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氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用研究

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物理学报 2024年

作者：张裕刘瑞文张京阳焦斌斌王如志北京工业大学材料科学与工程学院新能源材料与技术研究所新型功能材料教育部重点实验室中国科学院微电子研究所中国科学院大学

金属-半导体-金属 (MSM) 型氧化镓薄膜探测器的性能高度依赖于氧化镓薄膜的均匀性，工艺难度较高，对规模化、量产化薄膜探测器提出了挑战。本文首次在量产化悬臂式薄膜芯片表面物理沉积氧化镓薄膜，实现了一个五对叉指电极结构的MSM型... 详细信息

金属-半导体-金属 (MSM) 型氧化镓薄膜探测器的性能高度依赖于氧化镓薄膜的均匀性，工艺难度较高，对规模化、量产化薄膜探测器提出了挑战。本文首次在量产化悬臂式薄膜芯片表面物理沉积氧化镓薄膜，实现了一个五对叉指电极结构的MSM型氧化镓薄膜日盲探测器。得益于微机电系统 (MEMS) 工艺制备的悬臂式电极结构保护了内部电路与探测薄膜的完整均匀性，所获得的氧化镓薄膜虽然是非晶结构，但探测器仍然具备良好的紫外探测性能。在18 V偏压下其探测率达到7.9×1010Jones，外量子效率达到1779%，上升和下降时间分别为1.22 s和0.24 s，接近晶体氧化镓薄膜的探测性能。该探测器在无任何光学聚焦系统的情况下，实现了对户外日光环境下脉冲电弧的灵敏检测，将在日盲探测领域具有良好的潜在应用价值。本工作基于MEMS工艺的悬臂式电极结构开发的敏感功能薄膜沉积技术，避免了功能薄膜大面积均匀性对刻蚀电路的影响，为MSM型薄膜探测器的制备提供了新的技术方法和工艺路线。

关键词：氧化镓日盲探测器电弧检测

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基于内嵌式微通道芯片散热结构设计研究综述

集成电路与嵌入式系统 2024年第7期24卷 12-18页

作者：熊园园刘沛付予焦斌斌芮二明中国航天标准化与产品保证研究院北京100071 中国科学院微电子研究所北京100029

电子芯片/系统的尺寸微型化、功能复合化导致了其功率密度的增大,伴随着发热也越来越严重,如何应对电子芯片/系统逐渐增加的热流密度,成为散热设计中面临的巨大挑战,也是当前研究的热点。本文详细论述了传统散热技术的优缺点,对国内外... 详细信息

电子芯片/系统的尺寸微型化、功能复合化导致了其功率密度的增大,伴随着发热也越来越严重,如何应对电子芯片/系统逐渐增加的热流密度,成为散热设计中面临的巨大挑战,也是当前研究的热点。本文详细论述了传统散热技术的优缺点,对国内外正在开展的内嵌式微通道散热结构进行了系统分析,并着重对基于内嵌式微通道芯片散热技术原理、散热性能和创新性解决方案进行了归纳总结。在分析当前国内外解决方案的基础上,总结了基于内嵌式微通道的芯片散热设计经验和结论,以及面临的挑战,基于此给出了芯片散热设计研究现状和发展方向。

关键词：芯片散热内嵌式微通道热流密度散热结构分层复杂歧管

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大数据技术在审计业务中的应用探讨

市场周刊 2023年第3期36卷 158-161页

作者：焦斌斌西安工程大学陕西西安710600

大数据技术的发展推动了企业的互联网信息化的纵深应用,使审计项目的外部环境发生了改变,企业数据的日益增加使传统审计抽样的风险愈来愈高,还增加了审计费用。不过大数据分析技术能够改变审计进程,使审计项目的内部环境发生改变。通过... 详细信息

大数据技术的发展推动了企业的互联网信息化的纵深应用,使审计项目的外部环境发生了改变,企业数据的日益增加使传统审计抽样的风险愈来愈高,还增加了审计费用。不过大数据分析技术能够改变审计进程,使审计项目的内部环境发生改变。通过研究审计工作的内外部环境的改变,对比在新的环境中审计抽样和审计中全面调查的利弊;同时再对大数据技术是否可以提高审计效率并降低审计成本进行分析,从而实现在审计中的全面调查。用全面调查替代审计抽样,降低了审计风险,同时降低了舞弊的可能性,使审计业务流程更加合理。

关键词：大数据审计抽样全面调查

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面向个人终身学习的数字化学习服务中学习者个性化需求研究

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面向个人终身学习的数字化学习服务中学习者个性化需求研究

作者：焦斌斌东北师范大学

学位级别：硕士

教育信息化的快速发展和教育部“数字化学习港与终身教育的建设与示范项目”的提出,使终身学习逐渐成为教育界研究的热点,但是目前大部分对终身学习的研究仍然停留在单一层面上的研究,没有很好地将数字化学习与个性化学习相融合,使之为... 详细信息

