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多孔Low-k材料各向异性特性声表面波测量模型

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天津大学学报 2007年第12期40卷 1391-1396页

作者：李志国姚素英肖夏白茂森天津大学电子信息工程学院天津300072

声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及... 详细信息

声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及弹性模量对表面波色散曲线的影响.结果表明,纳米通孔方向与传播方向间的角度差会对色散曲线产生明显影响,在垂直于通孔的传播方向不能测出弹性模量E′.最后给出了有助于改善测量精度的措施.此模型可用于纳米多孔低介电常数材料各向异性特性测试实验.

关键词：声表面波测试纳米多孔低介电常数材料各向异性模型

LSAWs测量低介电常数介质薄膜杨氏模量的信号处理

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天津大学学报 2007年第5期40卷 554-558页

作者：肖夏白茂森李志国姚素英天津大学电子信息工程学院天津300072

利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时(LSAWs实验),必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线.设计了专用的程序滤波器对LSAWs实验中采集的原始信号进行滤波,有效抑制了信... 详细信息

利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时(LSAWs实验),必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线.设计了专用的程序滤波器对LSAWs实验中采集的原始信号进行滤波,有效抑制了信号噪声.滤波器加载的Kaiser窗降低了“吉布斯”效应的影响.对原始信号的增零处理增加了频谱的细腻程度.通过傅里叶变换获得了LSAWs实验有效信号的频谱.根据实验信号的相频特性曲线,通过最小二乘法拟合出了LSAWs实验中声表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线.实验表明,阻带噪声衰减为60 dB,获得了截止频率高达120 MHz的色散曲线.

关键词：声表面波低介电常数薄膜杨氏模量信号处理最小二乘法

A Model for Mechanical Property Evaluation of the Periodic Porous Low-k Materials by SAW

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Journal of Semiconductors 2007年第11期28卷 1722-1728页

作者：李志国姚素英肖夏白茂森天津大学电子信息工程学院专用集成电路设计中心天津300072

The influence of the distribution of nano-pores on the mechanical properties evaluation of porous low-k films by surface acoustic waves （SAW） is studied. A theoretical SAW propagation model is set up to characterize the periodic porous dielectrics by transversely isotropic symmetry. The theoretical deductions of SAW propagating in the low-k film/Si substrate layered structure are given in detail. The dispersive characteristics of SAW in differ- ent propagation directions and the effects of the Young＇s moduli E, E′ and shear modulus G′ of the films on these dispersive curves are found. Computational results show that E′ and G′ cannot be measured along the propagation direction that is perpendicular to the nano-pores＇ direction.

关键词： periodic porous materials low-k dielectrics transversely isotropic symmetry mechanical proper ty SAW measurement

Young's modulus determination of low-k porous films by wide-band DCC/LD LSAW

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Journal of Semiconductors 2011年第10期32卷 26-31页

作者：白茂森傅星 Dante Dorantes 金宝印胡小唐 State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments School of Precision Instrument and Opto-Electronics EngineeringTianjin University

Low-k interconnection is one of the key concepts in the development of high-speed ultra-large-scale integrated（ULSI） *** determine the Young＇s modulus of ultra thin,low hardness and fragile low-k porous films more accurately,a wideband differential confocal configured laser detected and laser-generated surface acoustic wave（DCC/LD LSAW） detection system is *** on the light deflection sensitivity detection principle, with a novel differential confocal configuration,this DCC/LD LSAW system extends the traditional laser generated surface acoustic wave（LSAW） detection system＇s working frequency band,making the detected SAW signals less affected by the hard substrate and providing more information about the thin porous low-k film under *** it has the ability to obtain more accurate measurement *** detecting principle is explained and a sample of porous silica film on Si（100） is tested.A procedure of fitting an experimental SAW dispersion curve with theoretical dispersion curves was carried out in the high frequency band newly achieved by the DCC/LD LSAW system.A comparison of the measurement results of the DCC/LD LSAW with those from the traditional LSAW shows that this newly developed DCC/LD LSAW can dramatically improve the Young＇s modulus measuring accuracy of such porous low-k films.

