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1993年

作者：胡耀志

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SnO_2超微粒薄膜的制备及气敏性研究

仪表材料 1990年第4期21卷 249-253页

作者：江跃宗胡耀志朱新奇华南理工大学微电子研究室

通过研制的磁控溅射系统,采用射频磁控溅射法,对 S_nO_2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究,同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明:当溅射气压 P_(Ar)=1.20～2.67Pa 时,就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C_2H_5OH... 详细信息

通过研制的磁控溅射系统,采用射频磁控溅射法,对 S_nO_2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究,同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明:当溅射气压 P_(Ar)=1.20～2.67Pa 时,就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C_2H_5OH 的气敏性研究表明,制备的超微粒膜比普通连续膜的灵敏度有显著提高.

关键词：二氧化锡气体传感器半导体薄膜

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钛蒸发离子泵及缠绕式蒸发器的研究

华南工学院学报 1964年第2期 74-98页

作者：胡耀志

本文包括部份:Ⅰ.效蒸发离子泵工作特性的研究。Ⅱ.缠绕式钛蒸发器的研究与设计。文中提出的钛泵是一种 B—A 型玻璃钛泵,起动压强10-2乇,测得的极限压强7×1010乇,抽速可达5立升/秒,这种钛泵也可作真空计。钛泵抽速与栅压、栅流、蒸发... 详细信息

本文包括部份:Ⅰ.效蒸发离子泵工作特性的研究。Ⅱ.缠绕式钛蒸发器的研究与设计。文中提出的钛泵是一种 B—A 型玻璃钛泵,起动压强10-2乇,测得的极限压强7×1010乇,抽速可达5立升/秒,这种钛泵也可作真空计。钛泵抽速与栅压、栅流、蒸发器加热功率和压强有显著的关系,但是泵壁电位对抽速影响较小。作者测量了钛泵的电离灵敏度,并对抽速特性作了定性解释。实验表明,用一般的交流电源可代替钛泵的直流电离电源,使电源设备简化。本钛泵还可代替扩散泵与机械泵联用,获得10-6～10-7乇的压强。文中提出的缠绕式钛蒸发器,是由钛丝紧密地缠绕在钨丝上构成,这种蒸发器较稳定,寿命较长,制作简单。分析和实验表明缠绕式钛蒸发器的电阻可表示为钨丝和全根钛丝电阻的并联。文中还给出蒸发器的比功率曲线、比蒸发率曲线。最后讨论了蒸发器的控制方法和设计步骤。

关键词：蒸发器离子泵比功率加热功率浓缩器真空泵抽速缠绕式

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全玻璃无油超高真空系统的研制

真空电子技术 1978年第2期 30-41页

作者：胡耀志广东工学院

本文介绍一种简单实用、廉价的全玻璃无油超高真空系统。系统包括冷吸附泵、钛泵、前置阀门和超高真空阀门四部分。文中首先综合分析国外近年来玻璃无油系统及零件的发展动向,吸取国外的新成果,并结合我们的研究工作,设计具有一定特点... 详细信息

本文介绍一种简单实用、廉价的全玻璃无油超高真空系统。系统包括冷吸附泵、钛泵、前置阀门和超高真空阀门四部分。文中首先综合分析国外近年来玻璃无油系统及零件的发展动向,吸取国外的新成果,并结合我们的研究工作,设计具有一定特点的零件。其中,前置玻璃无油阀门是参考并改进一九七三年Pope公司介绍的产品;超高真空阀门是采用翻边式和磨砂结构的镓阀门,其漏气量可比普通结构降低四个数量级,而且能承受一个大气压力差;钛泵采用钛球升华离子泵,升华器的钛贮量约8克,比老式的缠绕式升华器增加了几十倍,钛泵壁的冷却采用外加水冷套,大大地简亿了钛泵制作工艺和降低了成本。用机械泵和吸附阱代替冷吸附泵,可构成玻璃的半无油超高真空系统,在液氮供应困难的地区有使用价值。最后,介绍玻璃无油系统在电子管排气和计量部门的一些应用。

关键词：超高真空阀吸附泵钛泵机械泵无油升华化工单元操作电子管电子设备真空泵气泵化工用泵水冷套

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清洁真空与电子管排气

真空电子技术 1978年第2期 1-7页

作者：胡耀志广东工学院

前言有关清洁超高真空技术,我们在1974年已经作过全面的论述。清洁真空与电子管排气有密切的关系,早在六十年代初,国外已采用离子泵对电子器件进行排气,取得了显著成果。总的看来采用无油机组排气具备有下述优点:

关键词：电子管主泵升华泵抽速无油排气管电子设备真空泵溅射离子泵排气台

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氨检漏器的研究

真空 1975年第1期 64-85页

作者：胡耀志广东工学院电真空器件教研组《氨检漏器研制小组》

本文提出一种氨检漏器，不用仪器而是用肉眼进行直观观察。文中给出兰色晒图纸，Ｍｎ（ＮＯ３）２－ＡｇＮＯ３、溴麝香草酚兰及溴酚兰作为显色指示剂的试验性能，指出最佳的指示剂是溴酚兰。文中比较了色层沪纸、描图纸、烤贝纸、... 详细信息

