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单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述

光学精密工程 2021年第8期29卷 1759-1768页

作者：王磊杰张鸣朱煜清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084

单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的... 详细信息

单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的单体大尺寸高精度全息平面光栅制造技术的研究进展以及存在的问题,并着重对基于扫描干涉光刻技术的单体大尺寸高精度全息光栅制造技术的研究进展进行论述。最后,总结了大尺寸高精度平面光栅制造技术——扫描干涉光刻技术的发展趋势。

关键词：全息平面光栅扫描干涉光刻条纹锁定栅距/方向/相位控制

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直接正交联合对角化盲分离算法

电子科技大学学报 2014年第3期43卷 359-362页

作者：程光辉王磊杰电子科技大学数学科学学院成都611731

针对盲源分离问题,利用白化预处理后信号的二阶和高阶累积量矩阵具有正交联合对角化的结构性质,以及多个实对称矩阵具有相同特征向量即可同时正交对角化的实对称矩阵的特征分解的理论,提出一种基于部分累积量矩阵特征分解的直接正交联... 详细信息

针对盲源分离问题,利用白化预处理后信号的二阶和高阶累积量矩阵具有正交联合对角化的结构性质,以及多个实对称矩阵具有相同特征向量即可同时正交对角化的实对称矩阵的特征分解的理论,提出一种基于部分累积量矩阵特征分解的直接正交联合对角化算法。该算法仅需要部分累积量矩阵信息,从而大大降低计算过程中的存储量和计算量。通过数值模拟,该算法和经典的JADE算法性能接近,可以有效地进行盲分离。

关键词：盲源分离特征值和特征向量联合对角化白化

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二维计量型平面光栅的设计

光学学报 2023年第19期43卷 24-32页

作者：袁伟朱煜张鸣王磊杰清华大学机械工程系北京100084

针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构... 详细信息

针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构、槽深和占空比下二维光栅偏振衍射效率受到的影响和变化规律进行了探索。仿真和实验结果表明,在占空比45.0%~46.7%附近,随着槽深增大,S偏振衍射效率逐渐减小,P偏振衍射效率逐渐增大;光栅槽深在260 nm附近时,不同偏振衍射效率可以达到平衡,带圆角的梯台结构光栅模型与实际工艺结果相近,衍射效率和偏振衍射均衡性等符合设计要求。仿真结果与实际工艺结果基本一致,表明其精度满足要求,大幅度提高了平面光栅设计和加工的效率。

关键词：光栅设计光栅仿真光栅制造衍射光栅衍射效率

Novel homodyne frequency-shifting interference pattern locking system

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Chinese Optics Letters 2016年第6期14卷 41-46页

作者：朱煜王磊杰张鸣鲁森杨开明胡楚雄 State Key Laboratory of Tribology Department of Mechanical Engineering Tsinghua University

We present a novel homodyne frequency-shifting interference pattern locking system to enhance the exposure contrast of interference lithography and scanning beam interference lithography（SBIL）. The novel interference pattern locking system employs a special homodyne redundant phase measurement interferometer（HRPMI） as the sensor and an acousto-opto modulator（AOM） as the actuator. The HRPMI offers the highly accurate value as well as the direction recognition of the interference pattern drift from four quadrature interference signals. The AOM provides a very fine resolution with a high speed for phase modulation. A compact and concise system with a short optical path can be achieved with this new scheme and a small power laser head in tens of microwatts is sufficient for exposure and phase locking, which results in a relatively low-cost system compared with the heterodyne system. More importantly, the accuracy of the system is at a high level as well as having robustness to environmental fluctuation. The experiment results show that the short-time（4 s） accuracy of the system is 0.0481 rad e3σT at present. Moreover, the phase of the interference pattern can also be set arbitrarily to any value with a high accuracy in a relatively large range, which indicates that the system can also be extended to the SBIL application.

