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重掺硅片表面APCVD法生长SiO薄膜的致密性

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半导体技术 2024年

作者：史延爽王浩铭田原张旭武永超中国电子科技集团公司第四十六研究所

在硅片加工过程中，金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流，甚至直接导致pn结禁带宽度变窄，为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象，通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO2薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 ... 详细信息

在硅片加工过程中，金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流，甚至直接导致pn结禁带宽度变窄，为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象，通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO2薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 cm)n型硅片表面生长SiO2薄膜，首先研究不同沉积温度、SiH4和O2的体积流量比对沉积速率和SiO2薄膜致密性的影响，进一步探究了不同退火温度对SiO2薄膜致密性的影响，以期获得致密性较高的SiO2薄膜。采用HF腐蚀速率法表征其致密性，采用扫描电子显微镜(SEM)观察SiO2薄膜的表面形貌，采用F50膜厚测试仪测试SiO2薄膜的厚度。结果表明，沉积温度为400 ℃，SiH4和O2的体积流量比为1:10，退火温度为1 100 ℃时，制备出的SiO2薄膜的致密性为0.096 nm/s(采用体积分数为1%的HF腐蚀)。

关键词：常压化学气相沉积(APCVD)法 SiO 薄膜致密性自掺杂沉积速率

重掺硅片表面APCVD法生长SiO_(2)薄膜的致密性

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半导体技术 2024年第6期49卷 544-548页

作者：史延爽王浩铭田原张旭武永超中国电子科技集团公司第四十六研究所天津300220

在硅片加工过程中,金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流,甚至直接导致pn结禁带宽度变窄,为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象,通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO_(2)薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 c... 详细信息

在硅片加工过程中,金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流,甚至直接导致pn结禁带宽度变窄,为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象,通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO_(2)薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 cm)n型硅片表面生长SiO_(2)薄膜,首先研究不同沉积温度、SiH_(4)和O_(2)的体积流量比对沉积速率和SiO_(2)薄膜致密性的影响,进一步探究了不同退火温度对SiO_(2)薄膜致密性的影响,以期获得致密性较高的SiO_(2)薄膜。采用HF腐蚀速率法表征其致密性,采用扫描电子显微镜(SEM)观察SiO_(2)薄膜的表面形貌,采用F50膜厚测试仪测试SiO_(2)薄膜的厚度。结果表明,沉积温度为400℃,SiH_(4)和O_(2)的体积流量比为1∶10,退火温度为1100℃时,制备的SiO_(2)薄膜的致密性为0.096 nm/s(采用体积分数为1%的HF腐蚀)。

关键词：常压化学气相沉积(APCVD)法 SiO_(2)薄膜致密性自掺杂沉积速率

基于特征图容量和质量提升的Efficient-BinaryNet网络

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基于特征图容量和质量提升的Efficient-BinaryNet网络

2023中国自动化大会

作者：谷迪张东波王浩铭

为了在资源受限条件下部署EfficientNet网络,本文提出对EfficientNet进行二值化改造的Efficient-BinaryNet模型。通过在骨干网络中反复堆叠包含DenseBlock和Improvement Block的模块来提升模型的特征图的容量和质量,同时引入逐点卷积跳... 详细信息

为了在资源受限条件下部署EfficientNet网络,本文提出对EfficientNet进行二值化改造的Efficient-BinaryNet模型。通过在骨干网络中反复堆叠包含DenseBlock和Improvement Block的模块来提升模型的特征图的容量和质量,同时引入逐点卷积跳跃连接防止信息丢失。此外,通过引入可学习参数,构建激活函数RSign和RPReLU,进一步增强二值权值的学习效果。在ImageNet1k数据集实验表明,在节省计算代价和提升精度方面,Efficient-BinaryN et优于目前很多先进的二值化网络模型。

关键词：二值化 Efficient-BinaryNet 特征图

来源： cnki会议评论

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多步攻击检测关键技术研究展望

信息安全研究 2024年第5期10卷 396-402页

作者：谢国杰张旭于洋赵程遥胡佳王浩铭蒋沐辰胡程楠浙江省数据开放融合关键技术研究重点实验室杭州310052 北京航空航天大学杭州创新研究院杭州310051

多步攻击检测技术通过分析告警日志数据,挖掘攻击场景,辅助实现高威胁攻击路径的早期发现,从而降低安全威胁风险,提高网络和信息系统的安全性.分别介绍了多步攻击检测的3种关键技术:基于告警相似性、基于告警因果知识和基于模型的多步... 详细信息

多步攻击检测技术通过分析告警日志数据,挖掘攻击场景,辅助实现高威胁攻击路径的早期发现,从而降低安全威胁风险,提高网络和信息系统的安全性.分别介绍了多步攻击检测的3种关键技术:基于告警相似性、基于告警因果知识和基于模型的多步攻击检测技术.通过比较分析,剖析了3种技术的差异.同时,还探讨了多步攻击检测技术的未来发展方向,包括与隐私计算、溯源图和因果推断等技术的融合.这些技术的融合将为网络安全提供新思路和方法,以应对不断复杂化的安全威胁.

