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晶圆键合台温度均匀性提升研究

西安交通大学学报 2024年

作者：徐星宇李早阳史睿菁罗金平王成君李安华薛志平张慧张辉西安交通大学能源与动力工程学院中国电子科技集团公司第二研究所东南大学机械工程学院

-为提升集成电路用晶圆键合台的温度均匀性，以当前主流的200毫米晶圆键合台为研究对象，开展了键合台升温实验，建立并验证了键合过程三维热量传递数值模型，研究了键合台内部温度形成与分布规律，提出了能够显著提升键合台温度均匀性... 详细信息

-为提升集成电路用晶圆键合台的温度均匀性，以当前主流的200毫米晶圆键合台为研究对象，开展了键合台升温实验，建立并验证了键合过程三维热量传递数值模型，研究了键合台内部温度形成与分布规律，提出了能够显著提升键合台温度均匀性的简便有效策略。研究结果表明：加热盘内部加热丝缠绕的非中心对称分布引起键合台工作面温度的不均匀分布，在不考虑上下加热盘高低温区匹配的情况下，工作面整体温度均匀性为3.2%、径向温度均匀性为1.1 ℃；对上或下加热盘进行旋转使得两个加热盘的高低温区分布形成空间补偿，可大幅提升键合台温度均匀性。在将上加热盘逆时针匹配旋转50°后，键合台工作面的整体温度均匀性达到1.3%，径向温度均匀性达到0.3 ℃。上述研究有助于深入认识晶圆键合台内部的热量传递与温度分布规律，对于键合台的精细设计和提升键合工艺水平具有参考意义。

关键词：集成电路晶圆键合台温度均匀性数值模拟

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晶圆键合设备对准和传送机构研究综述

电子与封装 2024年第3期24卷 1-9页

作者：吴尚贤王成君王广来杨道国桂林电子科技大学机电工程学院广西桂林541004 中国电子科技集团公司第二研究所太原030024

随着微机电系统和3D集成封装的快速发展,多功能高性能器件、小体积低功耗器件、耐高温耐高压器件以及小型化高集成度器件是目前封装领域研究的重点。晶圆键合设备对于这些高性能、多功能、小型化、耐高温、耐高压、低功耗的集成封装器... 详细信息

随着微机电系统和3D集成封装的快速发展,多功能高性能器件、小体积低功耗器件、耐高温耐高压器件以及小型化高集成度器件是目前封装领域研究的重点。晶圆键合设备对于这些高性能、多功能、小型化、耐高温、耐高压、低功耗的集成封装器件的量产起着至关重要的作用,因此对晶圆键合设备及其对准机构和传送机构的研究也十分重要。介绍了常用的晶圆键合设备与晶圆键合工艺、对准机构和传送机构的工作原理以及主要的晶圆键合设备厂商现状,同时对晶圆键合设备对准和传送机构的发展趋势进行展望,其未来将朝着高精度、高对准速度、高吸附度和高可靠性的方向发展。

关键词：晶圆键合键合工艺对准机构传送机构

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晶圆键合设备中的加热盘设计

电子工艺技术 2024年第3期45卷 35-36,58页

作者：段晋胜王成君李安华中国电子科技集团公司第二研究所太原030024

介绍了晶圆键合设备的加热盘,试验分析了该机构对晶圆键合质量的影响。结果表明,优化后的加热盘显著提升了晶圆键合的温度均匀性和稳定性,进而提升了键合质量和效率。研究增进了对加热盘设计在晶圆键合设备中应用效果的理解,为提高晶圆... 详细信息

介绍了晶圆键合设备的加热盘,试验分析了该机构对晶圆键合质量的影响。结果表明,优化后的加热盘显著提升了晶圆键合的温度均匀性和稳定性,进而提升了键合质量和效率。研究增进了对加热盘设计在晶圆键合设备中应用效果的理解,为提高晶圆键合质量、推动技术创新提供了理论支撑和实践指导。

