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面向超薄硅晶圆精密磨削工艺的内部残余应力分析

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表面技术 2024年

作者：熊正权窦筠雯陈颖高能黄银朱旻昊冯雪西南交通大学材料科学与工程学院材料先进技术教育部重点实验室清华大学柔性电子技术实验室浙江清华柔性电子技术研究院电子科技大学材料与能源学院西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所清华大学航天航空学院

目的硅基集成电路的超薄化（通常厚度≤50μm）是高性能集成器件实现柔性化的关键，同时也满足了器件先进封装的需求。背面精密磨削是低成本、大规模制造超薄硅基集成电路的重要技术路径。然而，随着厚度的降低，本征硬脆的硅基器件的... 详细信息

目的硅基集成电路的超薄化（通常厚度≤50μm）是高性能集成器件实现柔性化的关键，同时也满足了器件先进封装的需求。背面精密磨削是低成本、大规模制造超薄硅基集成电路的重要技术路径。然而，随着厚度的降低，本征硬脆的硅基器件的机械强度急剧下降，磨削的难度也极大增加。此外，当器件的厚度接近甚至低于有源层厚度（约15μm）时，磨削过程中产生的缺陷和内部残余应力将严重影响超薄器件的性能和良品率。因此，控制磨削过程的缺陷和内部残余应力是突破超薄柔性硅基集成电路制备技术的关键，非常有必要深入分析超薄硅晶圆精密磨削产生的内部残余应力，建立起工艺参数与内部残余应力之间的定量关系。方法本文针对精密磨削工艺，基于磨轮与硅晶圆的几何运动学关系，将磨轮进给率对磨削过程的影响转变为等效磨削深度的影响，建立了硅晶圆在单颗磨粒单次和多颗磨粒多次磨削下的有限元局部模型，探讨了工艺参数（磨轮转速、磨轮进给率、磨粒尺寸）、磨粒数量和磨削次数对磨削后的表面质量和内部残余应力的影响，开展了12英寸硅晶圆的自旋转精密磨削实验验证仿真结果。结果硅晶圆精密磨削后的内部残余应力主要集中距离硅片表面约50nm的范围内，并沿深度方向快速减小。降低磨轮进给率和减小磨粒尺寸可以有效地降低内部残余应力，提高表面质量。将硅片磨削后的表面及内部区域近似处于等双轴压缩应力状态，当磨轮进给率为0.5μm/s、0.35μm/s和0.2μm/s时，通过激光共聚焦显微拉曼光谱仪测得残余应力分别为-185±33MPa、-216±25MPa和-283±41MPa，多颗磨粒多次磨削有限元仿真获得的残余应力分别为-127±32MPa、-171±43MPa和-221±55MPa，二者吻合较好。结论将磨轮进给率转变为等效磨削深度后，本文建立的多颗磨粒多次精密磨削有限元模型可以有效地预测硅晶圆自旋转精密磨削的内部残余应力，为硅基集成电路薄化工艺的开发和优化提供指导。

关键词：硅晶圆超薄精密磨削内部残余应力有限元仿真显微拉曼实验

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铯元素的发现及其概念的发展

化学通报 2024年第10期87卷 1234-1240页

作者：窦雨晴袁振东李猛河南师范大学化学化工学院新乡453007

铯元素是利用光谱分析技术发现的第一个元素,它的发现及其概念的发展大致可分为3个时期:一是铯元素的发现及基于光谱属性的铯元素概念的形成。光谱分析技术的应用使化学家确认了铯元素的存在,形成了基于光谱属性的铯元素概念。二是铯元... 详细信息

铯元素是利用光谱分析技术发现的第一个元素,它的发现及其概念的发展大致可分为3个时期:一是铯元素的发现及基于光谱属性的铯元素概念的形成。光谱分析技术的应用使化学家确认了铯元素的存在,形成了基于光谱属性的铯元素概念。二是铯元素三重表征概念的形成。金属铯单质的制取及原子量的测定使得铯元素从宏观转向微观并随之形成了符号表征,铯元素三重表征概念正式形成。三是现代铯元素概念的建立。铯同位素的发现,赋予了铯元素概念新的内涵,铯元素在微观和符号上也有了新的发展,现代铯元素概念初步确立。总之,铯元素的发现及其概念发展过程是分析技术不断进步与化学思想发展融合的体现。

