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γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究

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传感技术学报 2008年第7期21卷 1093-1096页

作者：王海燕李隆玉董永芬李新建郑州轻工业学院技术物理系郑州450002 郑州大学物理工程学院教育部重点实验室郑州450052

利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高... 详细信息

利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。

关键词： γ-Fe2O3 硅纳米孔柱阵列湿度传感器

基于Si-NPA的WO_3薄膜电容湿敏性能

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功能材料与器件学报 2008年第6期14卷 955-960页

作者：董永芬李隆玉冯春岳姜卫粉李新建郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室郑州450052

采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。... 详细信息

采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。湿敏测试结果显示:在11%到95%的相对湿度范围内,WO3/Si-NPA湿敏元件输出电容强,且随测试频率的增加而单调降低;随着WO3薄膜厚度的增加,湿敏元件灵敏度明显增大,但元件相应的响应/恢复时间却延长。

关键词：硅纳米孔柱阵列(Si—NPA) WO3 电容型湿敏传感器

WO_3/Si-NPA复合薄膜的电容湿度传感性能研究

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传感器与微系统 2007年第11期26卷 57-60,64页

作者：冯春岳肖龙董永芬李新建郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室河南郑州450052 河南职业技术学院机械电子工程系河南郑州450046

制备了基于硅纳米孔柱阵列（Si—NPA）的WO3／Si—NPA复合薄膜，并对其表面形貌进行了表征，研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移。研究表明：WO3／Si—NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征，WO3的沉积形成了连... 详细信息

制备了基于硅纳米孔柱阵列（Si—NPA）的WO3／Si—NPA复合薄膜，并对其表面形貌进行了表征，研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移。研究表明：WO3／Si—NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征，WO3的沉积形成了连续的WO3薄膜，WO3／Si—NPA是一种典型的纳米复合薄膜。室温下，WO3／Si—NPA的电容值随测试频率的增加而单调减小，但其灵敏度则在100Hz时达到最大值。在此测试频率下，当环境的相对湿度从11％RH增加到95％RH时，元件的电容增量高达16000％，显示WO3／Si-NPA对环境湿度有较高的灵敏度。同时，电容的湿度响应曲线显示出很好的线性。对其基点电容的温度稳定性研究表明：WO3／Si—NPA用作湿度传感的最佳工作温度区为15-50℃。

关键词：硅纳米孔柱阵列 WO3 WO3/Si—NPA 电容式湿敏元件

退火对电容型硅纳米孔柱阵列湿度传感器性能的影响

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传感技术学报 2008年第7期21卷 1097-1101页

作者：吉慧芳董永芬李隆玉姜卫粉吕运朋李新建郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室郑州450052 郑州大学测控技术系郑州450003

基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件,并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示,在测试温度低于550℃时,Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大,但响应时间略微延长,湿滞回差略微增大;... 详细信息

基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件,并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示,在测试温度低于550℃时,Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大,但响应时间略微延长,湿滞回差略微增大;550℃退火后,元件的灵敏度急剧降低。采用场发射扫描电镜(FE-SEM)对不同温度退火的硅纳米孔柱阵列表面形貌进行观察,发现550℃退火元件的微观多孔结构发生了明显变化,即多孔结构致密化。结果表明,通过合适温度退火可以显著提高Si-NPA湿敏元件灵敏度,同时仍然保持较快的响应速度和较小的湿滞回差。

关键词：硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) 湿敏退火温度

基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究

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传感技术学报 2007年第12期20卷 2558-2562页

作者：李隆玉肖顺华董永芬冯春岳姜卫粉李新建郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室郑州450052

采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能... 详细信息

采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.

关键词：湿度传感器硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) BaTiO3 饱和盐水溶液

考虑不同失效模式的索杆结构构件面积缺损限值研究

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华南理工大学学报（自然科学版） 2024年第1期52卷 52-61页

作者：邓满宇袁行飞董永灿浙江大学空间结构研究中心浙江杭州310058 浙江大学平衡建筑研究中心浙江杭州310058 浙江大学建筑设计研究院有限公司浙江杭州310058

索杆结构长期服役过程中的锈蚀会造成构件截面损失,导致结构内力的重新分配,影响结构的安全性能。文中基于可靠度理论与结构极限状态分别建立了构件强度失效、钢索松弛失效及节点变形失效3种失效模式,并得到了不同失效模式临界状态下的... 详细信息