关键词： nano-porous low-k film surface acoustic wave differential confocal Young's modulus dispersion curve wide band

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多媒体在语文教学中的另类思考

语文学刊(教育版) 2006年第10期 27-28页

作者：白茂森济源市教师进修学校河南济源454600

国产非核煤粉流量测量技术及其在Shell煤气化装置上的应用

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化工管理 2017年第23期 165-166,168页

作者：梁伟白茂森柳州化工股份有限公司自控分厂广西柳州545002 天津孚洛泰科技有限公司中国天津300000

对比分析了当前粉煤流量测量的主流技术,引进了天津孚洛泰公司自主研发的新型国产非核一体集成式煤粉流量计,对其原理和特性进行了分析,并在柳州化工Shell煤气化装置现场应用,现场运行数据表明,该款国产SFM型煤粉流量计测量性能完全满足... 详细信息

对比分析了当前粉煤流量测量的主流技术,引进了天津孚洛泰公司自主研发的新型国产非核一体集成式煤粉流量计,对其原理和特性进行了分析,并在柳州化工Shell煤气化装置现场应用,现场运行数据表明,该款国产SFM型煤粉流量计测量性能完全满足Shell煤气化装置现场生产的工艺需求,为Shell煤气化装置的煤粉流量测量系统的升级换代提供了可靠保障。

关键词：煤粉流量测量 Shell煤气化装置气固两相流质量流量

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应用于激光超声检测的新型光偏转探测技术

传感器与微系统 2011年第10期30卷 50-52,55页

作者：白茂森傅星 Dante Dorantes 金宝印胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

针对现有激光超声薄膜杨氏模量测量方法,提出了一种新型的光束微偏转探测技术。该技术采用差分检测方法抑制了系统共模噪声;采用共焦结构增强了检测系统稳定性、减弱了环境扰动的影响。并阐述了此探测技术的工作原理。将其应用于激光超... 详细信息

针对现有激光超声薄膜杨氏模量测量方法,提出了一种新型的光束微偏转探测技术。该技术采用差分检测方法抑制了系统共模噪声;采用共焦结构增强了检测系统稳定性、减弱了环境扰动的影响。并阐述了此探测技术的工作原理。将其应用于激光超声薄膜杨氏模量测量系统,获得了声表面波在标准样品中的传播色散曲线。实验色散曲线与理论计算值的良好拟和验证了此探测技术的实用性。

关键词：激光超声检测差分检测共焦结构声表面波光偏转

微功率电磁波透射式煤粉流量测量技术在粉煤加压气化装置上的应用

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氮肥与合成气 2018年第7期46卷 1-3,27页

作者：张国民白茂森神华宁夏煤业集团煤制油分公司宁夏银川750409 天津孚洛泰科技有限公司天津300010

提出了一种基于微功率电磁波透射式气固两相流的流量在线测量技术,概述了该技术的测量原理及其在粉煤加压气化装置上的应用特点,介绍了基于该技术的国产SFM型煤粉流量计在Shell炉、航天炉等主流粉煤加压气化装置上的应用。实际应用结果... 详细信息

提出了一种基于微功率电磁波透射式气固两相流的流量在线测量技术,概述了该技术的测量原理及其在粉煤加压气化装置上的应用特点,介绍了基于该技术的国产SFM型煤粉流量计在Shell炉、航天炉等主流粉煤加压气化装置上的应用。实际应用结果表明,该技术解决了粉煤加压气化装置中密相气力输送的粉煤流量在线测量问题,产品测量结果稳定、可靠,使用安全、方便。

关键词：粉煤流量计电磁波透射式粉煤加压气化装置

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迭代分离对色谱重叠峰准确定量的研究

迭代分离对色谱重叠峰准确定量的研究