检索结果-南通市图书馆

磁控溅射不同晶粒度铜靶表面形貌及溅射性能研究

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

磁控溅射不同晶粒度铜靶表面形貌及溅射性能研究

作者：王帅康太原理工大学

学位级别：硕士

近年来,以集成电路为主要方向的半导体相关产业得到了较快的发展。集成电路电路技术的进步离不开半导体制造工艺的逐步改进,而磁控溅射技术作为半导体生产制造中的重要环节,其工艺需要不断的完善。靶材作为磁控溅射薄膜的主要物质来源,... 详细信息

近年来,以集成电路为主要方向的半导体相关产业得到了较快的发展。集成电路电路技术的进步离不开半导体制造工艺的逐步改进,而磁控溅射技术作为半导体生产制造中的重要环节,其工艺需要不断的完善。靶材作为磁控溅射薄膜的主要物质来源,其性能直接影响所镀薄膜的质量。如何通过改变靶材的性能来影响溅射性能乃至镀膜的质量,一直是真空镀膜领域关注的焦点。靶材的生产具有多种技术指标,而有关靶材各个指标与靶材溅射性能以及所镀薄膜沉积性能之间关系的研究尚不充分,且单一的指标很难与复杂的溅射与薄膜过程产生直接的联系,这是靶材研究的主要难点。本文针对不同晶粒度及表面形貌的铜靶以及铜试块,研究了靶材晶粒度对溅射形貌、溅射时靶电压、溅射产额乃至薄膜的厚度分布及结晶情况的影响,探究了铜原始表面与溅射过程中的表面形貌及其变化之间的关系,建立了靶表面形貌和溅射性能之间关系,为靶材生产过程中晶粒大小以及表面粗糙度的选择提供依据。研究发现靶材晶粒度会显著影响靶表面的溅射形貌以及粗糙度,30μm靶材溅射形貌粗糙度为5.6μm,表面较为致密,150μm的靶材溅射形貌粗糙度为8.5μm,且更疏松。而且,靶材表面的形貌会明显影响溅射时相同靶电流下的靶电压乃至I-V特性曲线。靶材原始表面轮廓的平均峰间距越小的靶具有越高的靶电压,当平均峰间距为27.2μm时,靶电压为490 V,当平均峰间距为100.0μm时,靶电压为420 V,这是因为平均峰间距越小,靶表面对Ar轰击产生的二次电子的再补获作用越强,实际出射靶表面的二次电子产额越低,需要更高的靶电压来维持相同的靶电流。研究还发现靶表面晶粒的溅射机理主要为晶界优先溅射。靶表面晶粒的初始溅射主要发生在晶界,形成晶粒周围的溅射刻蚀斜坡,随着溅射晶界逐渐向晶内扩展,最后晶界刻蚀形成的斜坡面相交于一点,形成锥形凸起。继续溅射刻蚀,凸起的体积将继续减少,直至消失并露出下方晶粒。靶的原始表面形貌也会影响靶的溅射过程。对于原始磨削表面,由于表面缺陷较多,溅射后表面形成大量的凸起,这些凸起需要相对较长时间的400 s溅射才能刻蚀至基本消失,使毛胚铜块的磨削表面变为充分溅射的形貌。对于抛光的铜试块,溅射后表面只形成少量的细小凸起,这些凸起只需较短时间的150 s溅射就能完全被刻蚀而消失,形成和磨削表面被充分溅射之后相同的溅射形貌。在不同晶粒度和表面粗糙度的靶材的镀膜研究中,发现靶材晶粒度对溅射产额的影响较小,且主要通过影响相同靶电流下的靶电压来影响溅射产额。靶材晶粒度对薄膜厚度分布的影响较大,理想的平直靶表面在基片正对靶中心的位置沉积率最高,但实际镀膜中由于靶溅射表面轮廓起伏较大,在此位置沉积率并不一定最高,但基本符合理想平直靶的沉积位置偏心距越大沉积率越低的规律。所镀薄膜的结晶情况与薄膜厚度关系不大,而与沉积的位置有关,偏流越小的位置薄膜晶粒越小。

关键词：磁控溅射靶材表面形貌靶电压溅射过程薄膜厚度分布

基于SystemVue的相控阵通信系统性能分析及仿真平台设计

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于SystemVue的相控阵通信系统性能分析及仿真平台设计