关键词：光谱分析技术铯元素铯同位素化学史

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小学数学四年级教学中学生问题意识的培养

数学大世界(上旬) 2024年第1期 23-25页

作者：窦雨秋张家港市凤凰中心小学

数学是小学阶段的一门重要学科，对学生的个人成长有着重要作用。在小学数学教学中，教师除了应当传授学生基础知识之外，还需要培养学生的各种思维意识、能力和习惯，从而促进学生全面发展。基于数学这门学科的特性，问题意识是学生必...

数学是小学阶段的一门重要学科，对学生的个人成长有着重要作用。在小学数学教学中，教师除了应当传授学生基础知识之外，还需要培养学生的各种思维意识、能力和习惯，从而促进学生全面发展。基于数学这门学科的特性，问题意识是学生必须形成的一种重要意识。学生具备良好的问题意识，就可以更好地接触、了解并掌握数学知识，形成良好的能力素养。在小学数学教学中，教师需要积极培养学生的问题意识，让学生能够带着问题去学习，从而提高学生的学习效果。

关键词：

水下湍流信道中指向-抖动误差对无线光通信系统性能影响分析

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光学学报 2024年第12期44卷 43-52页

作者：杨祎闵展望姚欣钰窦雨昂邱晓芬张建磊贺锋涛西安邮电大学电子工程学院陕西西安710121

水下无线光通信(UWOC)系统受到吸收、散射、海洋湍流等信道特性以及无线光通信系统抖动和指向误差的影响,导致信道衰落并影响UWOC系统误码率。首先推导了基于Yue谱的高斯光束经过接收孔径平均后的闪烁指数解析式,其次建立了水下湍流信... 详细信息

水下无线光通信(UWOC)系统受到吸收、散射、海洋湍流等信道特性以及无线光通信系统抖动和指向误差的影响,导致信道衰落并影响UWOC系统误码率。首先推导了基于Yue谱的高斯光束经过接收孔径平均后的闪烁指数解析式,其次建立了水下湍流信道无线光通信中的指向-抖动误差模型,该模型综合考虑了水体衰减、海洋湍流等信道衰减和指向-抖动误差损耗引起的链路衰减。同时,引入了信噪比校正因子以模拟高斯光束在衰减信道中的位置衰减量,并分别给出了有无抖动误差时系统误码率的表达式。研究结果表明,在弱湍流信道的UWOC系统中,相比于抖动误差,指向误差对系统性能的影响更大。接收孔径平均技术对湍流信道衰减和指向-抖动误差均具有显著的改善效果。

关键词：海洋光学无线光通信海洋湍流指向误差闪烁指数误码率

受限回程链路下无人机辅助MEC的空地能耗折中

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华中科技大学学报（自然科学版） 2024年第3期52卷 142-148页

作者：李安窦邵婷南昌大学信息工程学院江西南昌330031

针对无人机(UAV)辅助的移动边缘计算(MEC)网络中无人机的能耗和地面用户的能耗的矛盾关系,研究了受限回程链路下的UAV辅助的MEC网络的空地能耗折中问题,同时考虑到无人机的能耗与地面用户的能耗通常相差几个数量级,引入放大因子兼顾地... 详细信息

针对无人机(UAV)辅助的移动边缘计算(MEC)网络中无人机的能耗和地面用户的能耗的矛盾关系,研究了受限回程链路下的UAV辅助的MEC网络的空地能耗折中问题,同时考虑到无人机的能耗与地面用户的能耗通常相差几个数量级,引入放大因子兼顾地面用户能耗.通过联合优化计算任务分配、GUs发射功率、GUs卸载时间和无人机轨迹,以最小化加权总能耗,可以表示空地能耗之间的权衡关系.由于所提出问题的非凸性使其难以优化,提出了一种基于块坐标下降法和连续凸近似技术的两阶段交替迭代优化算法得到该问题的次优解.仿真实验结果验证了所提出的方案在兼顾公平性条件下刻画了无人机能耗和用户能耗之间的折中关系,并在降低总能耗方面优于其他基准方案.

