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钽晶圆CMP抛光液成分与加工工艺参数的研究与优化

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表面技术 2024年

作者：白西郁李薇薇钟荣峰肖银波王晓剑许宁徽河北工业大学电子信息工程学院广东惠尔特纳米科技有限公司

目的本文旨在通过电化学实验确定化学机械抛光液成分，并以此进行化学机械抛光实验，通过响应面法确定最佳工艺参数方案。方法通过电化学实验结果确定甘氨酸和过硫酸钠、过氧化氢两种氧化剂最佳组合与配比，以此配置抛光液进行不同机械... 详细信息

目的本文旨在通过电化学实验确定化学机械抛光液成分，并以此进行化学机械抛光实验，通过响应面法确定最佳工艺参数方案。方法通过电化学实验结果确定甘氨酸和过硫酸钠、过氧化氢两种氧化剂最佳组合与配比，以此配置抛光液进行不同机械参数的CMP实验，选择三种工艺参数分别为抛光压力、抛光盘转速、抛光液流量，取值为6.5～9.5kg、30～90 r/min、45～105 ml/min，利用响应面实验法确定最佳工艺参数组合方案。结果电化学实验确定抛光液组分甘氨酸浓度0.3wt%、H2O2浓度为3wt%，应用响应面法确定的工艺参数抛光压力、抛光盘转速、抛光液流量分别为8.1 kg、70 r/min、79 ml/min，并分析出对抛光效果的影响程度从强到弱分别为：抛光压力、抛光盘转速、抛光液流量。最终钽晶圆实验材料去除速率为29.445 nm/min，具有良好的表面质量其表面粗糙度为0.152 nm。结论甘氨酸能够减缓腐蚀速率，氧化剂能够加速钽腐蚀速率，混合电化学实验表明，甘氨酸也可以减缓氧化剂对钽腐蚀的促进作用，因此甘氨酸可与氧化剂配合使用来控制对钽的腐蚀。使用响应面分析法可以确定最佳工艺参数方案，所以响应面分析法可以减少实验成本，提高实验效率。

关键词：钽晶圆化学机械抛光电化学响应面法材料去除速率表面粗糙度

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漯河地区新近系明化镇组热储回灌试验分析

能源与环保 2024年第8期46卷 140-144页

作者：宋仲科李佳李胜利白西良罗伊琳黄波宋晓焱郑启明河南豫中地质勘查工程有限公司河南郑州450018 河南省能源钻井工程技术研究中心河南郑州450018 河南省自然资源科技创新中心(非常规天然气开发研究) 河南郑州450018 华北水利水电大学河南郑州450046 河南工程学院河南郑州451191

地热回灌是维持地热资源可持续开采的重要途径,是预防地面沉降等地质环境问题的有效措施。为提高河南省漯河地区地热资源利用率,在该区开展回灌试验和数值模拟研究,分析影响回灌的主要因素。研究结果表明,研究区主要开采层新近系明化镇... 详细信息

地热回灌是维持地热资源可持续开采的重要途径,是预防地面沉降等地质环境问题的有效措施。为提高河南省漯河地区地热资源利用率,在该区开展回灌试验和数值模拟研究,分析影响回灌的主要因素。研究结果表明,研究区主要开采层新近系明化镇组热储回灌效果良好,回灌潜力较大,异层水源允许最大回灌量为26.761 m^(3)/h,同层水源允许最大回灌量为33.060 m^(3)/h。漯河地区异层水源回灌建议采用一采两灌的布井方式,同层水源回灌建议采用二抽三灌的布井方式,建议回灌井距为300 m。回灌量随回灌压力增大而增大,但单位回灌量和渗透系数随压力增大呈减小趋势,表明加压回灌可通过影响热储的渗透性能影响回灌量。回灌地热水温度越低,密度越大,对井底压力越大,回灌效果越好。

关键词：地热回灌漯河地热田孔隙型热储影响因素

加大农村劳务输出力度促进农民增加收入——对陕西省农村富余劳动力转移的调查与思考

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农村经营管理 2008年第7期 38-41页

作者：王华白西兰陕西省农业厅

农村劳动力向非农产业和城镇转移是我国工业化、城镇化进程中的必然趋势,做好农村劳动力转移工作,对统筹城乡经济社会发展,增加农民收入,构建社会主义和谐社会有着十分重要的意义。当前,这项工作也成为全社会普遍关注的热点和焦点。《... 详细信息

农村劳动力向非农产业和城镇转移是我国工业化、城镇化进程中的必然趋势,做好农村劳动力转移工作,对统筹城乡经济社会发展,增加农民收入,构建社会主义和谐社会有着十分重要的意义。当前,这项工作也成为全社会普遍关注的热点和焦点。《国务院关于解决农民工问题的若干意见》下发后,陕西省组织全省农业系统广大干部职工认真学习,深刻领会精神,并按照文件要求,积极做好农村劳动力现状调查,阳光工程培训,农民工土地承包权益保护,调整农业产业结构等项工作,不断挖掘农业内部潜力,拓展农民就业空间,努力增加农民收入。现将该省农村劳动力转移工作的有关调查情况汇总分析如下:

关键词：劳务输出劳务出口人口流动农民劳动者农村劳动力资源陕西省农村收入财政管理力度

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在线社交网络中谣言传播与溯源模型研究

在线社交网络中谣言传播与溯源模型研究

作者：白西柯新疆财经大学

学位级别：硕士

近年来,随着互联网信息技术的发展,社交网络作为一种快捷、广泛的信息传播媒介而深受公众欢迎,“人人都是自媒体”的时代加速了网络谣言的传播。如双黄连可以治疗新冠肺炎的“抢药风暴”、“货拉拉事件”等网络谣言严重误导公共决策、... 详细信息

