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用多弧离子镀膜机镀氮化钛

金属热处理 1994年第5期19卷 17-21页

作者：王福贞唐希源周友苏赵双华魏雪英朱永林北京联合大学机械工程学院 100020

在研制的大弧源多弧离子镀膜机内进行了沉积氮化钛工艺试验，研究了弧源施加磁控与否、氮分压、基板偏压和形成氮化钛时工件温度等工艺参数，对氮化钛涂层微观组织和性能的影响。

关键词：多弧离子镀膜机氮化钛涂层

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氮化钛涂层沉积技术的发展概况

薄膜科学与技术 1991年第3期4卷 105-114页

作者：王福贞

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气相沉积技术

中国表面工程 1991年第1期8卷 48-59页

作者：王福贞北京联合大学机械工程学院

随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要，材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它适合于制备超硬、耐蚀、抗氧化、超导、光敏、热敏、磁记录... 详细信息

随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要，材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它适合于制备超硬、耐蚀、抗氧化、超导、光敏、热敏、磁记录、信息存储，光电转换、太阳能吸收等备种功能。性涂层，也可用于备种装饰涂层。

关键词：热敏表面改性技术涂层制备气相沉积技术耐蚀磁记录

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多弧离子镀膜机靶源电磁场的研究

真空 1990年第4期27卷 1-10页

作者：张树林袁哲周友苏王福贞东北工学院北京联合大学

多弧离子镀设备蒸发源的电弧放电受外加磁场的严格控制，靶面处不同的磁场分布具有不同的电弧放电形貌，这样，靶面处磁场强度的计算显得特别重要。本文基于多年科研实践和研究生论文试验对电磁线圈在靶面各处产生的磁场强度的计算进... 详细信息

多弧离子镀设备蒸发源的电弧放电受外加磁场的严格控制，靶面处不同的磁场分布具有不同的电弧放电形貌，这样，靶面处磁场强度的计算显得特别重要。本文基于多年科研实践和研究生论文试验对电磁线圈在靶面各处产生的磁场强度的计算进行了理论推导和研究，建立了数学模型，并进行了比较精确的磁场计算。计算值与实测值较好地相吻合。该计算可作为多弧靶设计的依据。

关键词：多弧离子镀膜机靶源电磁场

多弧离子镀与离子渗中影响光电温度计测温因素的研究

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真空 1992年第2期29卷 1-8,58页

作者：张树林李争显王福贞袁哲东北工学院沈阳市110006 西北有色院北京联大北京电炉厂

在多弧离子镀和离子渗金属中影响光电温度计测量精度的因素很多，本文通过大量试验、定性和定量的研究了诸因素，得出了校对光电温度计的线性回归方程。在实际测量中，取ε＝０．２能较准确地测量出工件的真实温度。受弧光亮度的影响。... 详细信息

在多弧离子镀和离子渗金属中影响光电温度计测量精度的因素很多，本文通过大量试验、定性和定量的研究了诸因素，得出了校对光电温度计的线性回归方程。在实际测量中，取ε＝０．２能较准确地测量出工件的真实温度。受弧光亮度的影响。光电温度计的指示值高出工件温度６５～７０℃。对于渗Ｔｉ和渗１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ的工件表面，其辐射性能相似。对于镀ＴｉＮ和渗Ｔｉ的工件表面利用光电温度计测温时，其指示值相差５℃。透过光学石英玻璃测量时，光电温度计指示值比工件低１７℃，而透过普通玻璃测量时，其指示值比工件温度低６５～８０℃。

关键词：离子镀离子渗温度计测量金属