11期44卷 1591-1595,1603页

作者：刘万锁岳向吉蔺增东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819

将纳维-斯托克斯(NS)方程方法与直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法耦合以实现过渡流态计算.相对过去欠缺反馈机制的单向耦合方法,提出以NS,DSMC速度场相互修正边界值的方法实现双向耦合方法的反馈机制,这对于非稳态研究和数值修正十分重要.结... 详细信息

将纳维-斯托克斯(NS)方程方法与直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法耦合以实现过渡流态计算.相对过去欠缺反馈机制的单向耦合方法,提出以NS,DSMC速度场相互修正边界值的方法实现双向耦合方法的反馈机制,这对于非稳态研究和数值修正十分重要.结果表明,双向耦合结果与全局DSMC结果有高相似性,相对单向耦合具有更高的效率、稳定性及精度,提高耦合强度可以提升稳定性与精度.双向耦合通过采用全局NS结果边界值获得更高的子域收敛性、稳定性及精度.提出超前演算方法可以增强DSMC域的时间耦合性,为非稳态计算奠定基础.

关键词： NS/DSMC方法双向耦合过渡流超前演算 PECVD

沉积温度对高性能TiAlN涂层微观结构和力学性能的影响

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稀有金属材料与工程 2023年第6期52卷 2024-2030页

作者：刘兴龙徐乘远陈彬乔宏蔺增东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110004 泰安东大新材表面技术有限公司山东泰安271024

采用真空电弧离子镀(AIP)技术在不同沉积温度下TiAlN涂层,用于高性能制造,并研究了沉积温度与表面性能的关系。结果表明,由于离子轰击作用,表面大颗粒随沉积温度的升高而减少。随着沉积温度的升高,涂层表面的晶粒尺寸先急剧减小后逐渐... 详细信息

采用真空电弧离子镀(AIP)技术在不同沉积温度下TiAlN涂层,用于高性能制造,并研究了沉积温度与表面性能的关系。结果表明,由于离子轰击作用,表面大颗粒随沉积温度的升高而减少。随着沉积温度的升高,涂层表面的晶粒尺寸先急剧减小后逐渐增大。此外,沉积温度对合成涂层的相组成和化学成分影响不大。随着沉积温度的升高,硬度和粘结强度先迅速增加,后逐渐降低。当沉积温度在450℃左右时,沉积的TiAlN涂层硬度最高,粘结强度最大。上述现象的发生机理与沉积过程中表面与界面之间的微观组织和残余应力的变化有关。合成的涂层在高达900℃的空气中具有良好的热稳定性。

关键词： TiAlN涂层沉积温度力学性能热稳定性高性能制造

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计量检测质量的影响因素及优化策略

中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术 2024年第5期 157-160页

作者：蔺增光成武县市场监督管理局山东菏泽274200

本文针对计量检测相关内容展开分析,讨论了计量检测质量的影响因素,内容包括环境因素、设备因素、技术因素、管理因素、数据因素、人员因素等,并以此拟定了加强计量检测环境管理、加强设备维修养护管理、做好技术综合管理工作、积极完... 详细信息

本文针对计量检测相关内容展开分析,讨论了计量检测质量的影响因素,内容包括环境因素、设备因素、技术因素、管理因素、数据因素、人员因素等,并以此拟定了加强计量检测环境管理、加强设备维修养护管理、做好技术综合管理工作、积极完善相关管理制度、加强检测数据应用管理、完善人员综合管理计划等优化策略,以此来提高计量检测质量,利于后续活动的有序推进。

关键词：计量检测质量环境因素数据因素策略

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气体检测(报警)仪计量评定方式的探讨

中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术 2024年第6期 0187-0190页

作者：蔺增光成武县市场监督管理局山东菏泽274200

在本文的研究活动中,针对气体检测(报警)仪基本组成、应用与监管等内容展开分析,讨论了气体检测(报警)仪外观及结构评定、运行功能评定、不确定度评定方式,通过研究科学选择标准物质、合理调整气体流量、科学选择减压阀和气路、做好数... 详细信息

在本文的研究活动中,针对气体检测(报警)仪基本组成、应用与监管等内容展开分析,讨论了气体检测(报警)仪外观及结构评定、运行功能评定、不确定度评定方式,通过研究科学选择标准物质、合理调整气体流量、科学选择减压阀和气路、做好数据整合工作等注意事项,其目的在于积累仪器计量评定经验,为相关理论和实践体系的完善提供可靠依据。