作者：王帅康西安电子科技大学

学位级别：硕士

由于相控阵天线具有扫描速度快、易共形等优点,被广泛应用于军用雷达、国防通讯、无人机等军事领域和移动通信、超声探测等商用领域。相比无源相控阵,有源相控阵是指在每一个天线收发通道中都包含独立的接收/发射组件,即与天线单元相连... 详细信息

由于相控阵天线具有扫描速度快、易共形等优点,被广泛应用于军用雷达、国防通讯、无人机等军事领域和移动通信、超声探测等商用领域。相比无源相控阵,有源相控阵是指在每一个天线收发通道中都包含独立的接收/发射组件,即与天线单元相连的收发链路中包括低噪声放大器、功率放大器等有源器件,这些器件的性能参数将直接影响相控阵通信系统的信号质量,因此针对相控阵通信系统进行性能分析具有重要的实际意义。本文首先实现了相控阵通信系统仿真平台设计,然后重点研究了发射机中可能存在的通道误差和功率放大器非线性特性对系统性能的影响,最后对功率放大器的非线性失真补偿技术展开了深入研究。主要内容概括如下:1.设计了相控阵通信系统仿真平台。首先利用System Vue搭建了相控阵收发链路,重点研究了相控阵发射链路中各模型设计,主要包括天线单元、衰减器、功率放大器、移相器、功率分配网络和源端口等。从方向性系数等角度通过理论计算与试验仿真进行对比验证了设计的可行性。在此基础上,搭建了相控阵通信系统仿真平台,从系统误比特率角度通过理论计算与试验仿真进行对比验证了设计的正确性。2.完成了相控阵通信系统性能分析。首先针对相控阵链路中可能存在的通道误差,如幅度误差、相位误差和阵元失效等建立了数学模型,理论推导了误差模型的统计特性,利用蒙特卡洛方法分析通道误差对系统性能的作用机制,仿真结果验证了理论推导的正确性。其次,深入研究了射频功率放大器非线性特性,包括谐波失真、交调失真、AM/AM失真、AM/PM失真等对通信系统传输信号和系统性能的影响机制。仿真结果表明,功放的非线性失真将导致带内信号失真和带外频谱扩展。3.研究了数字预失真技术及其仿真实现。为补偿功率放大器非线性特性,本文采用记忆多项式的数字预失真技术进行线性补偿,提出了一种结构简单的数字预失真实现方案,通过基于QR分解的最小二乘算法训练得到数字预失真参数,最终设计出基于相控阵的数字预失真系统。仿真结果表明,相比无预失真时,记忆多项式预失真处理后的相邻信道功率比下降了22d B左右,在高信噪比时,记忆多项式预失真处理后的系统误比特率改善了两个数量级,功率放大器线性度得到了明显改善。

关键词：相控阵通信系统通道误差功放非线性数字预失真

基于CNFET电路段内关键门的全局布局算法

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

计算机辅助设计与图形学学报 2024年第3期36卷 464-472页

作者：田康林赵康北京邮电大学理学院北京100876 北京邮电大学集成电路学院北京100876

针对传统硅基电路布局算法在碳纳米管(CNT)密度变化的碳纳米管场效应晶体管(CNFET)电路上表现出时序良率不高的问题,提出一种基于段内关键门的全局布局算法.首先自底向上逐级分析电路各个层级,依次建立门延迟、门树延迟模型,在此基础上... 详细信息

针对传统硅基电路布局算法在碳纳米管(CNT)密度变化的碳纳米管场效应晶体管(CNFET)电路上表现出时序良率不高的问题,提出一种基于段内关键门的全局布局算法.首先自底向上逐级分析电路各个层级,依次建立门延迟、门树延迟模型,在此基础上结合CNFET电路相关矩阵建立包含延迟均值和方差的段统计延迟模型;然后通过理论分析确定时序良率与段的统计延迟之间的相关关系;最后利用CNFET电路不对称空间相关性,使用网格搜索策略不断迭代调整段内关键门位置,以降低段延迟.在OpenCores中4个测试电路上的实验结果表明,所提算法平均提高了20%的电路时序良率,在执行时间上比CNT密度变化感知的基准方法降低25%,揭示了其在高时序良率要求的大规模电路中应用的潜力.

