检索结果-南通市图书馆

采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析

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Journal of Semiconductors 1997年第3期18卷 212-217页

作者：张健沈德新王渭源中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室上海200050

本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还... 详细信息

本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．

关键词：半导体微电子机械学压电超声微电机固有频率

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对称体微机械电容加速度传感器的结构设计

功能材料与器件学报 1998年第2期4卷 105-113页

作者：邹强陆德仁王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础... 详细信息

描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位移天平测试方法，初步测量了加速度计结构的静态特性。

关键词：微机械加速度传感器电容式结构设计

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小如蚂蚁

As^+、Si^+双注入GaAs瞬态退火的行为

作者：王渭源

来源：南通市图书馆图书评论

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Journal of Semiconductors 1989年第3期10卷 230-232页

作者：范伟栋王渭源中国科学院上海冶金研究所

研究了不同能量、剂量As^+、Si^+双注入于SI GaAs中,As^+注入对注Ss^+有源层的影响.首次给出了双注入样品瞬态退火后有源层的激活率和载流子迁移率,退火前后材料的沟道谱.实验表明,As^+、Si^+双注入样品比Si^+单注入样品在较低退火温度... 详细信息

研究了不同能量、剂量As^+、Si^+双注入于SI GaAs中,As^+注入对注Ss^+有源层的影响.首次给出了双注入样品瞬态退火后有源层的激活率和载流子迁移率,退火前后材料的沟道谱.实验表明,As^+、Si^+双注入样品比Si^+单注入样品在较低退火温度下就能激活Si^+,在适当高温下能得到性能良好的有源层.

关键词：砷离子硅离子双注入瞬态退火

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金刚石薄膜选择生长技术

仪表技术与传感器 1998年第5期 11-13页

作者：王效东毛敏耀杨艺榕王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。

关键词：金刚石薄膜微马达微振子选择生长

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硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究

功能材料与器件学报 1998年第2期4卷 114-120页

作者：熊幸果邹强陆德仁王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出优化的结构参数。本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容... 详细信息

提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出优化的结构参数。本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容。这种结构的传感器对界面电路的要求较低，更便于制出集成化处理电路。

关键词：微机械静电键合加速度传感器电容式

压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析

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功能材料与器件学报 1997年第2期3卷 95-102页

作者：张健沈德新王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件，定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了ＲａｙｌｅｉｇｈＲｉｔｚ方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲... 详细信息

压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件，定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了ＲａｙｌｅｉｇｈＲｉｔｚ方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。

关键词：固有频率压电超声微电机微电机多层膜

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微电子机械系统进展和趋势

功能材料与器件学报 1996年第3期2卷 129-136页

作者：王渭源鲍敏杭中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室复旦大学电子工程系

本文对微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了ＭＥＭＳ进... 详细信息

本文对微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了ＭＥＭＳ进一步发展的趋势和提出了我国发展ＭＥＭＳ的意见。

关键词：微电子机械系统微机械 MEMS器件

异质结绝缘栅场效应晶体管(HIGFETs)高场区静态特性模型和栅泄漏电流研究

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Journal of Semiconductors 1990年第12期11卷 922-930页

作者：顾聪王德宁王渭源中国科学院上海冶金研究所

本文在改进型电荷控制模型基础上,结合GSW速度场特性,提出了适用于HIGFETs器件的新的高场区(I_D>I_(Ds))的静态特性模型,从而导出了I-V,I_(Ds)-V_(Ds),g_(ms),g_D和C_G等参数的解析表示式。计算结果和文献实测值符合甚好。在此基础上,... 详细信息

本文在改进型电荷控制模型基础上,结合GSW速度场特性,提出了适用于HIGFETs器件的新的高场区(I_D>I_(Ds))的静态特性模型,从而导出了I-V,I_(Ds)-V_(Ds),g_(ms),g_D和C_G等参数的解析表示式。计算结果和文献实测值符合甚好。在此基础上,本文还提出了栅泄漏等效电路模型,对其起因和影响因素,及其对g_(ms),g_D及C_G的影响,以及降低其影响的途径等进行了讨论。计算结果与实测值也较符合。

关键词： HIGFETs 静态模型栅泄漏电流