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Fabrication and measurement of traceable pitch standard with a big area at trans-scale

Chinese Physics B 2014年第9期23卷 143-147页

作者：邓晓李同保雷李华马艳马蕊翁浚婧李源 School of Physics Science and Engineering Tongji University Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology National Center of Measurement and Testing for East ChinaNational Center of Testing Technology

Atom lithography with chromium can be utilized to fabricate a pitch standard, which is chrectly traceable to me wavelength of the laser standing waves. The result of a calibrated commercial AFM measurement demonstrates that the pitch standard is （212.8±0.1） nm with a peak-to-valley-height （PTVH） better than 20 nm. The measurement results show the high period accuracy of traceability with the standing laser wavelength （λ/2 = 212.78 nm）. The Cr nano-grating covers a 1000μm×500 μm area, with a PTVH better than 10 nm. The feature width broadening of the Cr nanostructure has been experimentally observed along the direction of the standing waves. The PTVH along the Gaussian laser direction is similar to a Gaussian distribution. Highly uniform periodic nanostructures with a big area at the millimeter scale, and the surface growth uniformity of the Cr nano-grating, show its great potential in the application of a traceable pitch standard at trans-scales.

关键词： atom lithography nano-scale metrology standard traceability

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Nano-Traceability Study of a Cr Standard Grating Fabricated by Laser-Focused Atomic Deposition

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Chinese Physics Letters 2014年第7期31卷 46-49页

作者：雷李华李源范国芳翁浚婧邓晓蔡潇雨李同保 School of Physics Science and Engineering Tongji University Shanghai 200092 Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology National Center of Measurement and Testing for East China National Center of Testing Technology Shanghai 201203 Key Laboratory of Photochemical Conversion and Optoelectronic Materials Technical Institute of Physics and Chemistry Chinese Academy of Sciences Beijing 100190

维的人工制品被开发，它是一种集中激光的原子免职技术制作的一个铬(Cr ) 免职栅栏。栅栏的吝啬的沥青被与一个大范围使用一台度量衡学的原子力量显微镜测量，在一系列参考符号被执行了定位免职区域的地方。测量结果的余弦错误被反复的... 详细信息

维的人工制品被开发，它是一种集中激光的原子免职技术制作的一个铬(Cr ) 免职栅栏。栅栏的吝啬的沥青被与一个大范围使用一台度量衡学的原子力量显微镜测量，在一系列参考符号被执行了定位免职区域的地方。测量结果的余弦错误被反复的角度刻度分析并且消除。测量结果证明栅栏的吝啬的沥青是 212.66 潴 ?? 慥獲吗？

关键词：原子力显微镜光栅制作沉积技术纳米标准激光波长薄膜电极汇聚铬

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用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据

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光学精密工程 2015年第1期23卷 230-236页

作者：李同保翁浚婧雷李华李源蔡潇雨马艳同济大学物理科学与工程学院上海200092 上海市计量测试技术研究院上海201203

由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率... 详细信息

由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。

关键词：快速傅里叶变换法线节距一维线间隔标准样板微纳米计量

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麻花辫的故事

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文学港 2005年第2期 185-185页

作者：翁浚婧

头发——简单,微不足道。可是,头发一旦长在女孩的头上时,头发就不只是头发,它更是件饰品。天生就有打扮特权的女孩们,自然会使那头乌黑的秀发展示出独特的魅力。如今,有一种轻薄细长、斜披式的刘海逐渐成为潮流,特别为女孩所喜。这种... 详细信息

头发——简单,微不足道。可是,头发一旦长在女孩的头上时,头发就不只是头发,它更是件饰品。天生就有打扮特权的女孩们,自然会使那头乌黑的秀发展示出独特的魅力。如今,有一种轻薄细长、斜披式的刘海逐渐成为潮流,特别为女孩所喜。这种刘海有着时尚的美。但时尚毕竟太抽象了,让人难以把握。于是,时尚的美总让人觉得浮华。无意间,一种已逝的单纯的感觉油然而生,两根可爱的麻花辫传递着这种感觉,让我感到真切的欣喜,遥远的心痛。

关键词：麻花头发童年回忆心痛女生时尚故事印记摆动天使

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