关键词：晶圆键合加热盘温度均匀性键合质量

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变速箱液压阀体性能分析与常见故障模式

汽车实用技术 2024年第5期49卷 107-110页

作者：陶朝昕王成君任良顺张帆马堃耀上汽通用五菱汽车股份有限公司广西柳州545000

阀体作为自动变速箱的核心零部件,其性能好坏直接影响到汽车的行驶质量。文章以GF6自动变速箱液压系统为例,详细介绍了阀体的压力和泄漏量两项性能指标的计算方法,并通过实际故障案例,说明了如何利用这两项指标来分析常见的变速箱液压... 详细信息

阀体作为自动变速箱的核心零部件,其性能好坏直接影响到汽车的行驶质量。文章以GF6自动变速箱液压系统为例,详细介绍了阀体的压力和泄漏量两项性能指标的计算方法,并通过实际故障案例,说明了如何利用这两项指标来分析常见的变速箱液压系统问题。文章为自动变速箱的阀体设计和阀体故障分析提供指导和参考。

关键词：自动变速箱液压系统压力特性泄漏量阀体性能

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碳基复合相变材料的研究进展

化工进展 2023年第12期42卷 6383-6398页

作者：王成君汪林强马晶孟淑娟段志英孙初锋申涛苏琼西北民族大学化工学院甘肃兰州730030 环境友好复合材料国家民委重点实验室甘肃兰州730030 甘肃省生物质功能复合材料工程研究中心甘肃兰州730030 甘肃省高校环境友好复合材料及生物质利用省级重点实验室甘肃兰州730030 四川大学空天科学与工程学院四川成都610065

相变材料(PCMs)在促进新能源开发和提高能源利用率中起着至关重要的作用,然而,单一有机相变材料的易泄漏、热导率低、光吸收弱等缺陷阻碍了其更广泛的应用和发展。为了解决这些瓶颈问题,提高热能的利用效率,具有优异性能的碳材料被用作... 详细信息

相变材料(PCMs)在促进新能源开发和提高能源利用率中起着至关重要的作用,然而,单一有机相变材料的易泄漏、热导率低、光吸收弱等缺陷阻碍了其更广泛的应用和发展。为了解决这些瓶颈问题,提高热能的利用效率,具有优异性能的碳材料被用作载体材料封装相变材料构筑形状稳定、热性能增强的复合相变材料。本文结合相关理论对碳材料强化传热机理进行了探讨,重点综述了有机相变材料在不同类型碳基材料中的研究进展和面临的挑战,介绍了近年来碳基复合相变材料在热管理、能量转换与储存、智能可穿戴纺织品及红外响应材料等领域的应用进展。最后,基于理论、数值、模拟和实验方法的结合,展望了碳基复合相变材料在热能存储、传递、转化方面未来的研究方向及其先进的多功能化应用。

关键词：相变多孔碳焓复合材料

其他运动或健身方式对霹雳舞的运动能力的联系与影响的探究

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其他运动或健身方式对霹雳舞的运动能力的联系与影响的探究

第一届陕西省体育科学大会

作者：王成君陕西理工大学

在二零二零年的十二月,国际奥委会的执行委员会通过了一项决议,在2024年的巴黎奥运会上增加了一项新的霹雳舞运动。基于布宜诺斯艾利斯青年奥林匹克运动会的成功举办经历,霹雳舞比赛是在国际奥委会的监督下由世界运动舞蹈联盟举办的,比...

