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掺Al的HfO2铁电薄膜制备及其阻变性能的研究

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掺Al的HfO2铁电薄膜制备及其阻变性能的研究

作者：秦谱江苏大学

学位级别：硕士

在新一代的存储器件中,铁电异质结忆阻器因其运行速度快、器件结构简单、功耗低、无损读出等特点而受到广泛关注。作为阻变器件的功能层,铁电薄膜材料的电性能直接关系到其是否适用于制备相关器件。在众多铁电材料中,HfO具有与互补金属... 详细信息

在新一代的存储器件中,铁电异质结忆阻器因其运行速度快、器件结构简单、功耗低、无损读出等特点而受到广泛关注。作为阻变器件的功能层,铁电薄膜材料的电性能直接关系到其是否适用于制备相关器件。在众多铁电材料中,HfO具有与互补金属氧化物半导体工艺兼容、化学成份无害、成分简单和在低至10nm厚度下具有优异铁电性等优势而备受研究人员的青睐。优化工艺参数,制备出适用于铁电阻变存储器的铁电层可以大力推动忆阻器件的发展。本文以Al掺杂HfO铁电薄膜为研究对象,研究氧空位、掺杂浓度、退火温度等因素对其铁电性能的影响。进一步将其与MoS层结合形成异质结,从而提高器件阻变性能。主要内容如下:（1）通过密度泛函理论计算,研究氧空位诱导结构向铁电相转变,以及Al掺杂促进氧空位形成的机理。使用原子层沉积技术制备Al掺杂HfO铁电薄膜,研究不同掺杂浓度、退火温度、退火时间和厚度条件下HfO薄膜的电性能。研究发现制备工艺为1:19的掺杂浓度,950℃的退火温度和60 s的退火时间时,薄膜具有最大的剩余极化值2P=32.35μC/cm,掺杂浓度和最佳退火温度之间存在线性关系。此外,结果显示将退火时间降低到30 s,可以适当增大漏电流,并且将极化反转电压从7 V降至4 V左右,这更适用于阻变存储器件的制备。（2）基于Al掺杂HfO铁电薄膜的制备工艺对其电学性能影响的研究结果,制备了铁电阻变功能层。通过磁控溅射MoS层形成异质结,将整个结构的阻变窗口从10左右提高到了1000以上,提升超过100倍。并通过调整正极化或负极化电压,实现对电阻态的多级调整,开关比可在6到1000以上范围内变化,显示了该异质结在阻变存储器方面的应用潜力。

关键词：铁电材料 HfO2 铁电存储器 MoS2

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几类极小线性码问题的研究

几类极小线性码问题的研究

作者：秦绪谱东南大学

学位级别：硕士

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新世纪中国面临的老龄社会问题

经济问题 2002年第3期 61-63页

作者：秦谱德山西省社会科学院山西太原030006

进入新世纪 ,中国也进入老年型国家 ,新世纪是中国的老龄化世纪。老龄化社会会给中国带来哪些社会问题 ,本文就此进行了概括和预测 ,提出了 10个方面的问题 ,目的是为了引起人们重视 ,提前加以研究 ,及时得到解决。

关键词：新世纪中国老龄社会问题老龄化社会

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关于山西农业与农村发展的几个问题

经济问题 1997年第11期 57-59页

作者：秦谱德山西省社会科学院

关于山西农业与农村发展的几个问题○秦谱德１９９６年秋，我陪同英国牛津大学汉学系人类学社会学博士彭柯先生在山西祁县、介休等地进行了农村调查，在调查中发现了许多新情况、新问题，其中比较突出的有三个问题。这三个问题是农业、... 详细信息

关于山西农业与农村发展的几个问题○秦谱德１９９６年秋，我陪同英国牛津大学汉学系人类学社会学博士彭柯先生在山西祁县、介休等地进行了农村调查，在调查中发现了许多新情况、新问题，其中比较突出的有三个问题。这三个问题是农业、农村发展中需要解决而且可以解决的普...

关键词：山西农业农村发展

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试谈老年人的失落感与调适

晋阳学刊 1993年第4期 105-108页

作者：秦谱德山西省社会科学院副研究员

在中国60岁及60岁以上的老年人口目前大约有1亿零300万人,占总人口的9％左右。据预测,到本世纪末,中国将进入“老年型”国家行列,老年人口将达到1.34亿人,占总人口的11.7％左右,到2025年,老年人口将达2.8亿,占总人口的20％左右。中国人... 详细信息

在中国60岁及60岁以上的老年人口目前大约有1亿零300万人,占总人口的9％左右。据预测,到本世纪末,中国将进入“老年型”国家行列,老年人口将达到1.34亿人,占总人口的11.7％左右,到2025年,老年人口将达2.8亿,占总人口的20％左右。中国人口老龄化来势猛,速度快,老年人口绝对数字大

关键词：老年人失落感心理疾病老人老年工作

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论农村人口控制的微观机制

理论探索 1992年第2期 58-59页

作者：秦谱德山西省社科院社会学所

要实现计划生育目标,必须有一套得力的人口控制机制。所谓人口控制机制,这有宏观微观之分。从微观来讲,主要是指在以家和户组成的村庄为基本单位的层面上使直接的人口生育在经济、社会各个关系之间形成有效的直接控制。它包括家庭经济... 详细信息

要实现计划生育目标,必须有一套得力的人口控制机制。所谓人口控制机制,这有宏观微观之分。从微观来讲,主要是指在以家和户组成的村庄为基本单位的层面上使直接的人口生育在经济、社会各个关系之间形成有效的直接控制。它包括家庭经济发展和家庭生活的需要在家庭小环境中能自觉地控制人口,农村形成了良性运行的控制人口的微观机制。微观机制,在农村人口控制中具有重要的作用。一、人口生育首先是在家庭中进行的,主要地直接地表现为由夫妻双方组成的家庭而产生的一种生育行为。家庭夫妻的生育行为既要受到整个社会大环境的影响和制约,更重要的是由家庭小环境的直接制约和支配。

关键词：人口控制微观机制生育行为生育观念经济社会环境人口数量宣传教育人口素质中国人口微观环境

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