咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 表面微结构
  • 1 篇 激光干涉
  • 1 篇 多孔inp
  • 1 篇 电化学刻蚀

机构

  • 1 篇 长春理工大学

作者

  • 1 篇 米伟勋

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=米伟勋"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
激光干涉诱导表面微结构对电化学刻蚀InP行为影响的研究
激光干涉诱导表面微结构对电化学刻蚀InP行为影响的研究
收藏
分享
引用
作者： 米伟勋 长春理工大学
学位级别：硕士
激光干涉刻蚀技术是目前较为先进的有序纳米阵列制备技术,该技术能在样品表面实现规则点阵的制备,但是在对半导体基底刻蚀时,难以实现深度刻蚀。与之相比较,电化学刻蚀存在刻蚀速度较快,能在短时间内实现深度刻蚀的优点,是一种设备廉价... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件