关键词：无人机辅助的移动边缘计算受限回程链路空地能耗折中计算资源分配轨迹优化

第六届“大数据与思想政治教育创新”学术论坛综述

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学校党建与思想教育 2024年第3期 95-96页

作者：饶筠筠华中师范大学马克思主义学院桂林理工大学马克思主义学院

2023年12月,由华中师范大学全国高校思想政治工作队伍培训研修中心、华中师范大学马克思主义学院、《学校党建与思想教育》杂志社联合举办的第六届“大数据与思想政治教育创新”学术论坛在华中师范大学顺利举行。

关键词：思想政治教育创新学术论坛华中师范大学大数据高校思想政治工作队伍培训研修联合举办论坛综述

会通中西译论的一次尝试——探析吴宓的翻译思想

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上海翻译（中英文） 2024年第5期 77-82页

作者：姜筠武汉大学武汉430072

在中国近现代翻译史上,吴宓因主导《学衡》的西方经典翻译活动,且有意识地进行翻译理论思考,而有其独特地位。他立足个人翻译实践,在对“五四”时期翻译现状进行反思后,审慎吸收中西翻译传统资源,如佛经汉译传统、严复的“信达雅”、约... 详细信息

在中国近现代翻译史上,吴宓因主导《学衡》的西方经典翻译活动,且有意识地进行翻译理论思考,而有其独特地位。他立足个人翻译实践,在对“五四”时期翻译现状进行反思后,审慎吸收中西翻译传统资源,如佛经汉译传统、严复的“信达雅”、约翰·德莱顿等西方翻译家的思想主张与实践经验,形成自己别具一格的翻译思想。本文对其译论的探析主要聚焦如下五个议题:(不)可译论、翻译与创作的关系、翻译的伦理要求、翻译标准和翻译方法,着重关注吴宓对中西翻译传统资源的选择、借鉴与融合。通过解读吴宓译论的内涵,挖掘其思想价值,充实现有的中国传统译论研究,也为当下中国译学话语体系建构提供参考与启发。

关键词：吴宓翻译思想传统译论会通中西

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轮椅上的“雷锋传人”

雷锋 2024年第7期 38-41页

作者：窦芒张欣雨(图) 不详

沐浴着初春时节的温暖阳光,上海新黄浦实业集团高级经济师、渐冻症患者张戟实现了自己的心愿:拜见雷锋当年的连长,听他讲雷锋的故事。这天上午,张载坐着轮椅来到位于杨浦区五角场的一个小区,以学雷锋志愿者的身份,向离休后居住在上海的9... 详细信息

沐浴着初春时节的温暖阳光,上海新黄浦实业集团高级经济师、渐冻症患者张戟实现了自己的心愿:拜见雷锋当年的连长,听他讲雷锋的故事。这天上午,张载坐着轮椅来到位于杨浦区五角场的一个小区,以学雷锋志愿者的身份,向离休后居住在上海的95岁的虞仁昌致敬。张戟向老连长汇报,自己从小就学习雷锋,收藏雷锋,不久前还向上海雷锋纪念馆捐赠了雷锋藏品。面对轮椅上的“雷锋传人”,老连长听了连声夸赞:“做得对!做得好!不容易!”同时赠送张戟一幅当年和雷锋等战士合影的老照片和雷锋年历画,并题字“雷锋精神永恒”。

关键词：雷锋纪念馆雷锋精神学习雷锋高级经济师学雷锋五角场老照片志愿者

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PLC控制的电磁阀耐久试验系统设计

中国新技术新产品 2015年第11期 4-4页

作者：窦雨筠于梦琳于梦琪管道沈阳输油气分公司辽宁沈阳110000 管道大连输油气分公司辽宁大连116000

能否切实实现电磁阀的质量控制,不仅仅直接关系到我国社会主义经济能否永续发展,更间接的影响到居民的生命财产安全。本文通过分析电磁阀耐久试验系统设计,尝试研究基于PLC控制的电磁阀耐久试验系统设计。

关键词： PLC控制电磁阀系统设计