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溶液法制备IZTO薄膜晶体管阵列及稳定性研究

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溶液法制备IZTO薄膜晶体管阵列及稳定性研究

作者：荆斌上海大学

学位级别：硕士

在氧化物薄膜晶体管(TFT)的各种制备工艺中,溶液法因成本低、工艺简单将成为制备金属氧化物TFT的一种具有潜力的方法。然而由于溶液法制备的金属氧化物存在较多的氧相关缺陷态,使得金属氧化物TFT普遍存在偏压稳定性差的问题,特别是光照... 详细信息

在氧化物薄膜晶体管(TFT)的各种制备工艺中,溶液法因成本低、工艺简单将成为制备金属氧化物TFT的一种具有潜力的方法。然而由于溶液法制备的金属氧化物存在较多的氧相关缺陷态,使得金属氧化物TFT普遍存在偏压稳定性差的问题,特别是光照负偏压稳定性,阻碍其实际应用,且研究的溶液法金属氧化物TFT多为单个器件,而用于显示驱动的TFT均为像素阵列,这与单个器件性能有着显著的差异。为了满足显示驱动的需求,迫切需要研究溶液法像素级TFT阵列的偏压和光照偏压稳定性。基于此,本文采用溶液法制备了刻蚀阻挡层结构(ESL)和背沟道刻蚀结构(BCE)的铟锌锡氧化物(IZTO)TFT阵列,研究了钝化层对两种结构的IZTO TFT阵列性能及偏压和光照偏压稳定性的影响。本论文工作如下:(1)制备了ESL结构的IZTO TFT阵列并研究了其偏压稳定性。对比了原子层沉积(ALD)的AlO和溶液法制备的铪铝氧化物(HAO)作为栅绝缘层的IZTO TFT器件性能,结果表明AlO-IZTO TFT和HAO-IZTO TFT迁移率分别为2.5 cm·V·s和2.1 cm·V·s,两者性能相当,证实了溶液法制备HAO薄膜作为TFT的栅绝缘层具有可行性。通过优化IZTO薄膜退火温度,TFT的迁移率从2.1 cm·V·s提升至17.7 cm·V·s;进一步优化IZTO薄膜的厚度,迁移率提升至33.56 cm·V·s,同时器件表现出良好的正偏压(PBS)和负偏压光照(NBIS)的稳定性。最后研究Si O和Si N分别作为钝化层对HAO-IZTO TFT偏压和光照偏压稳定性的影响,发现Si N钝化层的HAO-IZTO TFT的稳定性最好,其PBS和NBIS的阈值电压偏移分别为0.17 V和-0.14 V,这归因于Si N沉积过程中会产生相关H扩散,适量的H钝化了界面处的缺陷态,减少氧空位(V),从而改善了HAO-IZTO TFT的偏压和光照偏压稳定性。(2)制备了BCE结构的IZTO TFT阵列并研究了其偏压稳定性。制备的IZTO TFT阵列由于背沟道暴露在空气中吸附水氧的原因其PBS和NBIS的阈值电压偏移分别为0.76 V和-0.77 V。采用Si O钝化后,器件PBS和NBIS的阈值电压偏移分别降低到0.2 V和-0.3 V。表明钝化层能够防止了IZTO薄膜表面的水氧吸附,提升器件稳定性。同时采用NO和NH等离子体处理钝化IZTO表面缺陷态,对比了这两种气体等离子处理之后对IZTO TFT的性能及偏压和光照偏压稳定性的影响。结果表明,经过NO等离子体表面处理提升了IZTO TFT性能,特别是光照负偏压稳定性,器件饱和迁移率从25.12cm·V·s提升到51.52 cm·V·s,光照负偏压稳定性从-0.3 V提升到-0.1 V,满足显示驱动的要求。而且经过NO等离子体表面处理,像素阵列中器件整体的性能均匀性和稳定性得到提升。这进一步说明经NO等离子体处理后能够得到良好的溶液法像素级IZTO TFT阵列。

关键词：刻蚀阻挡层结构背沟道刻蚀结构 IZTO TFT阵列稳定性

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基于频响函数和模型修正的损伤识别方法研究

基于频响函数和模型修正的损伤识别方法研究

作者：荆斌河北大学

学位级别：硕士

结构损伤识别是当前结构健康监测的重要环节,同时也是结构健康监测的主要问题。目前,基于结构振动特性的结构损伤识别技术已经取得了很大的发展。然而,在实际大型复杂结构中测试数据是不完备的,实测自由度数往往少于理论自由度。针对此... 详细信息

