检索结果-南通市图书馆

计量学报 2001年第3期22卷 168-173页

作者：李成贵董申北京航空航天大学测控系北京100083 哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001

以分形几何理论为基础 ,利用轮廓谱矩和表面谱矩对三维表面粗糙度评定参数进行了分形表征 ;并且从理论上提出了一些新的三维评定参数 ,如均一性、等方性等 ;最后还进行了实验验证。

关键词：表面粗糙度三维形貌分形几何评定参数分形表征表面谱矩轮廓谱矩

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机械振动主动控制技术的研究现状和发展综述

机械强度 2001年第2期23卷 156-160页

作者：王加春李旦董申哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001

重点介绍振动主动控制技术在机械工程领域的应用。整机的振动主动控制和转子的振动主动控制是该领域的两个主要方面。在简单介绍振动主动控制原理和常用的传感器与作动器的基础上 ,概述了整机振动主动控制的发展情况 ,较系统地总结了转... 详细信息

重点介绍振动主动控制技术在机械工程领域的应用。整机的振动主动控制和转子的振动主动控制是该领域的两个主要方面。在简单介绍振动主动控制原理和常用的传感器与作动器的基础上 ,概述了整机振动主动控制的发展情况 ,较系统地总结了转子常用的控制技术 ,并综述了主动控制常用的控制方法 ,同时简要介绍了振动主动控制在机械工程领域其他方面的应用情况。对微幅振动主动控制亦作了介绍。最后。

关键词：机械振动主动控制高速转子控制方法

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离轴非球面超精密磨削加工几何模型的探讨

中国机械工程 2004年第17期15卷 1520-1522页

作者：韩成顺董申唐余勇哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001 哈尔滨工业大学理学院哈尔滨150001

在用来加工轴对称非球面的二轴联动超精密数控机床的工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,采用柱坐标加工方式进行离轴非球面的超精密磨削加工。在给出离轴非球面方程的基础上 ,给出数控加工离轴非球面的相应的几何模型。计算机... 详细信息

在用来加工轴对称非球面的二轴联动超精密数控机床的工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,采用柱坐标加工方式进行离轴非球面的超精密磨削加工。在给出离轴非球面方程的基础上 ,给出数控加工离轴非球面的相应的几何模型。计算机仿真验证了该加工方法的简便性与可靠性。该加工方法可以降低设备投入。

关键词：离轴非球面超精密磨削几何模型仿真

原子发射光谱分析技术在大气等离子体抛光工艺研究中的应用

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光谱学与光谱分析 2008年第7期28卷 1641-1644页

作者：王波张巨帆董申哈尔滨工业大学机电工程学院黑龙江哈尔滨150001

大气等离子体抛光是一种非接触式的超精密加工方法,它基于低温等离子体化学反应实现原子级的材料去处,避免了表层和亚表层损伤,特别适合于各种难加工材料的超光滑抛光。该方法首次引入了基于电容耦合原理的射频炬式等离子体源,为测试等... 详细信息

大气等离子体抛光是一种非接触式的超精密加工方法,它基于低温等离子体化学反应实现原子级的材料去处,避免了表层和亚表层损伤,特别适合于各种难加工材料的超光滑抛光。该方法首次引入了基于电容耦合原理的射频炬式等离子体源,为测试等离子体特性和进行工艺研究,在加工过程中使用微型光纤光谱仪进行光谱监测和采集,进而运用原子发射光谱分析技术初步讨论了射频功率和气体配比对加工过程的影响,分析结果显示:在一定范围内,射频功率对加工速率有着较明显的促进作用,而气体配比对等离子体区成分和表面生成元素的种类影响较大。电子跃迁轨道分析还揭示了处于不同激发态的活性氟原子对应的不同微观状态,为进一步的微观机理研究奠定了理论基础。基于工艺分析的结果,在单晶硅片上实现了Ra0.6nm的表面粗糙度和32mm3·min-1的加工速率。

关键词：大气等离子体电容耦合工艺优化抛光原子发射光谱

超精密车削表面微观形貌的几何建模与仿真研究

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中国机械工程 2002年第13期13卷 1131-1134页

作者：王洪祥孙涛董申李旦哈尔滨工业大学机电学院哈尔滨工业大学精密工程研究所

在综合考虑刀具几何参数、刀具振动和最小切削厚度等因素对已加工表面形貌影响的前提下编写了表面微观形貌的仿真程序 ,在仿真时把一个随机振动信号成功地叠加在理论表面粗糙度中。提出一种建立圆弧刃金刚石车刀超精密车削表面粗糙度模... 详细信息

在综合考虑刀具几何参数、刀具振动和最小切削厚度等因素对已加工表面形貌影响的前提下编写了表面微观形貌的仿真程序 ,在仿真时把一个随机振动信号成功地叠加在理论表面粗糙度中。提出一种建立圆弧刃金刚石车刀超精密车削表面粗糙度模型的新方法。结果表明 ,仿真得到的表面微观形貌 ,能够比较正确地反映出超精密加工将要获得的表面轮廓。

关键词：超精密加工仿真表面形貌表面加工

大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用

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光学精密工程 2007年第11期15卷 1749-1755页