在二零二零年的十二月,国际奥委会的执行委员会通过了一项决议,在2024年的巴黎奥运会上增加了一项新的霹雳舞运动。基于布宜诺斯艾利斯青年奥林匹克运动会的成功举办经历,霹雳舞比赛是在国际奥委会的监督下由世界运动舞蹈联盟举办的,比赛分为男单、女单等项目进行对决。2022年,2028年洛杉矶奥运会邀请候选霹雳舞为特有正式比赛项目。[1]霹雳舞,英文名为"BREAKING",是一种街舞种类。2013年,中国舞蹈家协会街舞委员会的成立,标志着街舞逐渐走上了正规化和专业化的道路,而现在,霹雳舞已经成为了一项真正意义上的竞技性运动,即将成为一项真正意义上的竞技运动。所以,本论文将会讨论运用到很多其它体育项目中,与霹雳舞在运动内容和训练方法上所发生的许多关联和影响。为今后霹雳舞运动在我国的发展起到推动作用。随着霹雳舞运动的兴起全国各地大大小小的霹雳舞比赛和演出逐渐兴盛,需要大量的高质量霹雳舞运动员及演员参与其中,而在其中音乐性、表现性等评分和参考因素中需要极高的身体素质能力以及突出的个人风格作为支撑。本文采用文献调研法、录像观测法,调查法,实验法等,并选择陕西理工大学霹雳舞队和汉中市霹雳舞理事会10余名霹雳舞学员以及作者本人作为参考,发现利用许多其他运动项目与霹雳舞运动内容或训练方式有着诸多联系,并对霹雳舞运动员以及霹雳舞爱好者的训练表现和运动能力产生诸多影响。研究发现采用瑜伽为霹雳舞专项外的一种训练方式,这可以有效提高他们的身体控制性、柔韧和心肺耐力。体操的训练可以综合提升运动员或爱好者的综合能力,并且竞技体操的许多项目对于霹雳舞运动员身体素质和技巧元素有非常多的积极作用。武术练习者动作极有力度和爆发力,动作内容极具观赏性,风格非常有独特性,无论是霹雳舞运动员或爱好者以武术作为自己的一项练习方法还是从武术运动员中选取霹雳舞运动员对提高中国霹雳舞的竞争力和增强国内霹雳舞项目水平或许是一种很好的方式。健身可以明显提高运动员的身体素质,但不同的健身方式对于身体的影响也不同,因此从器械健身、徒手健身、Crossfit几种健身方式展开对霹雳舞有怎样不同的影响。

关键词：

来源： cnki会议评论

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导数法在高中数学解题中的应用

数理天地（高中版） 2023年第15期 12-13页

作者：王成君山东省邹平市第二中学 256200

在高中数学教学中,导数是重要的知识内容,具有抽象性的特点,学生学习与理解的难度较大.在教学中,如果一味采取传统的教学模式,会影响课堂教学效果.因此,教师应当重视导数教学,帮助学生掌握导数定义,结合相应的导数例题,明确导数问题的类... 详细信息

在高中数学教学中,导数是重要的知识内容,具有抽象性的特点,学生学习与理解的难度较大.在教学中,如果一味采取传统的教学模式,会影响课堂教学效果.因此,教师应当重视导数教学,帮助学生掌握导数定义,结合相应的导数例题,明确导数问题的类型,展示相应的解题方法,提高学生导数解题能力.

关键词：导数法高中数学解题策略

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课程思政融入“化工专业英语”课程教学

西部素质教育 2022年第15期8卷 16-18页

作者：段志英王成君苏琼孙初锋西北民族大学化工学院甘肃兰州730030

文章首先阐述了课程思政融入“化工专业英语”课程教学的必要性和重要性,然后分析了课程思政融入“化工专业英语”课程教学的现状,最后提出了课程思政融入“化工专业英语”课程教学的措施。

关键词： “化工专业英语”课程教学课程思政思政素养

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清棉工序有关工艺点棉样梳理力的测试与探讨

棉纺织技术 1999年第11期27卷 15-17页

作者：王成君青岛大学

通过对清棉工序有关工艺点棉样在梳棉机上梳理力的测试 ,找出了各工艺点纤维梳理力的均值、CV %值等数项指标的变化规律。测试表明 :在清棉工序 ,纤维梳理力的衰减速度在头三道单机上比在后几道单机上要快得多 ,这间接地说明了头几道单... 详细信息

通过对清棉工序有关工艺点棉样在梳棉机上梳理力的测试 ,找出了各工艺点纤维梳理力的均值、CV %值等数项指标的变化规律。测试表明 :在清棉工序 ,纤维梳理力的衰减速度在头三道单机上比在后几道单机上要快得多 ,这间接地说明了头几道单机对纤维的开松效率要远大于后几道单机 ,清棉工序对纤维的开松作用主要是在前几道单机上完成的。

关键词：开松度梳理力测试清棉工序梳棉机