关键词：碳纳米管碳纳米管场效应晶体管不对称空间相关性全局布局算法

深部软岩巷道围岩扩容与流变特性模拟研究及应用

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

煤炭学报 2023年第1期48卷 15-33页

作者：康红普伊康中煤科工开采研究院有限公司北京100013 煤炭资源高效开采与洁净利用国家重点实验室北京100013 太原理工大学矿业工程学院山西太原030024

深部软岩回采巷道围岩劣化、扩容和流变效应显著。基于增量塑性流动理论和流变理论,将改进伯格斯体、改进黏塑性体和应变软化塑性体串联建立了BVS模型,可描述围岩应变软化、塑性扩容、蠕变三阶段、稳定与非稳定蠕变、流变损伤和流变扩容... 详细信息

深部软岩回采巷道围岩劣化、扩容和流变效应显著。基于增量塑性流动理论和流变理论,将改进伯格斯体、改进黏塑性体和应变软化塑性体串联建立了BVS模型,可描述围岩应变软化、塑性扩容、蠕变三阶段、稳定与非稳定蠕变、流变损伤和流变扩容6个力学特性。推导了该模型的三维增量本构方程,并开发出可供FLAC3D调用的数值形式。结合三维增量本构方程导出的参数辨识公式和中煤能源新集口孜东煤矿岩样试验数据,辨识了BVS模型的19个输入参数,并采用试验数据、理论解和数值计算结果相互印证的方式,对多种加载条件下单元件应力-应变响应、力学特性和模型整体进行严格校核。将BVS模型用于口孜东煤矿121302运输巷进行数值模拟计算,结果表明:掘进扰动较弱;流变期间围岩大范围持续劣化,呈顶板下沉量较小、巷帮锚固体整体内移和剧烈底臌的特点;回采影响强烈,使围岩大范围劣化,巷道断面强烈变形。底板泥岩持续臌起驱动不断扩容的底煤挤入巷道空间是发生剧烈底臌的主要原因;底板深度1.5 m处流变直接导致的软化参量全程仅占比0~16%,但流变损伤引起应力调整,间接导致软化参量增大。将数值模拟计算结果与井下实测数据进行了对比分析,表明BVS模型基本能反映深部软岩回采巷道围岩变形与破坏规律,但是2者还存在较大差异,仍需进一步完善BVS模型。

关键词：深部软岩巷道 BVS模型围岩劣化应变软化扩容流变损伤

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

人类移动数据生成方法:研究进展与趋势探讨

地球信息科学学报 2024年第4期26卷 831-847页

作者：刘康中国科学院深圳先进技术研究院深圳518055

人类移动行为与交通、传染病、安全应急等现实应用息息相关。尽管现代信息和通信技术发展使得采集大规模个体移动定位数据成为易事,但涉及个人隐私又存在冗余、缺失和噪声的原始轨迹数据在实际中的可得性和易用性仍有很大局限。通过建... 详细信息

人类移动行为与交通、传染病、安全应急等现实应用息息相关。尽管现代信息和通信技术发展使得采集大规模个体移动定位数据成为易事,但涉及个人隐私又存在冗余、缺失和噪声的原始轨迹数据在实际中的可得性和易用性仍有很大局限。通过建模方式生成个体轨迹数据和群体移动数据,使其在统计层面接近并在应用层面可替代真实数据,是值得尝试的解决思路。本文面向个体轨迹数据生成和群体移动数据生成两大研究主题,将生成方法分为基于机理模型的方法和基于机器学习的方法,对其研究进展进行了系统总结,并探讨了其发展趋势和所面临的挑战。本文提出,未来人类移动数据生成方法研究需要多学科深度交叉共同探索人类移动行为底层机制、关注机理模型与机器学习耦合建模、借助生成式人工智能与大语言模型前沿技术、平衡生成数据可用性与隐私保护效果、强调空间泛化与迁移学习能力、控制模型训练与使用成本等。本文认为,人类移动过程是典型的人地交互过程,地理信息科学应在吸纳计算机科学、统计物理学、复杂性科学等多学科理论方法的基础上,充分发挥本学科特色,将空间依赖、距离衰减、空间异质性、尺度等地理空间效应显式纳入建模过程,提升模型性能及合理性。