作者：张巨帆王波董申哈尔滨工业大学精密工程研究所黑龙江哈尔滨150001

发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道... 详细信息

发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道。在针对单晶硅片的加工实验中,应用有限元分析法在理论上对加工过程中的空间气体流场分布和样品表面温度分布进行了定性分析。后续的温度检测实验证实了样品表面温度梯度的形成,并表明样品表面最高温度仅为90℃。材料去除轮廓检测结果符合空间流场的理论分布模型,加工速率约为32 mm3/min。利用原子力显微镜对表面粗糙度进行测量,证实了加工后样品表面在一定范围内表面粗糙度Ra=0.6 nm。最后,利用X射线光电子谱法研究了该方法对加工后表面材料化学成分的影响。实验和检测结果均表明,该抛光方法可以进行常压条件下的超光滑表面无损抛光加工,实现了高质量光学表面的无损抛光加工。

关键词：大气等离子体抛光法超光滑表面单晶硅电容耦合

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金刚石车削表面微观形貌形成机理的研究

哈尔滨工业大学学报 2002年第4期34卷 509-512,517页

作者：王洪祥董小瑛董申哈尔滨工业大学精密工程研究所黑龙江哈尔滨150001

为了在超精密加工前预测并控制表面粗糙度 ,提出一种建立圆弧刃车刀金刚石车削表面微观形貌的几何模型的新方法 ,开发并编写了表面微观形貌的仿真程序 ,在程序中考虑了刀具几何参数、振动和最小切削厚度对已加工表面特性的影响 .通过理... 详细信息

为了在超精密加工前预测并控制表面粗糙度 ,提出一种建立圆弧刃车刀金刚石车削表面微观形貌的几何模型的新方法 ,开发并编写了表面微观形貌的仿真程序 ,在程序中考虑了刀具几何参数、振动和最小切削厚度对已加工表面特性的影响 .通过理论分析和试验研究确定了最小切削厚度与切削刃钝圆半径之间的关系 ,分析了影响已加工表面粗糙度的若干因素 ,并在仿真生成的表面微观形貌中成功地加入了随机振动信号 .大量切削试验是在自行研制的亚微米CNC超精密机床上进行的 .结果表明 :利用所建立的表面微观形貌几何模型。

关键词：表面微观形貌形成机理金刚石车削金刚石刀具表面粗糙度超精密加工机械加工

介观尺度心轴的表面粗糙度预测模型建立及参数优化

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机械工程学报 2011年第3期47卷 174-178页

作者：黄燕华董申中国工程物理研究院等离子体物理重点实验室绵阳621900 哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001

为控制惯性约束聚变靶制备中介观尺度心轴的表面粗糙度,提出一种应用旋转设计技术安排试验的方法,通过非线性回归分析,建立基于进给量、背吃刀量、主轴转速和刀尖角四个主要切削参数的介观尺度心轴的表面粗糙度二次预测模型。分析结果表... 详细信息

为控制惯性约束聚变靶制备中介观尺度心轴的表面粗糙度,提出一种应用旋转设计技术安排试验的方法,通过非线性回归分析,建立基于进给量、背吃刀量、主轴转速和刀尖角四个主要切削参数的介观尺度心轴的表面粗糙度二次预测模型。分析结果表明,该模型的拟合值能较好地反映心轴车削表面粗糙度,并且具有比理论表面粗糙度计算值更高的精度。在主要切削参数中,进给量和刀尖角比背吃刀量和主轴转速对心轴表面粗糙度的影响更显著。利用优化得到的最佳表面粗糙度为目标切削条件,选用直线切削刃超细晶粒硬质合金刀具,在φ0.6 mm的心轴上得到Ra16.53 nm的表面粗糙度。

关键词：旋转设计预测模型表面粗糙度优化介观尺度

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纳米技术为我国制造业发展带来的新机遇

中国科学基金 2002年第1期16卷 9-11页

作者：董申哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001

随着扫描隧道显微镜的发明和应用,纳米技术得到迅速的发展,使人类认识世界和改造世界的能力进入纳米尺度。物质在纳米尺度出现很多鲜为人知的奇异特性与现象,纳米科技对各学科领域都带来极大的影响,给人类科学技术发展造成不可估量的冲... 详细信息

随着扫描隧道显微镜的发明和应用,纳米技术得到迅速的发展,使人类认识世界和改造世界的能力进入纳米尺度。物质在纳米尺度出现很多鲜为人知的奇异特性与现象,纳米科技对各学科领域都带来极大的影响,给人类科学技术发展造成不可估量的冲击,很多科学家预测,它的发展终将引起新的世界产业革命。这将为我国制造业发展带来新的机遇与挑战,我国应抓住机遇,探索新产业革命特点,采取相应措施,实现跨越式发展,在新的产业革命中,赶上世界先进国家。

关键词：纳米技术产业革命制造业中国

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亚微米超精密车床振动的神经网络控制

高技术通讯 2000年第4期10卷 74-77页

作者：盖玉先董申哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001

提出了以空气弹簧作为被动隔振元件、神经网络控制的电磁作动器作为主动隔振元件的隔振系统 ,分析了以相对位移、速度及加速度和绝对位移、速度及加速度等作为反馈变量条件下的系统振动传递率 ,证明了主。

关键词：超精密车床隔振神经网络控制