关键词：气体检测(报警)仪不确定度计量评定

NaOH溶液存储对纯钛表面TiO_(2-x)层超亲水性长期稳定性的影响

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中国表面工程 2020年第3期33卷 71-77页

作者：孙飞程巍蔺增东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819 东北大学辽宁省植入器械与界面科学重点实验室沈阳110819

等离子体氧化方法能够在纯钛种植体表面产生梯度变化的TiO2-x层,使其显著提高表面的亲水性和生物相容性,但是在空气中长期存放由于吸附的污染物,种植体表面很容易失去这些特性。因此,需要一些存储方法来防止表面失效。利用辉光等离子体... 详细信息

等离子体氧化方法能够在纯钛种植体表面产生梯度变化的TiO2-x层,使其显著提高表面的亲水性和生物相容性,但是在空气中长期存放由于吸附的污染物,种植体表面很容易失去这些特性。因此,需要一些存储方法来防止表面失效。利用辉光等离子体放电技术在喷砂酸蚀(SLA)的纯钛表面进行等离子体氧化,然后对氧化后的样品进行NaOH溶液存储。分析了NaOH溶液存储前后的表面特性,观察了NaOH溶液存储不同时间后表面亲水性的时效性,以及比较了NaOH溶液和生理盐水长期存储对表面亲水性的影响。结果表明,NaOH溶液处理后等离子体氧化表面形貌和化学成分无太大变化;NaOH溶液存储时间对于亲水性的时效性无影响;NaOH溶液是否残留不影响亲水性;将氧化后的样品直接储存在NaOH溶液或生理盐水中,可以长期保持表面的超亲水性。对于纯钛表面超亲水性的长期稳定性,NaOH溶液优于生理盐水。

关键词：等离子体氧化 NaOH溶液存储 TiO_(2-x) 超亲水性种植体

催化剂、基底对ECR-CVD法制备碳纳米管的影响

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东北大学学报（自然科学版） 2004年第10期25卷 980-983页

作者：王志巴德纯蔺增刘飞东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110004 中国科学院物理研究所北京100083

采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR CVD),CH4和H2为气源,分别以Fe3O4,Co纳米粒子及Fe(NO)3溶胶为催化剂在多孔硅基底上制备了碳纳米管;在Si(111)和石英基底上以Fe3O4纳米粒子为催化剂实现了碳纳米管的生长·使用扫描电... 详细信息

采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR CVD),CH4和H2为气源,分别以Fe3O4,Co纳米粒子及Fe(NO)3溶胶为催化剂在多孔硅基底上制备了碳纳米管;在Si(111)和石英基底上以Fe3O4纳米粒子为催化剂实现了碳纳米管的生长·使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)对样品的形貌、尺寸及结构进行表征·讨论了催化剂和基底对碳纳米管形貌、密度和取向性的影响·结果表明:催化剂影响碳纳米管的成核密度和生长速度,基底通过影响催化剂的特性和分布均匀性,对碳纳米管的形貌和生长模式产生重要影响,以Fe3O4为催化剂在多孔硅上实现了碳纳米管的最优定向生长·

关键词：碳纳米管 ECR—CVD 催化剂基底纳米粒子

医用锻造CoCrMo合金等离子氮化微观结构及摩擦性能（英文）

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稀有金属材料与工程 2017年第1期46卷 51-56页

作者：徐林巴德纯王庆蔺增东北大学辽宁沈阳110819

采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度及时间对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用X射线衍射仪及场发射扫描电镜分析氮化层物相组成及表面微观结构;用显微硬度计和光学动/静态接... 详细信息

采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度及时间对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用X射线衍射仪及场发射扫描电镜分析氮化层物相组成及表面微观结构;用显微硬度计和光学动/静态接触角仪测试合金表面显微硬度及接触角数值;利用球-盘摩擦试验机在干摩擦条件下对氮化层的摩擦磨损性能进行测试。结果表明:钴铬钼合金试样经直流等离子体氮化处理后,氮化层厚度、表面粗糙度及显微硬度值显著增加,亲水性能及耐磨损性能得到明显改善。在较低的氮化温度及较短的氮化时间内,氮化试样物相主要由σ-CoCr相及CrN相组成;随着氮化温度及时间的增加,氮化试样物相中还检测到硬质化合物相Cr_2N。与未处理试样相比,氮化试样的磨损率及磨痕宽度减小,氮化参数为800°C/8 h时磨损率最低,磨痕宽度最窄,耐磨损性能最佳。

关键词：医用锻造钴铬钼合金高压直流等离子体氮化显微硬度润湿性摩擦性能