结构损伤识别是当前结构健康监测的重要环节,同时也是结构健康监测的主要问题。目前,基于结构振动特性的结构损伤识别技术已经取得了很大的发展。然而,在实际大型复杂结构中测试数据是不完备的,实测自由度数往往少于理论自由度。针对此问题,本文在结构频响函数数据的基础上,应用自由度匹配技术,结合模型修正和频响函数损伤识别方法,对一平面刚架结构,进行了相关的损伤识别研究。在实际测量中,分布与有限元相同数目的测点是不可能的。同时,由于实验条件的限制,不可能测出每个测点所有方向自由度的响应。因此就产生了自由度不匹配的问题。常用的Guyan缩聚和Kuhar缩聚法简单有效,使得缩聚前后的两个有限元模型的若干低阶频率保持一致。应用最优拟合法对不完备的频响函数测试数据进行扩展,扩展后的频响函数更便于损伤识别的研究。本文应用一种基于频响函数的损伤识别方法,该方法简单易行,可以有效的对损伤结构进行损伤定性、定位、定量的研究。结合频响函数扩展,该方法可以应用不完备的测试数据对结构进行损伤识别。然而,在使用模型缩聚时,由于该方法将被缩聚掉的自由度上的刚度阵和质量阵叠加到了其它未缩聚掉的自由度上,导致缩聚后模型的刚度矩阵、质量矩阵物理意义不明确,应用基于频响函数的损伤识别方法时,往往无法准确的定位和定量。针对此问题,本文引入了基于频响函数模型修正的损伤识别方法,该方法应用修正量对结构进行损伤识别,避免了缩聚对损伤识别的影响,同时通过修正过程中的迭代使得缩聚模型更加精确。最后通过MATLAB和ANSYS软件进行数值模拟,结果表明上述方法能够达到满意的精度。

关键词：损伤识别自由度匹配频响函数扩展模型缩聚平面刚架

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国产气枪故障分析与排除

轻兵器 1995年第4期 24-25,30页

作者：荆小斌

气枪作为一种大众化的娱乐射击用枪,具有安全性好、物美价廉的优点,故在我国有相当大的数量。不过在使用中,虽然气枪构造较简单,也难免会出现一些故障,引起故障的原因更是多种多样。笔者在长期维修实践中,对各种类型气枪故障的发生、... 详细信息

气枪作为一种大众化的娱乐射击用枪,具有安全性好、物美价廉的优点,故在我国有相当大的数量。不过在使用中,虽然气枪构造较简单,也难免会出现一些故障,引起故障的原因更是多种多样。笔者在长期维修实践中,对各种类型气枪故障的发生、分析、判定、排除有一定的感性和理性认识,现将一些典型事例写出来,供爱好者参考研究。

关键词：枪故障国产气气枪击发杆活塞武夷山扳机保险失效齿条分析与排除

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用全站仪勘测、计算曲线方法的探讨

铁道建筑 2003年第4期43卷 49-50页

作者：荆斌杰沈阳铁路局大修设计所

在快速区段的线路大修测量中 ,采用全站仪在路肩上置镜勘测 ,安全快速、测量精度高。文章根据渐伸线计算曲线的原理 ,探讨用全站仪勘测、计算曲线的方法。

关键词：既有线勘测全站仪渐伸线法曲线计算计算方法铁路

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国产气枪综述

轻兵器 1993年第5期 25-27页

作者：荆小斌

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3D-CTA在颅内动脉瘤诊治中的临床价值

3D-CTA在颅内动脉瘤诊治中的临床价值

作者：荆友斌青岛大学

学位级别：硕士

目的：研究3D-CTA在颅内动脉瘤诊治中的临床价值。方法：对33例CT检查怀疑为动脉瘤破裂出血的自发性SAH患者，均行3D-CTA检查。发现颅内动脉瘤者直接进行显微手术治疗，未发现颅内动脉瘤者进行重复造影，并将CTA图像与手术中所见及DSA... 详细信息