近年来,随着互联网信息技术的发展,社交网络作为一种快捷、广泛的信息传播媒介而深受公众欢迎,“人人都是自媒体”的时代加速了网络谣言的传播。如双黄连可以治疗新冠肺炎的“抢药风暴”、“货拉拉事件”等网络谣言严重误导公共决策、破坏社会和谐稳定。一方面,随着社交环境的动态演变网络谣言已逐渐呈现常态化、扩大化和复杂化趋势,传统的谣言传播模型假设个体的接触是随机的,个体与谣言传播者的接触概率均等,忽略了个体在网络中的位置对谣言传播的影响,这与现实情况是相悖的,且社交网络上的个体接收到谣言的反应不同,部分个体对谣言持有犹豫态度,抱有“让子弹飞一会儿”的心理,此外,谣言传播者有一定的概率遗忘谣言。因此,迫切需要构建一种更加符合现实的谣言传播模型,以此来准确刻画谣言传播特征,深入探究谣言传播机制和演化规律。另一方面,由于谣言信息的快速传播和社交网络的动态演变,社交网络上的个体接收到谣言信息的表现不同,个体状态的不断转化形成的复杂关系对谣言溯源问题带来了新的挑战,但现有谣言溯源算法在溯源错误距离、溯源准确率等方面仍存在较大的改进空间。因此,如何快速、准确追溯谣言信息来源并对传播源进行引导和控制是新时代抑制谣言传播、精准治理谣言的关键。本研究从个体接触网络角度出发,考虑犹豫机制、遗忘机制等因素对谣言传播的影响,引入个体状态更新概率函数建立一种改进的SIR谣言传播模型——SIR-HF模型,并给出对应的动力学方程,通过仿真模拟对谣言在合成网络(BA网络)与真实网络(美国航空网络)上的传播过程进行研究。此外,提出一种基于多中心性分析的网络谣言信息源点追溯算法,在随机图与正则图上进行谣言传播与溯源仿真实验,将该算法与现有溯源算法的性能进行对比,进一步在美国电网上验证了该算法的有效性。最后分析了影响谣言信息源点追溯准确率的潜在因素。研究结果表明:(1)个体位置对谣言传播规模具有显著的影响,个体位置越中心,谣言传播规模越大,传播者数量到达峰值的时间越短;BA网络由于Hub节点的存在加强了谣言的传播能力;与传统的SIR谣言传播模型相比,SIR-HF模型可以更加准确地刻画谣言传播的特征。(2)多中心性算法(EC)在随机图与正则图上的溯源准确率较单一中心性算法的溯源准确率提升约83%与41%,溯源平均错误距离仅为0.02步和0.5步;在真实网络上的溯源平均错误距离为6.56步,优于动态年龄算法(DA)的11.3步与最小描述长度算法(MDL)的8.88步。

关键词：社交网络谣言传播溯源算法仿真模拟

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反和平演变十四谈第1版

1990年

作者：白西民王天晞等

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市场经济操作法规汇编

1993年

作者：白西镕孟令彤

本书内容包括:企业运行市场法规、商品流通市场法规、技术信息市场法规、人才劳动市场法规等8篇。

ISBN: (数字)7111037979

本书内容包括:企业运行市场法规、商品流通市场法规、技术信息市场法规、人才劳动市场法规等8篇。

关键词：政治、法律法律(D9) 中国法律

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双联齿轨轮齿形圆弧倒角刀具的设计及应用

煤矿机械 2010年第8期31卷 140-141页

作者：白西训西安煤矿机械有限公司西安710032

随着煤矿向高产高效方向的发展,采煤机的牵引力和牵引速度也在相应增大,对齿轨轮强度的要求越来越高。为解决齿轨轮因断齿而失效问题,对双联齿轨轮的断口进行了分析,找出其断齿失效的主要原因,并进行了技术攻关。

关键词：断齿齿形倒角 R4的齿形圆弧倒角刀数控铣床

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黄河水资源利用现状、预测及对策

人民黄河 1996年第5期18卷 1-6页

作者：白炤西侯传河魏广修黄委会勘测规划设计研究院

人民治黄以来，黄河流域修建了大量的蓄、引、提水工程，为黄河水资源的开发利用创造了良好的条件。１９９０年流域工农业总引用水４７８亿ｍ３，其中地下水１１４亿ｍ３，河川水３６４亿ｍ３，用水最多的是农业灌溉，工业及生活用水比... 详细信息

人民治黄以来，黄河流域修建了大量的蓄、引、提水工程，为黄河水资源的开发利用创造了良好的条件。１９９０年流域工农业总引用水４７８亿ｍ３，其中地下水１１４亿ｍ３，河川水３６４亿ｍ３，用水最多的是农业灌溉，工业及生活用水比重较小。据分析，２０００年水平全流域总需水量６４０亿ｍ３，年供水量为６２０亿ｍ３，缺水２０亿ｍ３；２０１０年水平全流域总需水量为７２３亿ｍ３，在满足下游输沙入海用水条件下，缺水６９亿ｍ３，水资源将成为流域经济发展的主要制约因素。缓解水资源供需矛盾的对策是：①兴建干流骨干工程；②全面厉行节约用水；③推广旱作农业；④加强水环境保护；⑤兴建西线南水北调工程。

关键词：水资源供需分析预测黄河

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你不是孤单一人