检索结果-南通市图书馆

离子束抛光去除函数的在位快速计算与抛光实验

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

表面技术 2024年

作者：张旭王大森夏超翔郭海林黄思玲赵仕燕聂凤明中国兵器科学研究院宁波分院

目的基于BP神经网络使用法拉第杯扫描离子束流实现离子束抛光去除函数的在位快速计算。方法对于空间分布不同的离子束流，通过法拉第杯扫描方法获得电流密度分布信息，通过刻蚀实验计算去除函数分布信息，使用BP神经网络对电流密度和... 详细信息

目的基于BP神经网络使用法拉第杯扫描离子束流实现离子束抛光去除函数的在位快速计算。方法对于空间分布不同的离子束流，通过法拉第杯扫描方法获得电流密度分布信息，通过刻蚀实验计算去除函数分布信息，使用BP神经网络对电流密度和去除函数分布之间的关系进行拟合，建立基于BP神经网络计算去除函数的模型。使用该模型，可以实现对去除函数的在位快速计算，并应用于光学元件的离子束抛光实验。结果利用上述方法建立的BP神经网络模型计算的去除函数体积去除率和实验方法获得的去除函数体积去除率的误差为5.09%，使用计算的去除函数进行了离子束抛光实验，抛光样件为直径为320mm的融石英，抛光后光学元件表面PV值0.197 λ，RMS值0.009 λ，收敛率达到4.19，实现了光学元件表面的超精密抛光。结论使用建立的BP神经网络模型可以实现离子束抛光去除函数的在位快速计算，该模型对融石英及其它材料的光学元件均适用，计算的去除函数精度满足光学元件离子束超精密加工需求，并提高了离子束抛光的效率。

关键词：离子束抛光去除函数半高全宽 BP神经网络法拉第扫描融石英

离子束抛光对单晶硅表面质量影响的分子动力学模拟研究

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

原子与分子物理学报 2024年 119-127页

作者：赵仕燕郭海林黄思玲张旭夏超翔王大森聂凤明裴宁李晓静中国兵器科学研究院宁波分院

离子束抛光作为一种超精密加工技术,被应用于材料表面抛光的精抛阶段,而其原子量级的去除效果使得它的加工过程与加工效果难以直接观察,因此为了能够从微观尺度研究离子束抛光的加工效果以及加工参数对材料表面粗糙度与表面损伤的影响,... 详细信息

离子束抛光作为一种超精密加工技术,被应用于材料表面抛光的精抛阶段,而其原子量级的去除效果使得它的加工过程与加工效果难以直接观察,因此为了能够从微观尺度研究离子束抛光的加工效果以及加工参数对材料表面粗糙度与表面损伤的影响,提出使用分子动力学模拟的方法研究离子束抛光过程,通过对氩离子轰击单晶硅的仿真模拟,分析加工参数对单晶硅表面粗糙度与晶格损伤的影响规律,指导实际的加工工艺设计.研究发现,在不同加工角度下,离子剂量对于表面粗糙度的影响规律不同,低角度(0°～40°)低剂量以及高角度(>50°)高剂量的加工有助于达到较低的表面粗糙度;随着加工角度的增加,离子束对晶体表面造成的损伤逐渐减少,当加工角度大于40°时能够大幅度减少晶格损伤.模拟结果显示在实际的离子束抛光过程中,为了得到高质量的表面,应该采取高角度高剂量的加工方式以达到既降低材料表面粗糙度又减小对材料表面晶格产生损伤的目的.

关键词：离子束抛光表面质量分子动力学单晶硅加工角度

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究

表面技术 2022年第4期51卷 284-291页

作者：吴鹏飞王春阳李晓静赵仕燕王大森聂凤明长春理工大学电子信息工程学院长春130022 西安工业大学兵器科学与技术学院西安710021 中国兵器科学研究院宁波分院浙江宁波315103

目的检验熔石英光学元件表面离子束抛光过程中去除函数的稳定性。方法对离子束进行法拉第扫描来获取束流密度信息,构建离子束抛光去除函数模型。分析离子束流密度信息与去除函数模型,并通过实验研究束流密度信息与去除函数之间的关系,... 详细信息

目的检验熔石英光学元件表面离子束抛光过程中去除函数的稳定性。方法对离子束进行法拉第扫描来获取束流密度信息,构建离子束抛光去除函数模型。分析离子束流密度信息与去除函数模型,并通过实验研究束流密度信息与去除函数之间的关系,获得基于法拉第扫描结果计算去除函数的方法。利用该方法求取离子束抛光过程中的去除函数特征量,分析去除函数特征量随时间的波动情况以此来判断去除函数的稳定性,并对熔石英元件表面进行离子束抛光实验。结果在1 keV离子束能量下对离子源进行长时间的运行实验,利用上述方法计算实验过程中的去除函数。通过计算得到离子束抛光过程中去除函数的峰值去除率(P_(max))、体积去除率(V)和半高全宽(FWHM)在8 h内的变化率都小于3%。利用离子束抛光实验对Φ100 mm的熔石英光学元件进行抛光,抛光后面形PV值由0.78λ下降到0.16λ,RMS值由72.39 nm下降到16.64 nm。结论通过法拉第扫描实现了对去除函数长时间的监测,去除函数特征量在长时间测试实验中有着很好的稳定性,并对熔石英元件表面进行离子束加工,加工后元件表面参数满足光学超精密加工的要求。