目的：研究3D-CTA在颅内动脉瘤诊治中的临床价值。方法：对33例CT检查怀疑为动脉瘤破裂出血的自发性SAH患者，均行3D-CTA检查。发现颅内动脉瘤者直接进行显微手术治疗，未发现颅内动脉瘤者进行重复造影，并将CTA图像与手术中所见及DSA图像进行对比分析。结果：33例患者中有31人共发现动脉瘤35个，其中前交通动脉瘤16例，后交通动脉瘤12例，大脑中动脉瘤3例，颈内动脉动脉瘤2例，脉络膜前动脉瘤2例。最大瘤径为20mm，最小瘤径为1mm。3例首次CTA检查为阴性者，1例重复行CTA检查发现前交通动脉瘤，2例行DSA检查均未发现动脉瘤。除1例患者拒绝手术外，其余30例34个动脉瘤均行显微手术治疗，术中所见动脉瘤的部位、数量、大小、瘤体指向、与载瘤动脉及周围骨性结构的关系均与CTA影像相一致。3D-CTA对颅内动脉瘤的诊断准确率为97％(34／35)，假阴性率为3％(1／35)，与DSA阴性符合率为100％(2／2)。结论：3D-CTA能准确地诊断颅内动脉瘤，清楚地显示颅内动脉瘤的部位、数量、大小、形态、瘤体指向、瘤颈情况、动脉瘤与载瘤动脉及周围骨性结构的关系，可据此直接进行手术治疗，可作为颅内动脉瘤诊断的首选检查方法，有望取代或部分取代DSA。

关键词： 3D-CTA 颅内动脉瘤诊断治疗

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洛阳市全域旅游发展水平评价研究

洛阳市全域旅游发展水平评价研究

作者：荆体斌云南师范大学

学位级别：硕士

在经济发展水平不断提高的背景下,人们的可支配收入不断增多,对于生活的理念也从“为了生计奔波”转变到“更健康的享受生活”。“有闲钱又有时间”作为人们进行旅游活动的支撑,近年来大众旅游发展迅速。旅游业从发展初期的“资源主导... 详细信息

在经济发展水平不断提高的背景下,人们的可支配收入不断增多,对于生活的理念也从“为了生计奔波”转变到“更健康的享受生活”。“有闲钱又有时间”作为人们进行旅游活动的支撑,近年来大众旅游发展迅速。旅游业从发展初期的“资源主导型”不断发展为“市场导向型”,再到提出了“全域旅游”的发展战略,发展理念不断更新升级。全域旅游不仅为区域旅游业的转型升级与可持续发展提供了全新的发展思路和模式,也得到了全国各地旅游城市的积极响应,纷纷开展全域旅游发展的探索实践。洛阳市作为全国乃至全世界闻名的文化古城,正通过全域旅游这个重要抓手进行旅游业的转型升级。通过调研2010-2019年洛阳市在全域旅游方面的发展情况,深入分析其发展过程中存在的问题,探究其发展的阻碍因素,并针对性地提出整改意见,以促进洛阳市全域旅游水平的高质量发展。结合相关理论从全域旅游研究分析为切入点,构建评价体系,以期在一定程度上提升全域旅游理论体系的发展活力,对提升区域全域旅游发展水平及效果衡量评估具有一定的参考价值。首先,在旅游可持续发展理论的基础上展开深入探讨、对理论体系内的细节架构进行分析,在参考借鉴国内外全域旅游相关研究成果上,通过归纳总结后有针对性地整合全域旅游发展的影响因素,搭建合理化模型,共设置了3个一级指标:产业域、空间域、管理域,对二级指标进行优化筛选,最终选择出18个二级指标,由这些共同组成全域旅游发展评价体系。其次,以洛阳市2010-2019年的指标数据为基础,应用熵权-TOPSIS分析法进行综合评价分析,得出以下结果:2010-2019年洛阳市全域旅游发展中,公路网密度、文化、体育和娱乐业固定资产投入额、国家4A级以上旅游景区数量、平均每一万人所拥有的公共交通工具数量与限额以上住宿和餐饮业从业人员数发展水平较高。旅游收入占GDP比重、旅行社数量、森林覆盖率、旅游收入增长率、旅游业增加值占第三产业的比重综合评价较低。目前洛阳市全域旅游发展水平还需要进一步提高,尤其需要加强产业之间相互融合和营销措施,共同促进与旅游相关的产业发展和资源的合理配置,增加旅游产品种类,提升相关配套措施建设水平。最后,结合洛阳市全域旅游发展现状,针对洛阳市全域旅游发展水平制约因素,进一步提出提升洛阳市全域旅游发展水平的措施。