索杆结构长期服役过程中的锈蚀会造成构件截面损失,导致结构内力的重新分配,影响结构的安全性能。文中基于可靠度理论与结构极限状态分别建立了构件强度失效、钢索松弛失效及节点变形失效3种失效模式,并得到了不同失效模式临界状态下的可靠度限值控制不等式;通过力学推导,给出了以缺损面积为变量的杆件内力与节点位移变化公式,依据该公式可计算出可靠度限值控制不等式中的影响系数矩阵;引入钢材的锈蚀模型并结合非线性规划,提出了一种确定索杆结构构件面积缺损限值的方法。对一Levy型索穹顶的构件面积缺损限值进行了算例分析,并与规范限值进行对比。结果表明:索杆结构中的多数构件在强度失效与变形失效模式下的面积缺损限值高于耐久性限值,但松弛失效模式下的构件面积缺损限值小于耐久性限值,如按该限值要求对结构进行设计及维护将有可能发生钢索松弛失效;而安全性限值对于钢索构件较为严格,对于钢杆构件则与耐久性限值相同。因此,需综合考虑3种失效模式与规范限值,并按最严格的结果进行控制。

关键词：索杆结构可靠度理论非线性规划失效模式面积缺损限值

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融合注意力机制与联合优化的表面缺陷检测

计算机辅助设计与图形学学报 2024年第1期36卷 102-111页

作者：董永峰孙松毅王振刘晶河北工业大学人工智能与数据科学学院天津300401 河北工业大学河北省数据驱动工业智能工程研究中心天津300401 河北工业大学河北省大数据计算重点实验室天津300401

两段式缺陷检测模型中分割和分类网络的优化目标不一致,导致二者耦合性较差,且分割模块误差的积累可能进一步弱化分类模块的性能.针对上述问题,提出一种基于注意力机制的缺陷检测联合优化算法.首先基于混合注意力特征融合模块的分割网... 详细信息

两段式缺陷检测模型中分割和分类网络的优化目标不一致,导致二者耦合性较差,且分割模块误差的积累可能进一步弱化分类模块的性能.针对上述问题,提出一种基于注意力机制的缺陷检测联合优化算法.首先基于混合注意力特征融合模块的分割网络融合浅层特征和深层特征,提取更全面的缺陷位置信息;然后基于多感受野空间注意力模块的分类网络挖掘更具判别性的缺陷类别特征;最后通过联合优化目标实现分割和分类网络的学习优化,提升整个算法的耦合性以及性能.基于PyTorch框架,在公开工业缺陷检测数据集DAGM 2007, MAGNETIC-TILE和KolektorSDD2数据集上进行实验,并引入分段式算法及类U-Net算法进行横向对比的结果表明,所提算法的准确率相比分段式算法最高提升28.02%,相比类U-Net算法最高提升8.3%,且精确率、召回率、F1值均优于同类算法,具有更好的检测性能.

关键词：深度学习特征融合缺陷检测注意力机制

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平面大角度相控阵天线技术的研究

平面大角度相控阵天线技术的研究

作者：董永真桂林理工大学

学位级别：硕士

同方学位论文库评论

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同方学位论文库

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基于MEMS技术热式气体微流量传感器研究

基于MEMS技术热式气体微流量传感器研究

作者：董永琪黑龙江大学

学位级别：硕士

随着科学技术的发展,气体微流量（晶向的单晶硅晶圆上制作传感器芯片并完成封装。在室温条件下,采用高低温试验箱、红外热成像仪和标准流量控制器等仪器对热式气体微流量传感器进行特性测试。当Rh工作电流为20 m A,惠斯通电桥工作电压为... 详细信息

随着科学技术的发展,气体微流量（晶向的单晶硅晶圆上制作传感器芯片并完成封装。在室温条件下,采用高低温试验箱、红外热成像仪和标准流量控制器等仪器对热式气体微流量传感器进行特性测试。当Rh工作电流为20 m A,惠斯通电桥工作电压为5 V,通入气体流量为0～250 sccm时,开展了加热电阻与测温电阻之间的距离Ld对传感器灵敏度的实验研究。结果表明,Ld为40μm时传感器灵敏度达到1.66μV/sccm,可以实现气体微流量测量。

关键词： MEMS技术气体微流量传感器热传导传感器结构设计与制备特性测试