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光学薄膜的激光损伤

激光与红外 1984年第5期 13-20页

作者：王尚铎

激光系统光学薄膜的激光损伤是个复杂的问题,它的阈值与薄膜材料、膜结构及淀积参数有关,也与激光处理及所经受的激光脉冲特性有关。本文就这些方面概述一些增透膜及高反膜的损伤阈。一、膜材料用标准商业法镀了各种膜层,其中氧化物两... 详细信息

激光系统光学薄膜的激光损伤是个复杂的问题,它的阈值与薄膜材料、膜结构及淀积参数有关,也与激光处理及所经受的激光脉冲特性有关。本文就这些方面概述一些增透膜及高反膜的损伤阈。一、膜材料用标准商业法镀了各种膜层,其中氧化物两层或多层膜有SiO/TiO、SiO/TaO、SiO/ZrO及SiO/AlO,氟化物单层膜有MgF、NaF、NaAlF,两层或多层膜有MgF/ThF、MgF/PbF、ZnS/ThF。这些单层、两层或多层膜在1.06μm处除几个

关键词：增透膜伤阂脉宽抗反射膜高反膜激光波长激光损伤非电离辐射损伤光学薄膜

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光学增透膜

激光与红外 1983年第2期 24-29页

作者：王尚铎

本文就1973～1980年间发表的几篇美、英、西德专利介绍数种光学增透膜。其中有四种是全可见光波段用,其它是可见光区间的单波长用。衬底有一种是人造树脂,其它均为折射率在1.42～1.85的玻璃。膜材料用MgF、SiO、ThF、LaF、NdF、BeONa（... 详细信息

本文就1973～1980年间发表的几篇美、英、西德专利介绍数种光学增透膜。其中有四种是全可见光波段用,其它是可见光区间的单波长用。衬底有一种是人造树脂,其它均为折射率在1.42～1.85的玻璃。膜材料用MgF、SiO、ThF、LaF、NdF、BeONa（AlF）、AlO、CeF、LaF、LiF,折射率为1.32～1.62。中等折射率膜材料用MgO、ThOH、InO及MgO-AlO混合料,折射率为1.7～1.9。能用的高折射率膜材料有CeO、ZrO、TiO、TaO、ZnS、ThO,折射率为2～2.3。膜层是2～9层。有一种1/4波长结构四层膜系,最佳反射在500nm波长处为0.06％,在440～620nm波段处为0.14％。另一种膜系,最差反射在500nm波长处为0.5％。

关键词：膜材料光学厚度增透膜抗反射膜光学薄膜可见光波段膜系

通过脉冲激光辐照提高递变折射率增透表面的损伤阈

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激光与红外 1984年第7期 57-58页

作者：王尚铎

Schott光学玻璃公司最近研究出了一种方法,通过在NaHAsO的近中性溶液中腐蚀硼硅酸盐玻璃,在其上制出了递变折射率增透表面。这种中性溶液法（NSP）用来在广泛用于可见和近红外激光器光学元件的硼硅酸盐冕BK-7玻璃上制作增透表面。这种NS... 详细信息

Schott光学玻璃公司最近研究出了一种方法,通过在NaHAsO的近中性溶液中腐蚀硼硅酸盐玻璃,在其上制出了递变折射率增透表面。这种中性溶液法（NSP）用来在广泛用于可见和近红外激光器光学元件的硼硅酸盐冕BK-7玻璃上制作增透表面。这种NSP表面在Ins、1.06μm脉冲下,平均损伤阈为12j/cm,此值为SiO/TiO增透膜5j/cm平均损伤阈的2倍以上。最近发现,NSP增透表

关键词：激光发射变折射率辐照 NSP 激光理论增透

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离子辅助淀积技术及其在光学薄膜中的应用

激光与红外 1986年第8期 39-44页

作者：朱震王尚铎

本文介绍了离子辅助淀积技术中用的离子枪结构、特点以及在塑料透镜上镀氟化镁、各种氧化物材料及多层膜过程中应用离子辅助淀积技术获得优质的薄膜。

关键词：离子辅助淀积光学薄膜离子轰击镀多层膜反应蒸发离子流密度离子枪

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递变折射率增透膜

激光与红外 1984年第10期 17-20页

作者：王尚铎王遵信

一、前言本文介绍用化学法制作两种递变折射率增透膜。一种是用溶胶～凝胶法制作,是将衬底浸于碱性硼硅酸盐玻璃溶胶中淀积上一层或多层凝胶衍生膜,然后加热将膜相分离,接着用沥滤液腐蚀掉可沥滤的相而留下SiO含量高的相成膜,适用于多... 详细信息

一、前言本文介绍用化学法制作两种递变折射率增透膜。一种是用溶胶～凝胶法制作,是将衬底浸于碱性硼硅酸盐玻璃溶胶中淀积上一层或多层凝胶衍生膜,然后加热将膜相分离,接着用沥滤液腐蚀掉可沥滤的相而留下SiO含量高的相成膜,适用于多种不同的激光和光学材料衬底。另一种是用中性溶液法制作,是将可相分离的碱性硼硅酸盐玻璃“衬底”相分离,然后用沥滤液腐蚀掉可沥滤的相而留下SiO含量高的相成膜,适用于任何可相分离的大粒度玻璃“衬底”。后一种“薄膜”实际上是玻璃块体

关键词：增透膜石英康宁抗反射膜光学薄膜硅氧矿物四唑嘧磺隆玻璃衬底变折射率中性溶液溶胶一凝胶法激光损伤非电离辐射损伤宽波段宽频带

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TiO2薄膜的相结构和光学特性

激光与红外 1984年第12期 12-17+26页

作者：王尚铎刘胜永

本文就直流等离子体反应溅射、射频二极管反应溅射、反应蒸发、激活反应蒸发、离子束辅助淀积、增强化学汽相淀积及直流反应高速溅射这几种镀膜工艺,概要介绍TiO光学单层薄膜的相结构和光学特性。

关键词：二极管溅射吸收系数氧压吸收率衬底温度反应蒸发光学特性相结构