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用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)

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光学精密工程 2007年第12期15卷 1838-1843页

作者：徐垚王占山徐敬张众王洪昌朱京涛王风丽王蓓秦树基陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所上海200092

介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子... 详细信息

介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2 .25 g/cm3,沉积速率为0 .058 nm/s。

关键词： X射线衍射仪低原子序数材料反射率测试薄膜

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不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

强激光与粒子束 2000年第2期12卷 129-133页

作者：吴永刚陈玲燕张哲魏军明秦树基唐伟星同济大学波耳固体物理研究所上海200092

用电子束蒸发方法淀积制备 X射线激光稀土元素 Yb薄膜靶 ,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用 X射线光电子谱 ( XPS)、俄歇电子谱 ( AES)和 X射线衍射 ( XRD)方法研究了 Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜... 详细信息

用电子束蒸发方法淀积制备 X射线激光稀土元素 Yb薄膜靶 ,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用 X射线光电子谱 ( XPS)、俄歇电子谱 ( AES)和 X射线衍射 ( XRD)方法研究了 Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构 ,干燥空气中储存的 Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。

关键词： X射线激光稀土元素 Yb薄膜靶氧化

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类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究

类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究

Design and Fabrication of Broad Angular Response Supermirror for Hard X-Ray Optics

上海市激光学会2005年学术年会

作者：王蓓王占山陈玲燕秦树基同济大学精密光学工程技术研究所

本文介绍类镍钽软X射线激光实验中重要光学元件一类镍钽软X射线高反射镜(工作波长位于4．48nm)的设计、制备和测量。包括多层膜材料对的选择;周期厚度优化及两种材料厚度比的优化;采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制备高反射... 详细信息

本文介绍类镍钽软X射线激光实验中重要光学元件一类镍钽软X射线高反射镜(工作波长位于4．48nm)的设计、制备和测量。包括多层膜材料对的选择;周期厚度优化及两种材料厚度比的优化;采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制备高反射镜;用X射线衍射仪(XRD)小角测量方法对反射镜结构测量;根据测量结果优化实验参数,改进实验;在北京同步辐射上对高反射镜反射率的测量。测试结果表明,所制备的高反射镜已基本有清晰的膜层结构,同步辐射上测得以10°入射在4．48nm工作波长处,多层膜有1％左右的反射率。

关键词：软X射线多层膜磁控溅射 X射线衍射仪同步辐射反射率

来源： cnki会议 cnki会议评论

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Chinese Physics Letters 2005年第10期22卷 2511-2514页

作者：王众王占山王风丽吴文娟王洪昌秦树基陈玲燕 Institute of Precision Optical Engineering Department Of Physics Tongji University Shanghai 200092

A broad angular response supermirror is designed by the simplex optimization method and fabricated by de magnetron sputtering. The negative effect of the interracial imperfection, mainly consulting from interface roughness and diffusion, is emerged in the calculation of the precise performance of the supermirror. The refleetvity of such a supermirror is measured by the x-ray diffraction instrument （XRD） at Cu Kα line （λ=0.154nm）. The experimental refleetivity is about 30% in a fixed broad grazing incident angular range （0.55°-0.85°）. The fitting data prove that the thickness of each layer, which is larger than the prospect 0.5 nm, is different from the designed one and the roughness in the supermirror is about 0.85 nm.

关键词： TELESCOPE

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改进型验证相对论效应实验装置

工科物理 1998年第5期8卷 23-25,42页

作者：陈玲燕秦树基张哲汤学峰李雅顾牡同济大学物理系近代物理实验室

验证相对论效应实验装置能够形象直观而又方便地验证快速电子的能量与动量的相对论关系．近年来的重新设计和改进在保留原有优点和特色的基础上改进了原装置的不足，突出了综合型、设计型的特点，真正达到了一机多用的目的，符合面向二... 详细信息

验证相对论效应实验装置能够形象直观而又方便地验证快速电子的能量与动量的相对论关系．近年来的重新设计和改进在保留原有优点和特色的基础上改进了原装置的不足，突出了综合型、设计型的特点，真正达到了一机多用的目的，符合面向二十一世纪物理实验教学改革的趋势和方向．

