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耐高温抗氧化铱涂层的研究现状

真空与低温 2016年第4期22卷 187-191,232页

作者：高恒蛟熊玉卿赵栋才王金晓王兰喜兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

金属铱具有高熔点和良好的抗氧化性能,是1 800℃以上高温抗氧化涂层的首选材料。通过对国内外制备耐高温抗氧化铱涂层的研究现状进行了综述,探讨了铼基底上铱涂层的主要失效机制,分析了复合沉积技术对于制备高致密、高稳定性铱涂层的意义。

关键词：铱失效机制原子层沉积复合沉积

退火温度对Ta_(2)O_(5)薄膜光学和表面特性的影响

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真空与低温 2024年第1期30卷 78-82页

作者：李坤何延春王兰喜周超贺颖王虎王艺熊玉卿兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

针对退火温度影响Ta_(2)O_(5)薄膜的光学和表面特性的问题,采用电子束蒸发技术在石英基底上制备了该薄膜,并将薄膜样品分别在200℃、400℃和600℃下进行退火。利用光谱仪测试了薄膜的透射率并反演计算得到薄膜的折射率和消光系数的变化... 详细信息

针对退火温度影响Ta_(2)O_(5)薄膜的光学和表面特性的问题,采用电子束蒸发技术在石英基底上制备了该薄膜,并将薄膜样品分别在200℃、400℃和600℃下进行退火。利用光谱仪测试了薄膜的透射率并反演计算得到薄膜的折射率和消光系数的变化规律,采用X射线衍射仪和原子力显微镜表征了薄膜的表面性能。研究表明,薄膜透射率曲线的峰值随退火温度升高而显著提升。随着退火温度升高,薄膜的折射率和消光系数均逐渐变大,表面粗糙度呈现下降的趋势,表面变得致密。退火前后薄膜均为非晶态。该研究为进一步提高Ta_(2)O_(5)薄膜的性能提供了试验数据。

关键词： Ta_(2)O_(5)薄膜退火温度光学表面

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硝酸掺杂提高石墨烯透明导电膜导电性研究

真空与低温 2014年第1期20卷 38-42页

作者：郭磊陈学康王兰喜白晓航张超曹生珠兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室甘肃兰州730000

石墨烯同时具备高透过率和良好的导电性可作为透明导电材料，然而由于CVD法制备的石墨烯的多畴特性，以及石墨烯本征载流子浓度较低，目前石墨烯透明导电膜方阻偏高，还无法满足实际应用需要，因此探索提高石墨烯的导电性对推进石墨烯... 详细信息

石墨烯同时具备高透过率和良好的导电性可作为透明导电材料，然而由于CVD法制备的石墨烯的多畴特性，以及石墨烯本征载流子浓度较低，目前石墨烯透明导电膜方阻偏高，还无法满足实际应用需要，因此探索提高石墨烯的导电性对推进石墨烯透明导电膜应用发展是非常重要的。通过掺杂提高石墨烯的载流子浓度从而提高石墨烯的导电性是其中一条重要途径。采用CVD法在铜箔上制备了石墨烯透明导电膜，并用硝酸处理石墨烯，研究了掺杂作用对石墨烯载流子浓度以及电导率的影响。实验结果证实硝酸处理会在石墨烯中引入P型掺杂，掺杂使得载流子的浓度增加了约2．5倍。方阻从530～205Ω/□，显著改善了石墨烯的导电性能，而石墨烯高透过率特性并未因掺杂而降低。

关键词：石墨烯透明导电膜硝酸掺杂导电性

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电极间距对防原子氧聚硅氧烷薄膜性能的影响

真空与低温 2024年第1期30卷 71-77页

作者：李毅何延春王虎王兰喜曹生珠袁璐王江伟李中华兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄... 详细信息

与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄膜。用SEM、AFM、FTIR和XPS等表征分析了电极间距对聚硅氧烷薄膜性能的影响。结果表明,减小电极间距加速了单体的解离和碳基成分的氧化。随着电极距离的减小,薄膜的沉积速度增大,薄膜从有机无机聚硅氧烷薄膜(SiO_(x)C_(y)H_(z))向无机薄膜(SiO_(2))转化。薄膜中高解离能Si-O键的增多,降低了原子氧的侵蚀率。研究结果为用PECVD方法制备其他有机硅功能薄膜奠定了技术基础。

关键词：等离子增强化学气相沉积六甲基二硅氧烷电极间距薄膜原子氧

物理气相沉积铜膜本征应力形成机制及影响因素研究进展

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真空与低温 2021年第2期27卷 103-114页

作者：王兰喜张凯锋王虎王艺熊玉卿吴春华李坤周晖兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

在物理气相沉积铜膜的过程中,具有高表面迁移率的铜原子在基底表面以Volmer-Weber方式生长,铜膜通常会产生显著的本征应力(压应力或张应力),宏观表现出铜膜/基底材料整体的弯曲变形,这对后期铜膜在较高精度下的加工和应用造成不利影响... 详细信息

在物理气相沉积铜膜的过程中,具有高表面迁移率的铜原子在基底表面以Volmer-Weber方式生长,铜膜通常会产生显著的本征应力(压应力或张应力),宏观表现出铜膜/基底材料整体的弯曲变形,这对后期铜膜在较高精度下的加工和应用造成不利影响。主要综述了近几年在物理气相沉积铜膜本征应力的形成机制、影响因素等方面的研究进展,讨论降低或消除本征应力的技术途径。