关键词： locking lithography drift robustness quadrature interferometer modulator fluctuation actuator redundant

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高动态环境IMU辅助GPS捕获技术

信息与控制 2014年第1期43卷 43-48,55页

作者：单童陈帅王磊杰朱源魁南京理工大学自动化学院江苏南京210094

远程制导火箭弹这类武器,在飞行中会产生较大的多普勒频移,给GPS信号的捕获带来困难,运用IMU(惯性测量单元)辅助GPS捕获的方法可以有效解决这一问题,提高GPS信号的捕获速度.该方法针对实际应用的需求,在传统串行捕获方式的基础上,运用... 详细信息

远程制导火箭弹这类武器,在飞行中会产生较大的多普勒频移,给GPS信号的捕获带来困难,运用IMU(惯性测量单元)辅助GPS捕获的方法可以有效解决这一问题,提高GPS信号的捕获速度.该方法针对实际应用的需求,在传统串行捕获方式的基础上,运用深组合导航技术原理,将IMU的速度位置信息与星历相结合,实时解算出载体运行时产生的多普勒频移,调整载波频率.半实物仿真实验表明,该法将频率搜索范围缩小至1个频带,搜索次数仅为1次,加快了GPS接收机粗捕获速度;此外,该法还有助于载体在失锁情况下进行快速重捕,有效缩短丢星时间,进一步提高接收机的动态性能.

关键词：高动态 IMU信息快速捕获

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扫描干涉光刻机光束位姿自动准直系统设计

清华大学学报（自然科学版） 2015年第7期55卷 716-721,733页

作者：朱煜王磊杰张鸣祁利山清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室北京100084 电子科技大学机械电子工程学院成都611731

针对扫描干涉光刻机对干涉光束的高精度位姿准直需求,设计了高精度光束自动准直系统;基于该系统提出了利用每步迭代调节后的位姿实测值作为下一步迭代的起始值进行迭代准直和正交平面内位姿交替准直的光束位姿迭代准直策略,解决了迭代... 详细信息

针对扫描干涉光刻机对干涉光束的高精度位姿准直需求,设计了高精度光束自动准直系统;基于该系统提出了利用每步迭代调节后的位姿实测值作为下一步迭代的起始值进行迭代准直和正交平面内位姿交替准直的光束位姿迭代准直策略,解决了迭代过程误差积累问题和正交平面内电机耦合问题。实验结果显示:该光束自动准直系统能够实现两个位置准直精度均优于5μm和两个角度准直精度均优于3μrad,满足扫描干涉光刻机光束位姿准直精度需求。

关键词：光束自动准直迭代准直策略扫描干涉光刻机

哈尔滨地区猪源致病性大肠杆菌耐药性分析及基因分型研究

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哈尔滨地区猪源致病性大肠杆菌耐药性分析及基因分型研究

作者：王磊杰东北农业大学

学位级别：硕士

大肠杆菌病是兽医临床上常见的疾病之一，在养猪业中其主要危害包括仔猪黄痢、仔猪白痢和猪水肿病等，造成了巨大的损失。随着抗菌药物在畜牧业中的广泛及不规范使用，细菌的耐药性特别是多重耐药性问题日趋严重。与发达国家相比，... 详细信息

大肠杆菌病是兽医临床上常见的疾病之一，在养猪业中其主要危害包括仔猪黄痢、仔猪白痢和猪水肿病等，造成了巨大的损失。随着抗菌药物在畜牧业中的广泛及不规范使用，细菌的耐药性特别是多重耐药性问题日趋严重。与发达国家相比，我国大肠杆菌的耐药形式更为严峻，国内围绕大肠杆菌耐药性也做了不少研究，但多数停留在耐药性和耐药基因的检测上，对致病性大肠杆菌质粒的分析及不同地区致病性大肠杆菌的遗传相关性缺乏深入的、全面的认识。哈尔滨地区猪源致病性多重耐药大肠杆菌的流行、危害以及不同地区多重耐药性大肠杆菌的遗传相关性未见相关报道。本试验依据CLSI（2007）推荐的纸片扩散法检测了48株分离自规模化养猪场的致病性大肠杆菌对14种常用抗菌药物的耐药性，分析比较致病性大肠杆菌对各种抗菌药物的多重耐药情况和耐药率。试验结果表明：48株致病性大肠杆菌均表现为多重耐药;多重耐药菌株主要表现为3~12耐，对复方新诺明、氟苯尼考的耐药率高达89%以上，对多西环素、链霉素、链霉素、氯霉素、恩诺沙星、庆大霉素、阿莫西林/克拉维酸的耐药率都超过了50%，对阿米卡星、磷霉素、多粘菌素B相对敏感，磷霉素和多粘菌素B的耐药率仅仅只有2.1%和0。对48株大肠杆菌菌株进行了质粒图谱分析，通过碱式裂解法小量提取质粒，然后对质粒进行了琼脂糖凝胶电泳分析，并用HindⅢ限制性内切酶对质粒进行了酶切分析。结果表明：质粒获得率为100%，来源相同的菌株具有相同或相似的质粒图谱，具有一定的遗传相关性，而来源不同的菌株的质粒图谱一般不同，属于不同克隆。采用脉冲场凝胶电泳（PFGE）对48株猪源致病性多重耐药大肠杆菌进行分型研究，并将其结果与耐药表型和质粒图谱结果相比较。结果表明：48株大肠杆菌共可分为18个PFGE型别，大多数型别又可分为不同亚型。同一养殖场不同耐药表型的菌株和质粒图谱的菌株都存在PFGE图谱完全相同的现象，通过对质粒图谱和脉冲场凝胶电泳图谱的结果分析可以发现：分离自哈尔滨周边地区同一发病养猪场的大肠杆菌具有一定的遗传相关性，可能存在多重耐药大肠杆菌的克隆传播。试验结果还表明耐药表型、质粒图谱、脉冲场凝胶电泳图谱并不是完全对应关系。