关键词：人类移动数据合成数据轨迹生成机器学习机理模型生成式人工智能隐私保护地理空间人工智能

巴黎和会时期北京政府索赔决策的转变:从参与到退出

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

人文杂志 2023年第7期 118-128页

作者：韩康康湖南师范大学历史文化学院

第一次世界大战期间,中国因日德在山东的战事损失严重。对德宣战后,中国政府获得了对战败国索赔的资格。北京政府为寻求和会索赔,在各个时期做了很多努力。日德战事后,政府内部已有向战后和会寻求解决的想法;对德宣战后,又正式提出战后... 详细信息

第一次世界大战期间,中国因日德在山东的战事损失严重。对德宣战后,中国政府获得了对战败国索赔的资格。北京政府为寻求和会索赔,在各个时期做了很多努力。日德战事后,政府内部已有向战后和会寻求解决的想法;对德宣战后,又正式提出战后对德索赔的诉求,并积极筹备和会索赔,包括设立战时会计处、战时损失调查处,统计各项损失;同时,依据赔偿委员会的指示厘定债务、清理敌产。为保和会顺利取偿,北京政府以“联美外交”作为和会交涉的主要方针,并在和会交涉中与美国代表保持一致。然而随着山东问题的失败以及和会赔偿在担保、划分上的偏离,北京政府对和会取偿甚为失望,并最终决定退出和会赔偿。

关键词：第一次世界大战巴黎和会北京政府索赔

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于深度强化学习的无人机自主降落方法研究

基于深度强化学习的无人机自主降落方法研究

作者：王帅康哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

为了保证无人机的操作简便与解放人力的目标,提高为多旋翼无人机提供长期任务所需的自主水平,无人机在完成既定作业之后在回收平台上的自主降落操作就成为了研究的热点问题。由于回收平台大多是机动的,无人机移动平台上的自主降落成为... 详细信息

为了保证无人机的操作简便与解放人力的目标,提高为多旋翼无人机提供长期任务所需的自主水平,无人机在完成既定作业之后在回收平台上的自主降落操作就成为了研究的热点问题。由于回收平台大多是机动的,无人机移动平台上的自主降落成为了亟待解决的问题。本文的主要目的是通过机器学习机制来控制无人机解决其在地面移动平台的降落问题。针对现实世界中无人机学习训练的可重复性差和高危险性的问题,采用Parrot公司的Bebop2作为无人机单元并使用该公司的Sphinx环境下进行模拟,搭建了一套基于Gazebo-Parrot和ROS的无人机学习模拟仿真平台,该平台在Ubuntu/Linux操作系统下运行。通过该平台,实现了无人机在仿真环境下的学习训练,解决了实物训练的可重复性差和危险性高的问题。本文同时对深度强化学习算法的发展背景以及其中的部分算法的具体原理和其中的详细细节进行了具体的阐述,分析了各个算法的优缺点以及如何选择和应用深度强化学习算法在无人机在移动平台降落的具体任务目标上。针对平台和UAV的互相感知,本文提出了两类具有高可操作特点的方案:外部辅助和机器视觉。其中外部辅助在仿真中由Gazebo模拟器来替代,并对机器视觉方案进行了理论论证和细节说明,用以解决现实世界中可能不存在外部设备来提供降落相关数据的问题。同时,根据平台的不同移动条件,本文设计了四种不同状态条件的移动平台并设计了传统控制器来和学习算法进行对比。由于在仿真程度较高,物理引擎完备的Gazebo平台下进行模拟,本方案同时具有较强的现实世界操作的可移植性。

关键词：深度强化学习无人机自主降落移动平台 Gazebo＆ROS仿真

多因素约束的低孔渗基质砂岩气藏测试生产压差模型

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

上海交通大学学报 2023年第S01期57卷 30-36页

作者：邱康中石化海洋石油工程有限公司上海200120

选择合理的地层测试生产压差时,一般需要考虑井下安全、管柱安全、施工效率等多方面因素.对于低孔渗基质砂岩而言,还需要考虑尽可能地解除近井地带污染、减少应力敏感性和储层伤害等,以获得更高、更准确的产能数据.针对上述要求,在研究... 详细信息