关键词：全域旅游洛阳市发展水平熵权-TOPSIS法

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射频等离子体鞘层中粒子输运特性的研究

射频等离子体鞘层中粒子输运特性的研究

作者：荆兴斌华中科技大学

学位级别：硕士

研究射频辉光放电等离子体中各种粒子运动过程的目的是在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运特性的规律,从理论上探求气体放电中所发生的物理和化学机制,并进一步为得到高质量的薄膜材料提供最佳工艺参数,对薄膜材料刻蚀或填充的... 详细信息

研究射频辉光放电等离子体中各种粒子运动过程的目的是在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运特性的规律,从理论上探求气体放电中所发生的物理和化学机制,并进一步为得到高质量的薄膜材料提供最佳工艺参数,对薄膜材料刻蚀或填充的工艺方法的改进提供技术支持。在等离子体中,鞘层在控制带电粒子向极板(或靶材)方向运动方面起着至关重要的作用。各种粒子在鞘层中的碰撞和运动将决定离子入射到极板上的能量分布和角度分布等,这在薄膜制备和离子刻蚀方面都是非常重要的。本文利用一个自洽的流体力学模型,研究了低压高密等离子体中射频鞘层的输运特性。在计算轰击到极板上离子的入射角分布时,应用了蒙特卡罗(Monte Carlo)方法。我们模拟了鞘层中电势、电子密度和离子密度的时空分布等。进一步,研究了射频频率对极板电位、鞘层宽度、极板上入射离子的能量分布和角度分布的影响。结果表明,射频频率增大时,离子入射到极板上的能量分布变为单峰分布。离子在极板上的入射角分布均是小角度分布,且随着射频频率增大而变窄。改变等离子体密度、射频功率和电子温度,离子在极板上的能量分布和入射角分布也会受到影响。因此,等离子体刻蚀的各向异性可以通过增加射频频率和射频功率来改善。

关键词：等离子体气体放电流体模型 Monte Carlo 方法鞘层射频频率等离子体密度射频功率

2型糖尿病气阴两虚兼血瘀证治疗前后舌色与空腹血糖等变化的相关性研究

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2型糖尿病气阴两虚兼血瘀证治疗前后舌色与空腹血糖等变化的相关...

作者：荆志斌成都中医药大学

学位级别：硕士

目的：通过对60例2型糖尿病气阴两虚兼血瘀证患者治疗前后舌色及空腹血糖、血脂、糖化血红蛋白变化的研究,试图探索舌色变化与这些客观指标变化之间的相关性,并进一步探索将舌色的改变、客观指标的变化、患者自觉症状的改善共同作为综... 详细信息

目的：通过对60例2型糖尿病气阴两虚兼血瘀证患者治疗前后舌色及空腹血糖、血脂、糖化血红蛋白变化的研究,试图探索舌色变化与这些客观指标变化之间的相关性,并进一步探索将舌色的改变、客观指标的变化、患者自觉症状的改善共同作为综合疗效评价的可行性。方法：制定统一的临床观察表,按照望、闻、问、切四诊方法,将2型糖尿病气阴两虚兼血瘀证患者作为研究对象,观察其舌色特征,并分为治疗组和对照组两组进行研究。治疗组用西医降糖降脂和中药益气固本汤进行治疗,对照组用西医降糖降脂治疗。治疗8周后,观察两组患者舌色以及空腹血糖、血脂、糖化血红蛋白变化,并对舌色变化和这些客观指标变化的相关性进行分析。结果：①治疗组治疗前后舌色变化明显,淡红舌例数明显增多,淡白舌、紫暗舌、红舌的例数逐渐减少,舌色变化比较差异明显,有统计学意义(P0.05)。③治疗组和对照组治疗前后空腹血糖、血脂、糖化血红蛋白下降幅度差异明显,有统计学意义(P<0.05)。结论：①通过舌色的变化,可以反映中西医结合治疗对于患者全身状况的改善有显著作用。②在治疗的过程中,舌色趋于好转的同时,客观指标明显下降。说明舌色改变与客观指标变化之间存在一定的相关性,舌色变化在一定程度上能够反映客观指标的变化趋势。③中西医结合治疗对于改善患者的空腹血糖、血脂、糖化血红蛋白要优于单纯西医治疗组。

关键词：糖尿病舌色空腹血糖血脂糖化血红蛋白