关键词：致病性大肠杆菌多重耐药质粒图谱脉冲场凝胶电泳(PFGE)

同方学位论文库评论

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同方学位论文库

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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计

光学精密工程 2022年第8期30卷 938-947页

作者：王磊杰罗伟文张鸣朱煜清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 电子科技大学四川成都611731

为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍... 详细信息

为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍了扫描干涉光刻中干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统原理方案,并设计实现了恒光强外差声光移频式干涉条纹相位锁定控制系统。然后,分析了控制系统理论模型,对系统实际模型进行辨识和高阶线性拟合,并设计了系统控制器。最后,在该控制器的基础上开展了调试和条纹锁定控制。实验结果显示,开启条纹锁定控制后,100 Hz以下的低频扰动成分受到明显抑制,干涉图形相位锁定的残余误差为0.0693 rad(3σ),即相位变化小于±0.01个干涉条纹周期;光束偏移调控误差达到100μm时,干涉条纹锁定性能仍能保持稳定。该系统不仅可实现不同干涉姿态下干涉条纹的高精度锁定,还具有较大的光束调控误差裕度,满足干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的需求。

关键词：扫描干涉光刻条纹锁定外差相位测量干涉仪

维普期刊数据库博看期刊

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车辆制动性能试验台检测系统研究

车辆制动性能试验台检测系统研究

作者：王磊杰长安大学

学位级别：硕士

车辆制动性能检测系统是应用于新车研究开发的实验、新车的出厂检验和交通管理部门对上路车辆定期检验的测试装置。鉴于目前我国汽车工业的迅速发展和有关法规的出台，以及我国车辆检测站设备的落后状况，车辆制动性能检测系统的研究尤... 详细信息

车辆制动性能检测系统是应用于新车研究开发的实验、新车的出厂检验和交通管理部门对上路车辆定期检验的测试装置。鉴于目前我国汽车工业的迅速发展和有关法规的出台，以及我国车辆检测站设备的落后状况，车辆制动性能检测系统的研究尤其受到关注。车辆制动性能检测系统的研究是一门综合性应用科学，涉及诸多学科和领域。本论文的主要目标是设计一套车辆制动性能试验台检测系统，着重于计算机控制技术和虚拟仪器技术的应用，使之具备功能齐全、性能良好、性价比高、使用方便、高精度、高可靠性，以及“智能化”和“自动化”的特点。本论文首先阐述了车辆制动性能试验台检测系统研究的意义、发展和现状，并介绍了虚拟仪器技术的发展历程和趋势;详细介绍了本设计方案的机械部分、检测部分的硬件和软件设计，着重于检测部分的主要元件选择，电路设计，及上位机、下位机的程序设计。最后，本论文介绍了检测系统在PC上模拟仿真，整个系统运行正常，能够提供合理准确的数据结果，证明了设计方案的可行性，为设计技术人员提供了参考。

关键词：车辆制动性能检测数据采集虚拟仪器单片机 USB总线