选择合理的地层测试生产压差时,一般需要考虑井下安全、管柱安全、施工效率等多方面因素.对于低孔渗基质砂岩而言,还需要考虑尽可能地解除近井地带污染、减少应力敏感性和储层伤害等,以获得更高、更准确的产能数据.针对上述要求,在研究基质砂岩储层敏感性的基础上,分析了考虑应力敏感性后井周渗流场和应力场的变化,并从井壁稳定、侵入物返排、产能约束3个方面建立了多因素约束的低孔渗基质砂岩气藏测试生产压差模型.现场应用结果表明,该模型能够较好地指导低孔渗基质砂岩气藏测试生产压差的选择,可为测试压差的设计提供理论基础.

关键词：低孔渗基质砂岩测试生产压差应力敏感性井壁稳定产能约束

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

钛合金锯齿形切屑几何表征及根切实验研究

钛合金锯齿形切屑几何表征及根切实验研究

作者：王帅康大连理工大学

学位级别：硕士

锯齿形切屑是高速切削条件下典型的切屑形态,其形成过程中切削力的高频波动,将会影响工件表面粗糙度和刀具寿命。然而,锯齿形切屑形成过程及机理尚未形成统一的观点,且锯齿形切屑几何表征的测量计算方法尚不统一,几何表征的变化规律亦... 详细信息

锯齿形切屑是高速切削条件下典型的切屑形态,其形成过程中切削力的高频波动,将会影响工件表面粗糙度和刀具寿命。然而,锯齿形切屑形成过程及机理尚未形成统一的观点,且锯齿形切屑几何表征的测量计算方法尚不统一,几何表征的变化规律亦不尽相同。因此,本文以钛合金Ti6Al4V为实验材料,依据多组锯齿形切屑金相样本,对锯齿形切屑的所有几何表征及变化规律进行了系统深入的研究;并通过观察分析锯齿形切屑的根部样本和切削力数据,对锯齿形切屑形成过程及切削过程中切削力的变化规律进行了研究。首先,对锯齿形切屑的各种几何表征理论进行了系统的归纳整理;凭借已有两组正交实验的锯齿形切屑金相样本,采用同一方法对各种几何表征进行测量计算,研究了切削参数对各几何表征的影响规律。结果表明:两组锯齿形切屑样本的锯齿化程度、锯齿化频率、绝热剪切带间距及锯齿间距、齿底角等常用几何表征随着切削用量的变化趋势基本相同;但变化幅度有所不同,这是因为获取两组锯齿形切屑样本所采用的刀具材料不同而引起的。其次,采用响应曲面实验法,利用快速落刀装置进行了直角自由切削的根切实验;依据根切实验中所获取的锯齿形切屑样本及切削力数据,对各几何表征及切削力随切削用量的变化规律进行了研究。结果表明:绝热剪切带间距和锯齿化频率随背吃刀量和进给量的变化规律与上述两组样本的变化规律一致;随切削速度的变化规律与上述两组样本变化规律不一致,这是因为切削速度较低,切屑处于由带状切屑向锯齿形切屑转变阶段所造成的。其他几何表征随切削参数的变化规律与上述两组样本的变化规律相吻合。进给力与切向力随背吃刀量和进给量的增大均呈上升趋势;随切削速度的增大呈先增后减趋势,这也是由于切削速度较低,切屑处于由带状向锯齿状转变过程所造成的。最后,通过观察分析根切实验中获取的锯齿形切屑根部样本,对锯齿形切屑的相邻锯齿间裂纹及锯齿形切屑演变过程进行了探讨。结果表明:相邻锯齿间裂纹产生于锯齿单元节段形成过程,即在锯齿节段形成的同时,该节段与后续切削层材料间就开始出现裂纹;这是由于在锯齿节段形成过程中,绝热剪切带与后续切削层材料存在很高的温度梯度,该处将产生较大的剪切应力,同时由切削层顶表面至刀尖处的绝热剪切带温度场内温度呈由低至高的变化规律,这也将使该处剪切应力增大,故而相邻锯齿间裂纹产生于此。

关键词：钛合金锯齿形切屑几何表征切削参数快速落刀