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压电变压器研究的最新进展

固体电子学研究与进展 2006年第2期26卷 264-268页

作者：余厉阳董树荣王德苗浙江大学信息工程学院杭州310027

从基本物理原理入手,介绍了压电变压器的工作机理;列出了典型的压电变压器,结合器件设计方法,详细分析了不同压电变压器的特点和使用领域。在此基础上,提出微型压电变压器这一发展方向,并简单分析了所面临的问题。

关键词：压电变压器等效电路图高压发生器功率器件

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薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真

浙江大学学报（工学版） 2006年第9期40卷 1477-1481页

作者：董树荣金浩王德苗浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027

为了模拟薄膜声体波谐振器(FBAR)的电磁场(EM)分布特性,提出了一种新的FBAR建模方法.该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发,结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件,推导出了FBAR等效复介电常数... 详细信息

为了模拟薄膜声体波谐振器(FBAR)的电磁场(EM)分布特性,提出了一种新的FBAR建模方法.该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发,结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件,推导出了FBAR等效复介电常数的严格解.将电磁场和声场等效到一个复介电常数中,用等效复介电常数的形式来包含电声效应.并基于有限元方法对FBAR全波段进行了仿真.结果表明,该方法的仿真结果与实测数据基本一致,具有很好的准确性.与传统的电路模型比较,由该方法得到的模型能够实现场的不连续仿真和FBAR的电磁场分布与压电效应的实时仿真.

关键词：声体波射频谐振器电磁场建模介电常数

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射频溅射制备镁钙微波陶瓷薄膜的研究

浙江大学学报（工学版） 2005年第3期39卷 449-452页

作者：董树荣王德苗金浩浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027

制备了膜层质量良好的镁钙微波介质陶瓷(MCT)薄膜.采用高密度等离子体射频溅射法在(110)二氧化硅上沉积了MCT陶瓷薄膜.研究结果表明: 薄膜态MCT陶瓷具有和块状材料相近的微波介电特性,MCT薄膜的介电常数在20左右,品质因子在23 THz左右;... 详细信息

制备了膜层质量良好的镁钙微波介质陶瓷(MCT)薄膜.采用高密度等离子体射频溅射法在(110)二氧化硅上沉积了MCT陶瓷薄膜.研究结果表明: 薄膜态MCT陶瓷具有和块状材料相近的微波介电特性,MCT薄膜的介电常数在20左右,品质因子在23 THz左右;溅射气体的氩氧混合体积比会明显影响薄膜膜层质量及其介电特性,氧分压的变化改变了八面体C轴长度,使晶格畸变和八面体向四面体转变;溅射功率和退火工艺温度也会影响薄膜质量.

关键词：微波介质陶瓷 MCT 介质薄膜射频溅射

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微波线性相位环状微带滤波器

固体电子学研究与进展 2005年第2期25卷 215-218页

作者：陈炜王德苗金浩董树荣浙江大学信息与电子工程学系杭州310027

介绍了一种结构新颖、插入损耗小,且具有优异线性相位的环状微带线滤波器。该滤波器采用数个环形谐振器平行耦合,而输入输出馈线与环形谐振器之间采用直接耦合。文中列举了中心频率为8.6GHz的三环、四环和五环三种不同的滤波器,并对其... 详细信息

介绍了一种结构新颖、插入损耗小,且具有优异线性相位的环状微带线滤波器。该滤波器采用数个环形谐振器平行耦合,而输入输出馈线与环形谐振器之间采用直接耦合。文中列举了中心频率为8.6GHz的三环、四环和五环三种不同的滤波器,并对其进行了仿真模拟和结果比较。

关键词：微波环形谐振器线性相位微带滤波器

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横横式压电变压器的理论建模

压电与声光 2006年第4期28卷 420-422页

作者：余厉阳董树荣王德苗杭州电子科技大学电子信息学院浙江杭州310008 浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027

与传统的电磁变压器相比,压电变压器具有高升压、无电磁污染等特点。由于压电变压器的工作原理复杂,除了Rosen型压电变压器,对于其他压电变压器的理论研究较少。对一种驱动部分以及发电部分都是横场模式的横横式压电变压器进行了理论研... 详细信息

与传统的电磁变压器相比,压电变压器具有高升压、无电磁污染等特点。由于压电变压器的工作原理复杂,除了Rosen型压电变压器,对于其他压电变压器的理论研究较少。对一种驱动部分以及发电部分都是横场模式的横横式压电变压器进行了理论研究。从Mosen等效电路出发,利用泰勒展开,建立了能反映压电变压器实际工作情况的集总式等效电路图;并在此基础上,给出了一种只用机械品质因数Qm、电学品质因数Qe及机电耦合系数k三个量来表征变压器电学性能的方法。由于Qm、Qe、k的测量方法早已标准化,尺寸、负载对变压器的影响可归结为Qe对电学性能的函数,因此有望简化设计过程。

