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极紫外光刻的随机性问题及其研究进展

中国激光 2024年第7期51卷 85-104页

作者：王翔何建君魏佳亮朱慧娥张江实验室上海201210

极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术,有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面,急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学... 详细信息

极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术,有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面,急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学结构的规整性要求越来越高,而光刻胶中存在的组分不均一、后烘过程中光酸迁移距离以及位置的不确定性等因素都会导致缺陷,这些统称为化学随机性问题。另一方面,极紫外光源的波长(13.5 nm)较短,致使其光子密度很低,仅为上一代ArF光刻工艺中所使用光源(193 nm)的1/14,因此光子的散粒噪声大幅增加,导致了不可避免的光子随机性问题。这些问题的存在,使得EUV光刻胶中的材料体系在分子尺寸、分布均一性等方面较上一代光刻材料有着更严格的要求。本文系统性综述了近年来针对极紫外光刻胶中上述随机性问题的研究,并从化学随机性、光子随机性以及计算模拟三个方向对研究现状进行了追踪。

关键词：极紫外化学随机性光子随机性光刻胶光酸迁移距离

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厘清课程思政的基本问题

学校党建与思想教育 2024年第3期 27-30,42页

作者：李合亮鲁东大学马克思主义学院哈尔滨工程大学马克思主义学院山东烟台264025

课程思政是教育的常识,是所有课程体系的应有之义,是对教育育人本原的逻辑回归。作为与思政课同向同行、有效协同的课程思政,不是思政元素的外部移植,而是因势而新、因事而化、因时而进的内部挖掘。高校要在所有课程中挖掘、提炼课程本... 详细信息

课程思政是教育的常识,是所有课程体系的应有之义,是对教育育人本原的逻辑回归。作为与思政课同向同行、有效协同的课程思政,不是思政元素的外部移植,而是因势而新、因事而化、因时而进的内部挖掘。高校要在所有课程中挖掘、提炼课程本身内含的信念追求、道德规范、社会责任、家国情怀、科学素养、人文精神等思政资源,这有助于高校实现知识传授与价值引领的有机统一。

关键词：高校课程思政教育育人本原思政课

基于改进D-S证据理论的相控阵雷达作战效能评估

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系统工程与电子技术 2024年第4期46卷 1330-1336页

作者：郑丽莎尹东亮王旋海军工程大学管理工程与装备经济系湖北武汉430033 海军工程大学作战运筹与规划系湖北武汉430033 海军工程大学兵器工程学院湖北武汉430033

针对相控阵雷达作战效能评估中战场环境等不确定因素的影响,采用改进Dempster-Shafer(D-S)证据理论对其进行作战效能评估方法的优化。首先,通过构建相控阵雷达作战效能评估指标体系,明确评估指标并赋值权。其次,引入Kulsinski差异和模... 详细信息

针对相控阵雷达作战效能评估中战场环境等不确定因素的影响,采用改进Dempster-Shafer(D-S)证据理论对其进行作战效能评估方法的优化。首先,通过构建相控阵雷达作战效能评估指标体系,明确评估指标并赋值权。其次,引入Kulsinski差异和模糊熵方法,对传统的D-S证据理论进行改进,减少指标在融合过程中的融合权重不确定性的影响。最后,通过改进D-S证据理论对评估指标进行数据融合,建立评估准确性较高的相控阵雷达作战效能评估模型。通过算例验证分析,所提方法能够有效减少融合过程中的不确定性影响,可实现相控阵雷达作战效能评估的目的,提高作战效能评估精度。

关键词：相控阵雷达 Dempster-Shafer(D-S)证据理论作战效能评估 Kulsinski差异模糊熵

基于虚拟阻抗优化的VSG暂态功角稳定自适应控制策略

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电机与控制学报 2024年第1期28卷 35-48页

作者：孙久亮蔡蔚郭庆波哈尔滨理工大学电气与电子工程学院黑龙江哈尔滨150080

在电网短路故障发生的情况下,虚拟同步发电机系统不仅会发生暂态功角失稳,同时还可能会出现过流。为了提升虚拟同步发电机的暂态功角稳定性及故障电流限制性能,首先建立了包含电压和电流控制环、虚拟阻抗及功率控制环结构的虚拟同步发... 详细信息