本文提出一种氨检漏器，不用仪器而是用肉眼进行直观观察。文中给出兰色晒图纸，Ｍｎ（ＮＯ３）２－ＡｇＮＯ３、溴麝香草酚兰及溴酚兰作为显色指示剂的试验性能，指出最佳的指示剂是溴酚兰。文中比较了色层沪纸、描图纸、烤贝纸、镜头纸、８０支纱白府绸、白丝绸及白的确良作显示带的性能，试验指出最佳的显示带是色层沪纸。文中还介绍了氨检漏设备和检漏方法。文中着重地研究氨检漏器的定标问题，由理论分析和十二条实验曲线的结论可得到氨检漏器的定标公式：Ｓ＝１．５ × １０４Ｌ（ｔ—ｔ。），从而使氨检漏器的定量问题得到解决。氨检漏器非常灵敏，几分钟可检出１０－７乇·升／秒的漏孔，据推算２４小时可检出的最小漏孔为１０－１０乇·升／秒数量级。

关键词：漏孔漏量检漏方法粘滞流粘性流动试纸指示剂质谱检漏仪检漏器

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复合涂料显色检漏

真空科学与技术学报 1981年第1期 20-26页

作者：胡耀志梁迪众华南工学院华南工学院广州

大型容器检漏是检漏技术中的一个难题。文中首先概要地介绍目前常用的大容器检漏方法,指出最有效的方法之一是显色检漏。文中简单介绍国外近年来所做的显色检漏的研究工作,并指出他们存在的问题。作者提出的复合层涂料显色检漏有更大的... 详细信息

大型容器检漏是检漏技术中的一个难题。文中首先概要地介绍目前常用的大容器检漏方法,指出最有效的方法之一是显色检漏。文中简单介绍国外近年来所做的显色检漏的研究工作,并指出他们存在的问题。作者提出的复合层涂料显色检漏有更大的优点,在被检件表面喷涂三层涂料。(1)隔离层,(2)显色层,(3)保护层。这样,工件可以不用清洗,周围的气氛也不用特殊处理,便可检漏。文中还给出显色检漏中漏孔漏率的定量方法。

关键词：检漏漏孔漏率显色复合涂料

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反应离子刻蚀的机理及其实验研究方法

真空科学与技术学报 1988年第3期 183-190页

作者：胡耀志黄飙华南工学院华南工学院广州

反应离子刻蚀业已成为制造集成电路的一项重要技术。本文扼要地论述四类干法刻蚀的机理:物理刻蚀,化学刻蚀,化学-物理刻蚀及光化学刻蚀。文中较详细地给出Si,SiO2、Si3N4、Al、和Ⅲ-V族半导体化合物的反应离子刻蚀机理。本文也讨论有关... 详细信息

反应离子刻蚀业已成为制造集成电路的一项重要技术。本文扼要地论述四类干法刻蚀的机理:物理刻蚀,化学刻蚀,化学-物理刻蚀及光化学刻蚀。文中较详细地给出Si,SiO2、Si3N4、Al、和Ⅲ-V族半导体化合物的反应离子刻蚀机理。本文也讨论有关图形边形貌的理论模型,利用此模型可以半定量地控制刻蚀的各向异性度。已有多种实验技术用来研究反应离子刻蚀的机理,最常用的方法是发射光谱法、质谱法、阻抗法和静电探针法。发射光谱相对强度法(OEA)和激光诱导荧光法(LOF)是最近发展起来的实验技术,将在反应离子刻蚀的机理研究中起到重要的作用。

关键词：反应离子刻蚀物理 Al CF 发射光谱法干法刻蚀刻蚀机理实验研究

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利用气体对镍管的选择性渗透提纯氢气

华南工学院学报 1965年第3期 98-104页

作者：胡耀志吴乙义

一、引言高纯度的气体在加速器,等离子体物理学,离子器件和新型气体放电灯中有很大的用途。利用金属的选择性渗透来提纯气体是一种非常简单、有效的方法。早在三十年代,Smithells,Jossem 就开展了这方面的研究。1957年,Norton 对多种气... 详细信息

一、引言高纯度的气体在加速器,等离子体物理学,离子器件和新型气体放电灯中有很大的用途。利用金属的选择性渗透来提纯气体是一种非常简单、有效的方法。早在三十年代,Smithells,Jossem 就开展了这方面的研究。1957年,Norton 对多种气体和固体的渗透性质作了比较全面的研究和分析。从这些作者的工作看来,可以利用渗透法来提纯的气体只有氦、氧、氢三种是比较成熟。也有些作者介箱氮可用钼来提纯。

关键词：氢气选择性渗透钝器工业气体渗透量

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食品和医药密封容器的无损真空检测

真空与低温 1985年第3期 35-47页

作者：黄光周胡耀志华南工学院无线电系

食品和医药密封容器,如罐头、包装盒、玻璃罐或医药针剂瓶,为了延长罐内物质的保存时间,容器一般都抽真空,以降低氧气的含量。一旦抽气设备出现故障或包装容器有漏孔,使容器内达不到所要求的真空度,杂质和细菌进入罐内的机会就会增大,... 详细信息

食品和医药密封容器,如罐头、包装盒、玻璃罐或医药针剂瓶,为了延长罐内物质的保存时间,容器一般都抽真空,以降低氧气的含量。一旦抽气设备出现故障或包装容器有漏孔,使容器内达不到所要求的真空度,杂质和细菌进入罐内的机会就会增大,食品和医药也易变质,特别是 pH 值较高的番茄汁和牛奶,变质就更快了,轻则造成财物损失,重则损害人类的健康以至生命。所以在食品工业和医药工业中对密封容器的真空检测是必不可少的。

关键词：罐盖检测装置真空度密封容器电磁线圈罐头医药