关键词：多步攻击检测告警相似度因果知识隐私计算溯源图因果推断

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水冷永磁防爆电机十字形肋片的优化设计

黑龙江科技大学学报 2024年第1期34卷 106-111页

作者：吕品王浩铭李明军程鲁帅王凯旋翟悦琳黑龙江科技大学电气与控制工程学院哈尔滨150022

为了研究不同水冷结构对水冷永磁电机散热性能的影响,以一台水冷永磁电机为研究对象,优化十字形肋片结构对轴向“Z”字形水路,通过分析加入水道中的十字形肋片的结构参数,确定横肋的高度和数量两个影响参数,采用Workbench对电机进行三... 详细信息

为了研究不同水冷结构对水冷永磁电机散热性能的影响,以一台水冷永磁电机为研究对象,优化十字形肋片结构对轴向“Z”字形水路,通过分析加入水道中的十字形肋片的结构参数,确定横肋的高度和数量两个影响参数,采用Workbench对电机进行三维建模,获得不同横肋高度和数量下的电机各部温度分布。结果表明,对比分析电机各部分温升,得到最优冷却结构的横肋数量为3时冷却效果最佳,定子、绕组、转子和永磁体的最高温度分别下降15.32、15.41、11.24和11.24℃。

关键词：永磁电机冷却水道十字形肋片

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矿用水冷永磁防爆电机分水台优化设计

黑龙江电力 2024年第2期46卷 107-114页

作者：吕品王浩铭李莹莹商泽华程鲁帅王凯旋翟悦琳黑龙江科技大学电气与控制工程学院哈尔滨150022 辽宁电机集团大型电机有限公司辽宁抚顺113122

为研究不同冷却水道结构对永磁水冷防爆电动机冷却性能的影响,以永磁水冷防爆电动机为例,按照电机设计的步骤,通过对电机的模拟仿真,提出轴向Z字型水道分水台结构,并对永磁水冷防爆电动机水路进行优化。对电机初始模型建立三维模型,通... 详细信息

为研究不同冷却水道结构对永磁水冷防爆电动机冷却性能的影响,以永磁水冷防爆电动机为例,按照电机设计的步骤,通过对电机的模拟仿真,提出轴向Z字型水道分水台结构,并对永磁水冷防爆电动机水路进行优化。对电机初始模型建立三维模型,通过有限元多物理场计算,得到电机在额定负载下的温度分布情况,并基于传热学和流体力学,对加入轴向Z字型水道分水台的位置比例、数量2个方面展开研究。对电机进行CFD仿真模拟,利用有限元分析,得到不同情况下电机的温度分布图,结合实际情况与经济分析,得到电机分水台数量为2时冷却结构为最优解。

关键词：永磁电机电机设计冷却水道分水台有限元

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数字化技术在水务项目全产业链中的应用研究

给水排水 2023年第8期49卷 124-128页

作者：王浩铭中国市政工程东北设计研究总院有限公司长春130021

通过讨论智慧水务的研究背景及建设意义、设立建设目标,搭建全产业链数字孪生智慧管理平台。以武泰闸污水处理厂为研究对象,详细阐述数字化技术在其设计阶段、施工阶段、运维阶段的具体应用实例。数字化技术应用可提高设计及施工质量,... 详细信息

通过讨论智慧水务的研究背景及建设意义、设立建设目标,搭建全产业链数字孪生智慧管理平台。以武泰闸污水处理厂为研究对象,详细阐述数字化技术在其设计阶段、施工阶段、运维阶段的具体应用实例。数字化技术应用可提高设计及施工质量,实现智慧化运维,极大的节约工期、人工及成本。

关键词：智慧水务数字孪生数字化技术智慧化运维

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水源上移净水工程全过程数字化技术应用研究

给水排水 2023年第S1期49卷 916-919页

作者：王浩铭中国市政工程东北设计研究总院有限公司长春130021

以哈尔滨水源上移净水项目为建设案例,在设计阶段建立工程样板文件,采用数字化技术进行有限元分析,验证设计方案合理性;为减少错漏碰缺,尽量避免设计变更,从而节省工期,采用正向协同设计并进行碰撞检查;在施工阶段通过模型进行可视化设... 详细信息

以哈尔滨水源上移净水项目为建设案例,在设计阶段建立工程样板文件,采用数字化技术进行有限元分析,验证设计方案合理性;为减少错漏碰缺,尽量避免设计变更,从而节省工期,采用正向协同设计并进行碰撞检查;在施工阶段通过模型进行可视化设计交底、复杂节点施工模拟,对施工进行精细化指导;运用自主研发管理平台,对施工的进度、质量及安全进行高效管理。打通设计至运维阶段数据传递壁垒,以高品质、高质量数字化手段完成净水工程全生命周期数字化应用。

关键词：数字化技术净水厂建设设计优化精细化管控

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排泥水处理工程数字化设计研究

给水排水 2023年第S1期49卷 900-903,907页

作者：王浩铭中国市政工程东北设计研究总院有限公司长春130021

以数字化手段介入排泥水处理工程设计,以模型作为各部门、各专业项目沟通依据,打通排泥水处理工程数字化应用壁垒,完成基于模型各专业间工程提资、模型校审以及基于模型数字化模拟分析,最终解决各专业基于数字化模型出图难题,实现排泥... 详细信息

以数字化手段介入排泥水处理工程设计,以模型作为各部门、各专业项目沟通依据,打通排泥水处理工程数字化应用壁垒,完成基于模型各专业间工程提资、模型校审以及基于模型数字化模拟分析,最终解决各专业基于数字化模型出图难题,实现排泥水处理工程数字化正向设计全要素工作内容,其应用成果已获得吉林省第一届BIM大赛一等奖,中国市政协会举办市政杯BIM大赛三等奖。

关键词：污水处理厂数字化正向设计