关键词：验证相对论效应改进型教学改革实验装置近代物理学

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用高级次光谱提高多层膜分辨率方法的研究

用高级次光谱提高多层膜分辨率方法的研究

上海市激光学会2005年学术年会

作者：吴文娟王占山陈玲燕秦树基同济大学精密光学工程技术研究所同济大学精密光学工程技术研究所同济大学精密光学工程技术研究所同济大学精密光学工程技术研究所

多层膜是X射线波段重要的光学元件,具有高反射率和良好的稳定性,已经在多个领域得到了广泛应用。但若用在飞秒激光的高次谐波选频和低原子序数材料的荧光探测等方面,必须提高它的分辨率。本文采用高级次光谱的方法来提高多层膜的分辨率... 详细信息

多层膜是X射线波段重要的光学元件,具有高反射率和良好的稳定性,已经在多个领域得到了广泛应用。但若用在飞秒激光的高次谐波选频和低原子序数材料的荧光探测等方面,必须提高它的分辨率。本文采用高级次光谱的方法来提高多层膜的分辨率。理论设计出波长为14nm Mo／Si多层膜,用磁控溅射方法制备了Mo／Si多层膜,用同步辐射进行反射率的测量。其结果表明,第二级次的分辨率得到了提高。

关键词：多层膜高级次光谱分辨率

来源： cnki会议评论

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软X射线激光用分束镜研制

科学通报 2003年第13期48卷 1398-1401页

作者：王占山吴永刚唐伟星秦树基陈玲燕徐向东洪义麟付绍军朱杰崔明启同济大学精密光学工程技术研究所同济大学物理系上海200092 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室合肥230029 中国科学院高能物理研究所北京100039

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率... 详细信息

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。

关键词：软X射线激光分束镜多层膜干涉临界面等离子体离子束溅射法

Design and Fabrication of Ni/Ti Multilayer for Neutron Supermirror

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Chinese Physics Letters 2006年第10期23卷 2678-2680页

作者：张众王占山朱京涛王风丽吴永荣秦树基陈玲燕 Institute of Precision Optical Engineering (IPOE) Department of Physics Tongji University Shanghai 200092

In the applications of neutron guides and focusing devices, by using the Ni/Ti multilayer supermirrors （SM）, the neutron flux is significantly enhanced, because the critical reflective angle of supermirrors increases m times compared to the one of natural bulk Ni. We design and fabricate the Ni/Ti multilayer supermirrors by considering the effect of the interfacial imperfection, such as interface roughness and diffusion, and by using the direct current magnetron sputtering technology. The reflective performances of these supermirrors are measured on a V14 neutron beam line at the Berlin Neutron Scattering Centre （BENSC）, Germany. The measurement data suggest that the critical angles of the supermirrors are 1.5 and 2.2 times that of bulk Ni, respectively.

关键词： X-RAY SUPER-MIRRORS

Design, Fabrication and Measurement of Ni/Ti Multilayer Used for Neutron Monochromator

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Chinese Physics Letters 2007年第12期24卷 3365-3367页

作者：张众王占山朱京涛吴永荣穆宝忠王风丽秦树基陈玲燕 Institute of Precision Optical Engineering (IPOE) Department of Physics Tongji University Shanghai 200092

Ni/Ti multilayers, which can be used for neutron monochromators, are designed, fabricated and measured. Firstly, their reflectivities are simulated based on the Nevot-Croce model. Reflectivities of two Ni/Ti multilayer mirrors with periods d = 10.3 nm （M1） and d = 7.8 nm （M2） are calculated. In the calculation, the reflectivity of the Ni/Ti multilayer is taken as a function of the gazing angle with different roughness factors δ =1.0 nm and = 1.5 nm. Secondly, these two multilayers are fabricated by the direct current magnetron sputtering technology. Thirdly their structures are characterized by small-angle x-ray diffraction. The roughness factors are fitted to be 0.68 nm and 1.16nm for M1 and M2, respectively. Finally their reflective performances are measured on the V14 neutron beam line at the Berlin Neutron Scattering Centre （BENSC）, Germany. The experimental data show that the grazing angle of the reflected neutron intensity peak increases, but the reflected neutron intensity decreases, with the decreasing periods of the multilayers.

关键词： thermoelectric half-Heusler compounds thermal conductivity