关键词：压电变压器横场模式等效电路电学品质因数机械品质因数机电耦合系数

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敏感陶瓷表面溅射金属化研究

真空科学与技术学报 2014年第9期34卷 896-899页

作者：王文婷王德苗浙江大学信息科学与电子工程系杭州310027 浙江大学昆山创新中心先进电子专用设备研发中心昆山215300 苏州求是真空电子有限公司昆山215300

以负温度系数(NTC)热敏陶瓷为例,采用直流磁控溅射技术在陶瓷表面制备了过渡层+阻挡层+焊接层的复合溅射膜电极,其中Ni-V薄膜作为过渡层兼阻挡层,Ag作为焊接层。并对NTC热敏陶瓷的各项电性能,电极的结合力等进行了测试,采用扫描电镜、... 详细信息

以负温度系数(NTC)热敏陶瓷为例,采用直流磁控溅射技术在陶瓷表面制备了过渡层+阻挡层+焊接层的复合溅射膜电极,其中Ni-V薄膜作为过渡层兼阻挡层,Ag作为焊接层。并对NTC热敏陶瓷的各项电性能,电极的结合力等进行了测试,采用扫描电镜、能量色散X射线谱等技术研究了溅射膜电极的作用机理和微观形貌。实验结果表明:Ni能与NTC热敏陶瓷产生良好的欧姆接触,并提高了电极层与陶瓷表面的附着力,而且Ni膜能够有效阻挡Ag扩散进入陶瓷体内,避免了烧银电极中Ag向瓷体内扩散的缺点,同时Ni还能很好地耐受高温无铅焊锡的溶蚀,保证焊接质量。

关键词：磁控溅射负温度系数热敏陶瓷电极附着力

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在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究

真空科学与技术学报 2009年第4期29卷 431-434页

作者：苏达王德苗王伟华浙江大学信息与电子工程系杭州310027

显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展,低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势。本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺,其最低方块电阻为5Ω,电阻率为2.5×10-4Ω.cm,透光率为92%,... 详细信息

显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展,低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势。本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺,其最低方块电阻为5Ω,电阻率为2.5×10-4Ω.cm,透光率为92%,远远优于未采用紫外辐照制备的柔性ITO薄膜。我们用四探针测试仪、分光光度计、原子力显微镜、X射线衍射仪等测试仪器,对未采用和采用在线紫外辐照制备的薄膜进行测试,分析探讨了紫外线辐照对薄膜的光电性能、表面形貌和生长取向的影响。研究结果表明:在紫外线的照射下,ITO薄膜表面形貌得到改善,晶界缺陷减少,生长更均匀,致密度更好,在降低薄膜电阻率的同时,提高了薄膜在可见光区的透射率,在紫外辐照下,ITO薄膜更趋于〈222〉的择优取向,且平均晶粒尺寸变大,结晶度提高,宏观表现为薄膜的电阻率降低。

关键词：柔性ITO 磁控溅射在线紫外辐照光电性能

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SnO_2膜导电玻璃性能的研究

材料科学与工程 2002年第1期20卷 72-74页

作者：朱月秀王德苗温州大学信息科学与工程学院浙江温州325027 浙江大学信电系浙江杭州310027

采用喷镀法制备SnO2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2 膜的形貌与导电性能 ,并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明 :SnO2 膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体 ,在可见... 详细信息

采用喷镀法制备SnO2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2 膜的形貌与导电性能 ,并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明 :SnO2 膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体 ,在可见光范围内透光率达

关键词： SnO2膜谱图分析透光率热稳定性导电玻璃喷镀法二氧化锡膜

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PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究

功能材料 2014年第23期45卷 23152-23156页

作者：何梅徐晓冯斌王德苗金浩浙江大学信息与电子工程学系杭州310027 昆山万丰电子有限公司江苏昆山215313 浙江大学昆山创新中心先进电子专用设备研发中心江苏昆山215300 苏州求是真空电子有限公司江苏昆山215300

采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与"丝网印刷银浆再高温烧结"(简称"丝印烧结")金属化工艺进行了比较。研究结果表明,用溅射金... 详细信息

采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与"丝网印刷银浆再高温烧结"(简称"丝印烧结")金属化工艺进行了比较。研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以Ti/Cu/Ag膜系为最佳,最大抗拉强度达到13.5 MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0.7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4,另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准,各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺,具有全过程无污染、生产成本低、可控性强,适合于产业化生产等优点,可以取代丝印烧结工艺。

关键词： PZT 蜂鸣片磁控溅射复合电极电性能