教育信息化的快速发展和教育部“数字化学习港与终身教育的建设与示范项目”的提出,使终身学习逐渐成为教育界研究的热点,但是目前大部分对终身学习的研究仍然停留在单一层面上的研究,没有很好地将数字化学习与个性化学习相融合,使之为全社会的终身学习的开展提供更好的服务。因此本文基于教育部人文社会科学研究项目《面向个人终身学习的数字化学习服务模式研究》展开对终身学习者的个性化需求研究。论文围绕终身学习者的个性化需求展开研究,通过对终身学习者的数字化学习中个性化需求的调研,得到个性化需求概要模型。本文的研究目的是加大对个性化学习的支撑力度,充分了解终身学习者的个性化需求,并尽可能地满足其需求;本文的主要研究方法是问卷调查法,通过对三类终身学习者的个性化学习需求的调查统计分析,并结合相关学习理论,最终得到一个适用于终身学习的数字化学习服务模式的学习者个性化需求概要模型。

关键词：终身学习数字化学习个性化需求

用PECVD制备高抗腐蚀性能SiN_x薄膜的工艺研究

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功能材料 2010年第11期41卷 1907-1910页

作者：刘瑞文焦斌斌欧毅陈大鹏中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室北京100029

研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺。通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的... 详细信息

研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺。通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的变化。制备出的氮化硅薄膜可在高温强碱溶液(70℃、33.3%KOH溶液)中支撑12h而无明显变化,并实现自支撑全镂空薄膜。

关键词：等离子增强化学气相淀积(PECVD) SiNx薄膜湿法腐蚀

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热机械光读出非制冷红外成像系统建模分析

光电工程 2008年第7期35卷 130-135页

作者：焦斌斌陈大鹏张青川叶甜春高杰伍小平中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室合肥230037

针对热机械光读出非制冷红外成像系统缺乏系统级噪声模型的问题,本文提出了一种光电耦合模型。此模型以光电耦合器件的模式体现了光读出非制冷红外系统的噪声隔离特性。基于此模型,文中将系统噪声划分为由焦平面阵列(FPA)引入的内部噪... 详细信息

针对热机械光读出非制冷红外成像系统缺乏系统级噪声模型的问题,本文提出了一种光电耦合模型。此模型以光电耦合器件的模式体现了光读出非制冷红外系统的噪声隔离特性。基于此模型,文中将系统噪声划分为由焦平面阵列(FPA)引入的内部噪声和由于光读出系统引入的外部噪声。理论计算显示,系统的内部噪声对应的噪声等效温差(NETD)为5.94mK。实验结果显示,系统的外部噪声对应的NETD与系统的总噪声对应的NETD相当,为98mK。此结果说明,理论模型中对内部噪声影响的推断是合理的,且光读出成像系统的噪声主要源自外部噪声。

关键词：非制冷红外成像噪声建模 MEMS 焦平面阵列

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面向物联网应用的MEMS传感器技术

高科技与产业化 2016年第11期22卷 52-57页

作者：赵超焦斌斌中国科学院微电子研究所中国科学院大学

传感器和执行器是物联网系统的重要组成部分。智能传感器构成物联网系统的感知层,是完成物联网系统数据采集的最直接的系统单元。一个独立工作的物联网终端一般由传感器、数据处理单元（处理器加存储器）、电源管理单元和无线通讯单元... 详细信息

传感器和执行器是物联网系统的重要组成部分。智能传感器构成物联网系统的感知层,是完成物联网系统数据采集的最直接的系统单元。一个独立工作的物联网终端一般由传感器、数据处理单元（处理器加存储器）、电源管理单元和无线通讯单元组成。在这样的终端中,由传感器采集的数据通过数据处理单元的处理,由无线通讯系统传递到云端,实现与整个网络的连接。

关键词：传感器技术物联网 MEMS 数据处理单元无线通讯系统联网系统应用组成部分

基于Spring Boot研究生考试系统的设计与实现

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电脑知识与技术 2021年第32期17卷 78-80页

作者：焦斌斌沈阳化工大学辽宁沈阳110142

随着互联网技术的发展和参加研究生考试的人数逐年增加,已经对研究生入学考试和复试的题目的广度、类型、难度和安全提出更高的要求。系统采用前后端分离技术,前端使用基于***框架的ElementUI组件库;后端使用分层概念进行设计和开发,使... 详细信息

随着互联网技术的发展和参加研究生考试的人数逐年增加,已经对研究生入学考试和复试的题目的广度、类型、难度和安全提出更高的要求。系统采用前后端分离技术,前端使用基于***框架的ElementUI组件库;后端使用分层概念进行设计和开发,使用框架为Spring Boot。系统包括完整题库系统和组卷系统两部分,界面友好和操作简单,能够满足试卷的各种要求。使用黑盒和白盒测试技术对系统的各项性能指标进行测试,证明了系统的可用性、可行性和可靠性。

关键词：研究生考试系统题库组卷 Spring Boot Vue.js

光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响

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红外与毫米波学报 2009年第4期28卷 249-253页

作者：高杰张青川陈大鹏焦斌斌史海涛钱剑程腾伍小平中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室安徽合肥230027 中国科学院微电子研究所北京100029

在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度... 详细信息

在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L2/R=λ(λ为照明光波长)时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致.

关键词：非制冷红外成像双材料微悬臂梁光学读出焦平面阵列