关键词：离子束抛光法拉第杯检测离子束流密度去除函数稳定性

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

大圆弧鼓形滚轮精密数控磨削加工技术

大圆弧鼓形滚轮精密数控磨削加工技术

作者：聂凤明长春理工大学

学位级别：硕士

我国目前由于受加工制造水平和能力限制,对于精密大圆弧鼓形滚轮,只能采取将滚轮的两端加工成双重倒角的方法,解决滚轮承载能力不足的问题。但是随着发动机供油系统供油压力的提高,双重倒角结构还是满足不了发动机设计要求。鉴于此,本... 详细信息

我国目前由于受加工制造水平和能力限制,对于精密大圆弧鼓形滚轮,只能采取将滚轮的两端加工成双重倒角的方法,解决滚轮承载能力不足的问题。但是随着发动机供油系统供油压力的提高,双重倒角结构还是满足不了发动机设计要求。鉴于此,本文提出了大圆弧鼓形滚轮数控精密磨削加工技术。采用三轴数控插补方式,以满足不同零件不同曲线半径的要求,并立足于以直线与圆弧数控插补方式实现不同曲面的精密加工。根据加工要求,建立了角位移与直线位移数控联动的数学模型,并根据此模型对磨削参数与磨削精度进行了计算和分析,编制了数控程序,最终制定了具体的精密磨削加工工艺规范。通过实验表明,应用此技术能够解决大圆弧鼓形滚轮的加工技术难题,保证鼓形滚轮的加工精度和生产效率。

关键词：大圆弧鼓形滚轮精密磨削加工工艺

基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

光子学报 2019年第1期48卷 199-204页

作者：冯时付秀华王大森李晓静聂凤明张旭长春理工大学光电工程学院长春130022 中国兵器科学研究院宁波分院浙江宁波315103 长春理工大学电子信息工程学院长春130022

针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题,采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值,计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比,并通过MATLAB拟合驻... 详细信息

针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题,采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值,计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比,并通过MATLAB拟合驻留时间分布规律,根据所得的数据进行逐级修正.实验结果表明,当驻留时间比优化为-26.6%时,可以实现在直径300～600mm大口径的光学元件上均匀镀膜,以熔石英表面上镀硅膜为例,溅射沉积6h,表面膜厚为212.4±0.3nm,薄膜均匀性达到0.4%.

关键词：薄膜离子束溅射沉积膜厚均匀性大口径光学元件驻留时间

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

用即弃卫生用聚丙烯非织造布的亲水化改性

产业用纺织品 1999年第5期17卷 27-31页

作者：聂凤明赵耀明麦杭珍华南理工大学高分子材料与科学系广州510641

本文论述了用即弃卫生材料的发展状况和前景以及聚丙烯非织造布的亲水化表面处理,通过对阴离子表面活性剂、阳离子在面活性剂、非离子表面活性剂和两性表面活性剂的结构、改性效果、价格等的分析、比较,认为采用以阴离子表面活性剂为主... 详细信息

本文论述了用即弃卫生材料的发展状况和前景以及聚丙烯非织造布的亲水化表面处理,通过对阴离子表面活性剂、阳离子在面活性剂、非离子表面活性剂和两性表面活性剂的结构、改性效果、价格等的分析、比较,认为采用以阴离子表面活性剂为主成分进行复配效果为好,并介绍了表面整理的工艺方法.

关键词：聚丙类非织造布亲水化用即弃产品卫生用品

中大口径轴对称光学非球面超精密磨削数控机床的研制

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

制造业自动化 2014年第18期36卷 143-146页

作者：聂凤明李占国长春理工大学机电工程学院长春130022 中国兵器科学研究院宁波分院宁波315000 长春大学机械与车辆工程学院长春130022

通过系统分析轴对称中大口径方形光学非球面包络法加工原理,提出了非球面磨削加工机床各轴系运动的数学控制模型,设计并研制了非球面精密磨削加工机床及机床速度、位移双闭环控制系统,在研制的加工机床上进行了330×300mm的方形光学非... 详细信息

通过系统分析轴对称中大口径方形光学非球面包络法加工原理,提出了非球面磨削加工机床各轴系运动的数学控制模型,设计并研制了非球面精密磨削加工机床及机床速度、位移双闭环控制系统,在研制的加工机床上进行了330×300mm的方形光学非球面镜片磨削试验,并采用数字型电感测微仪设计了非球面在线检测系统,通过对加工后的光学非球面进行在线检测,试验结果表明设计并研制的光学非球面磨削加工机床加工精度满足光学非球面镜片加工面形精度PV值达到4μm的要求,且加工效率高,适用于中大口径非球面磨削加工。

关键词：轴对称中大口径光学非球面超精密磨削包络法面型精度