在电网短路故障发生的情况下,虚拟同步发电机系统不仅会发生暂态功角失稳,同时还可能会出现过流。为了提升虚拟同步发电机的暂态功角稳定性及故障电流限制性能,首先建立了包含电压和电流控制环、虚拟阻抗及功率控制环结构的虚拟同步发电机系统的总体控制结构,给出了虚拟阻抗功率模型建立的理论依据。对无功功率控制环路恶化暂态功角稳定性,提出了设置电压增量自由控制支路来实现提高暂态功角稳定性的方法。其次,在无功功率控制环路及电压增量自由控制支路的共同作用下,对“不考虑切除故障”和“考虑切除故障”两种不同的运行工况,提出了能够同时满足暂态功角稳定性和故障电流限制的虚拟阻抗优化方法。最后提出了虚拟同步发电机的暂态功角失稳控制和故障电流限制的自适应控制算法,以满足实际运行工况的需求,通过Simulink仿真模型验证了所提自适应控制策略的有效性和可行性。

关键词：虚拟同步发电机同步稳定性等面积法则虚拟阻抗故障电流限制李雅普诺夫稳定性

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基于文献研究的精益建造与数字技术集成综述

同济大学学报（自然科学版） 2024年第1期52卷 145-156页

作者：刘刚马智亮李松阳清华大学土木水利学院北京100084 广联达科技股份有限公司北京100193

精益建造(LC)与数字技术集成是提高建筑业经济效益和生产效率的关键,也是近年来理论研究和实践创新的热点领域。鉴于目前尚无学者对精益建造与数字技术集成进行系统总结,针对国内外学术刊物发表的精益建造以及应用于建造领域与数字技术... 详细信息

精益建造(LC)与数字技术集成是提高建筑业经济效益和生产效率的关键,也是近年来理论研究和实践创新的热点领域。鉴于目前尚无学者对精益建造与数字技术集成进行系统总结,针对国内外学术刊物发表的精益建造以及应用于建造领域与数字技术相关的研究论文,采用文献计量学和重点文献分析等方法,进行系统分析和归纳。结果表明,数字技术(特别是建筑信息模型(BIM)技术)逐步成为精益建造应用推广的关键支撑,两者深度融合能产生正向协同效应,进一步提高项目管理效率并降低项目管理成本。

关键词：精益建造(LC)与数字技术集成建筑信息模型(BIM) 建造4.0 文献计量学分析

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封建与郡县:唐宋时期地方治理模式之议

政治学研究 2024年第1期 68-79,M0005,M0006页

作者：秦中亮上海师范大学人文学院上海市200234

唐宋两代是封建与郡县之议较为集中的时期。唐代之议主要在太宗与宪宗两个时代,太宗意欲吸收西周以降封建的经验,进行宗室与功臣的同时分封。最终失败表面上是群臣反对的结果,实际上是“化家为国”背后政府形态转型的必然。宪宗时期柳... 详细信息

唐宋两代是封建与郡县之议较为集中的时期。唐代之议主要在太宗与宪宗两个时代,太宗意欲吸收西周以降封建的经验,进行宗室与功臣的同时分封。最终失败表面上是群臣反对的结果,实际上是“化家为国”背后政府形态转型的必然。宪宗时期柳宗元、白居易等人的论述,进一步证明了郡县制的优势。宋代之议贯穿两宋。北宋之初,面临辽人威胁,廖偁等人就呼吁封建。两宋之交,金人南牧,认为封建有利于危乱之世的声音越来越多,及至南宋稳定,倡议郡县才逐渐复兴。从内容上看,唐代之议,催生了关于地方官吏选拔的论题;宋代之议,则将地方官员选拔与“朋党之论”和“君子小人之辩”相联系。唐人论封建常与井田、肉刑合观。宋人在此基础上增设学校、乡射、军制。唐宋两代的讨论都围绕“大一统”框架下如何进行地方治理而展开。从结果而论,唐宋之议,皆以实行郡县制而终。史实证明:“大一统”是历史必然,郡县制是不可逆的历史潮流。

关键词：封建郡县唐宋时期地方治理治理模式

日本所存《史记正义》佚文考论——以泷川资言辑本为中心

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中国典籍与文化 2024年第3期 54-69页

作者：刘芳亮国防科技大学外国语学院

自泷川资言辑得《史记正义》佚文以来,中国学者围绕其真实性众说纷纭,但总的来说,既往研究未能真正追溯泷川据以辑佚的资料,对日本学者特别是水泽利忠的成果了解不够,因此对佚文尚缺乏全面且深入的认识。通过考察南化本等《史记》古本... 详细信息