关键词：真空镀铜膜本征应力形成机制影响因素研究进展

原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学特性的影响

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原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学特性的影响

中国真空学会2008学术年会

作者：王云飞陈学康郑阔海李中华王兰喜杨生胜冯展祖高欣兰州物理研究所真空低温技术与物理国家重点实验室

本文采用脉冲激光沉积方法在AlO(0001)基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C.轴择优取向的氧化锌薄膜。用自行研制的同轴源型原子氧地面模拟装置,以1.62×10AO·cm·s的原子氧束流强度(氧原子能量约5eV)对制备的薄膜进行了... 详细信息

本文采用脉冲激光沉积方法在AlO(0001)基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C.轴择优取向的氧化锌薄膜。用自行研制的同轴源型原子氧地面模拟装置,以1.62×10AO·cm·s的原子氧束流强度(氧原子能量约5eV)对制备的薄膜进行了不同时间(30、60、90和120min)的处理。通过X射线衍射(XRD)、透射光谱和拉曼光谱等分析手段对原子氧处理前后薄膜的结构及光学特性进行了分析。氧化锌薄膜的结晶质量随原子氧作用时间增加而显著变好,晶粒尺寸呈变大趋势,缺陷浓度明显降低;氧化锌薄膜的禁带宽度随原子氧作用时间增加而变小。采用本方法处理的氧化锌薄膜,可用于制备高性能的氧化锌基光电器件。

关键词：氧化锌薄膜 PLD 原子氧改性

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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离子轰击MgO薄膜二次电子发射的研究

真空与低温 2013年第3期19卷 135-140页

作者：李雅娟陈学康王骥李晨王兰喜李艳武兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室甘肃兰州730000

氧化镁因其二次电子发射系数高、抗溅射能力强等优异的性能,广泛应用于平板显示器等电子器件中,其二次电子发射性能有重要的研究价值。介绍了离子轰击下氧化镁薄膜发射的二次电子的典型测量装置及相关研究结论,总结了离子轰击下氧化镁... 详细信息

氧化镁因其二次电子发射系数高、抗溅射能力强等优异的性能,广泛应用于平板显示器等电子器件中,其二次电子发射性能有重要的研究价值。介绍了离子轰击下氧化镁薄膜发射的二次电子的典型测量装置及相关研究结论,总结了离子轰击下氧化镁薄膜二次电子的发射特性,同时对离子轰击的材料产生的二次电子发射的研究提出了建议。脉冲中和法比较适用于离子轰击下的氧化镁薄膜的二次电子发射的测量;不同晶面的MgO薄膜的二次电子发射系数不同,(111)晶面最高;低能离子入射情况下,二次电子的能量分布与离子类型无关。

关键词：氧化镁薄膜二次电子发射系数能量分布

氧分子在Mo(110)面吸附的第一性原理研究

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徐州工程学院学报（自然科学版） 2016年第3期31卷 37-42页

作者：高恒蛟熊玉卿刘孝丽赵栋才王兰喜王金晓兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730010

采用密度泛函理论和周期平板模型,研究了氧分子在Mo(110)表面的吸附行为.对氧分子在Mo(110)表面的3种吸附位置(顶位、桥位和穴位)的吸附能和几何构型参数进行了对比计算,确定了最稳定的吸附位置.在此基础上,利用原子轨道电荷分布和能态... 详细信息

采用密度泛函理论和周期平板模型,研究了氧分子在Mo(110)表面的吸附行为.对氧分子在Mo(110)表面的3种吸附位置(顶位、桥位和穴位)的吸附能和几何构型参数进行了对比计算,确定了最稳定的吸附位置.在此基础上,利用原子轨道电荷分布和能态密度(DOS)分析了氧分子与Mo原子的成键机理.结果表明:对于Mo(110)表面,氧分子在桥位的吸附是体系最稳定的几何构型,其吸附能为2.99eV;氧分子吸附于Mo(110)面主要是由于O的2p轨道与Mo的4p轨道发生重叠杂化的结果.

关键词：密度泛函理论吸附吸附能轨道电荷分布态密度

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城市公厕建设存在的问题及对策

城市建设理论研究(电子版) 2019年第2期 38-38页

作者：王兰喜临沂市环境卫生管理处

城市建筑当中公共厕所是不可或缺的一个重要组成成分,并在人们的生活工作过程当中发挥着比较重要的作用。公共厕所的应用对于城市来说是不可或缺的,而其运营过程是和区域布局和交通环境有着十分密切相关的联系的,因而设计公共厕所的时... 详细信息

城市建筑当中公共厕所是不可或缺的一个重要组成成分,并在人们的生活工作过程当中发挥着比较重要的作用。公共厕所的应用对于城市来说是不可或缺的,而其运营过程是和区域布局和交通环境有着十分密切相关的联系的,因而设计公共厕所的时候就需要充分考虑到周围地区环境布局,对其进行合理的规划以确保公共厕所的应用效果。但是现在公共厕所的设计建筑过程经常是存在一定的问题导致其应用效果不佳,针对此文章进行分析。

关键词：城市公厕公厕建设公共设施