自泷川资言辑得《史记正义》佚文以来,中国学者围绕其真实性众说纷纭,但总的来说,既往研究未能真正追溯泷川据以辑佚的资料,对日本学者特别是水泽利忠的成果了解不够,因此对佚文尚缺乏全面且深入的认识。通过考察南化本等《史记》古本栏外标注以及《史记幻云抄》等资料,发现日本所存《正义》佚文具有相当的可信性,但也存在讹伪,尤其是月舟寿桂所批写的《正义》有不合于现存《正义》者,对这部分佚文须特别审慎。本文还分析了泷川辑本中的谬误及其原因,对比了《史记正义佚存》和《史记会注考证》所收佚文的差异,对于补正泷川辑本的《史记会注考证校补》《史记正义佚存订补》的各种疏误也一并分类指摘,并就完善《正义》佚文的辑校给出了建议。

关键词：《史记正义》佚文史记会注考证史记会注考证校补南化本史记幻云抄

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中华民族现代文明的唯物史观意蕴

江西社会科学 2024年第5期44卷 5-11,206页

作者：顾红亮华东师范大学马克思主义学院暨中国现代思想文化研究所上海200241

唯物史观是我们观察中华民族现代文明话语创新的一个好视角。中华民族现代文明概念的提出,不仅为我们思考唯物史观的现实应用提供了生动的案例,而且丰富和发展了唯物史观的一些主要观点,比如,关于历史传承与创造的观点,关于世界历史的观... 详细信息

唯物史观是我们观察中华民族现代文明话语创新的一个好视角。中华民族现代文明概念的提出,不仅为我们思考唯物史观的现实应用提供了生动的案例,而且丰富和发展了唯物史观的一些主要观点,比如,关于历史传承与创造的观点,关于世界历史的观点,关于科学是历史杠杆的观点,关于历史规律的观点,马克思、恩格斯关于中国的论述等。唯物史观的这些观点在中华民族现代文明建设的语境中获得了新的意义,被赋予新的理论阐释可能性。分析中华民族现代文明的唯物史观意蕴,有助于我们深入理解中华民族现代文明概念的唯物史观理论依据。

关键词：中华民族现代文明唯物史观世界历史科技力量中国观

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青藏高原东北缘岩石圈有效弹性厚度与地震分布关系

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地球物理学报 2024年第2期67卷 520-533页

作者：苏子旺鲁宝亮李柏森朱武长安大学地质工程与测绘学院西安710054 海洋油气勘探国家工程研究中心北京100028 西部矿产资源与地质工程教育部重点实验室西安710054

岩石圈有效弹性厚度(T_(e))表征岩石圈综合力学强度,对理解区域深部构造孕震环境具有重要意义.青藏高原东北缘地质构造复杂,强烈地震活动频发.为进一步了解该区域深部岩石圈力学性质特征及其与地震活动的关系,本文利用基于Fan小波的谱方... 详细信息

岩石圈有效弹性厚度(T_(e))表征岩石圈综合力学强度,对理解区域深部构造孕震环境具有重要意义.青藏高原东北缘地质构造复杂,强烈地震活动频发.为进一步了解该区域深部岩石圈力学性质特征及其与地震活动的关系,本文利用基于Fan小波的谱方法,使用WGM2012重力异常数据、ETOPO1地形数据和CRUST1.0模型,通过导纳和相关联合反演计算了青藏高原东北缘的岩石圈有效弹性厚度(T_(e))与荷载比(F).结果显示研究区T_(e)整体呈明显的东高西低分布,青藏块体T_(e)变化剧烈,西部高值(>40 km)和东部低值(30 km),变化相对平缓;荷载比F存在局部西南高,巴颜喀拉和羌塘地块荷载比F较高(>0.5),说明以地下荷载为主,其他地块荷载比F较低(<0.2),以地表荷载为主.鄂尔多斯地块结构稳定,岩石圈强度较大,T_(e)值较高;内部构造活动性微弱,深部物质密度横向变化较小,岩石圈所受荷载以地表为主,荷载比F较低.柴达木地块东部与巴颜喀拉地块东部可能发生有下地壳流,岩石圈较为软弱,T_(e)值较低;巴颜喀拉地块内部与鲜水河断裂的荷载比F较高,岩石圈所受荷载以地下为主,可能是地壳物质向东流动导致岩石圈深部物质密度横向变化较大引起的.通过对比分析研究区T_(e)和T_(e)梯度、F和F梯度与地震之间的对应关系,发现地震一般发生在区域相对低T_(e)值、T_(e)梯度值和荷载比F梯度值较大的区域,震级较小的地震多发生在荷载比F较小的地区,6级以上强震则较多发生在荷载比F约为0.1和0.8的区域.因此,岩石圈有效弹性厚度T_(e)值较低、T_(e)梯度和荷载比F梯度较大的地区,更易出现地震.

关键词：有效弹性厚度荷载比重力异常地震分布