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扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

中国激光 2016年第12期43卷 170-177页

作者：王玮巴音贺希格宋莹姜珊潘明忠中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光栅制造与应用工程技术研究中心吉林长春130033 中国科学院大学大珩学院北京100049

光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对准算法的收敛条件,... 详细信息

光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对准算法的收敛条件,并分析了光路中反射镜与解耦平面之间存在的装调误差对对准性能的影响。分析得出,装调误差降低了光束对准系统性能,甚至导致对准算法发散,通过调节光路中反射镜M_2和解耦平面的距离L_2与反射镜M_1和解耦平面的距离L_1的比值L_2/L_1可以优化系统的收敛性能。实验结果表明,当L_2/L_1较大时对准系统调节性能较差,收敛速率较低;当L_2/L_1较小时光束对准系统可以快速地收敛到目标位置,有效地对光束进行对准调节。推导证明与模拟分析可为光束对准系统以及整个曝光光路的设计提供理论指导。

关键词：光栅扫描干涉场曝光系统光束对准收敛性能装调误差

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新论商业银行内部资金转移价格第1版

2010年

作者：潘明忠

本书介绍商业银行内部经营过程中，内部资金划转的价格分析问题。

ISBN: (纸本)9787513601498

本书介绍商业银行内部经营过程中，内部资金划转的价格分析问题。

关键词：商业银行

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基于高精度端元的混合像元线性分解模型研究

红外与毫米波学报 2010年第5期29卷 357-361页

作者：潘明忠亓洪兴肖功海舒嵘中国科学院上海技术物理研究所上海200083

从理论上阐述了混合像元的产生机理和混合像元线性分解模型,研制了一套地面成像光谱实验系统,直接获取了高精度的端元光谱数据,通过像元合并的方式构造混合像元,针对不同丰度的非立体空间混合像元端元,分析了根据线性分解模型加权计算... 详细信息

从理论上阐述了混合像元的产生机理和混合像元线性分解模型,研制了一套地面成像光谱实验系统,直接获取了高精度的端元光谱数据,通过像元合并的方式构造混合像元,针对不同丰度的非立体空间混合像元端元,分析了根据线性分解模型加权计算得到的光谱与实际混合光谱的误差,进而论证了线性分解模型的精度.

关键词：超光谱成像混合像元分解线性分解模型端元

扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响

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光学学报 2014年第4期34卷 48-56页

作者：姜珊巴音贺希格宋莹潘明忠李文昊中科院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期的测量误差是影响曝光过程中相位拼接的主要因素。为制作符合离子束刻蚀要求的高质量光栅掩模,建立了条纹周期测量误差与扫描曝光对比度关系的数学模型,利用光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了扫... 详细信息

扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期的测量误差是影响曝光过程中相位拼接的主要因素。为制作符合离子束刻蚀要求的高质量光栅掩模,建立了条纹周期测量误差与扫描曝光对比度关系的数学模型,利用光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了扫描干涉场曝光光栅的显影模型,给出了光栅掩模槽形随周期测量误差的变化规律,并进行了实验验证。结果表明:周期测量误差不仅会使掩模槽形变差,还会引起槽形在空间上的变化。在周期测量的相对误差一定时,相位拼接误差与相邻扫描间的步进间隔成正比,与干涉条纹周期成反比。在显影条件一定、曝光光束束腰半径1mm、曝光步进间隔0.8mm、曝光线密度1800gr/mm时,周期测量误差控制在139ppm以内,理论上可以制作槽底洁净无残胶、槽形均匀的光栅掩模。

关键词：光栅扫描干涉场曝光系统周期测量误差槽形

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规模化和精细化是中国农业发展的基本方向

经济纵横 2008年第9期 67-69页

作者：顾书桂潘明忠中国社会科学院金融研究所北京100732 中国社会科学院研究生院北京100102

由于理论的局限性和实践经验的缺乏,中国农业发展虽然取得了很大的成绩,但并没有从根本上改变传统农业的特征。城市工业化对农村剩余劳动力的有限吸收决定了中国不可能照搬刘易斯模式实现农业现代化。规模化和精细化作为现代农业的两个... 详细信息

由于理论的局限性和实践经验的缺乏,中国农业发展虽然取得了很大的成绩,但并没有从根本上改变传统农业的特征。城市工业化对农村剩余劳动力的有限吸收决定了中国不可能照搬刘易斯模式实现农业现代化。规模化和精细化作为现代农业的两个发展方向,必将成为中国农业经营的现实选择。

关键词：传统农业现代农业规模化精细化

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大孔径面视场PG成像光谱仪的光学设计

光学精密工程 2017年第4期25卷 867-874页

作者：杨晋张锐潘明忠崔继承中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

针对成像光谱仪通过狭缝进行线视场成像时存在的孔径较小、光学透过率较低等问题,研究了一种基于棱镜-光栅型分光结构的大孔径面视场成像光谱仪。该棱镜-光栅成像光谱仪采用表面浮雕型透射光栅,极大地降低了光栅的制作难度与成本。大孔... 详细信息

针对成像光谱仪通过狭缝进行线视场成像时存在的孔径较小、光学透过率较低等问题,研究了一种基于棱镜-光栅型分光结构的大孔径面视场成像光谱仪。该棱镜-光栅成像光谱仪采用表面浮雕型透射光栅,极大地降低了光栅的制作难度与成本。大孔径面视场的成像光谱仪相较于线视场成像光谱仪有较高光学效率和时间效率。但是面视场成像光谱仪的色畸变与谱线弯曲较难校正。本文将前端望远系统与分光系统进行一体化设计,满足远心光路匹配和孔径匹配,较好地校正了面视场光谱成像系统中的谱线弯曲和色畸变。并且通过加入非球面反射镜及校正镜很好的校正了由于大孔径面视场所引入的非对称性离轴像差。结果表明,设计的大孔径面视场PG成像光谱仪光谱波段范围400~1 000nm,光学调制传递函数达到0.65以上,光谱分辨率达2.5nm,全谱段不同视场的谱线弯曲小于5μm,色畸变小于8μm。

关键词：成像光谱仪大孔径面视场谱线弯曲色畸变

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商业银行金融同业合作的创新空间及发展策略

银行家 2007年第11期 62-65+6页

作者：潘明忠光大银行同业机构部总经理

金融业的混业经营趋势、利率和汇率改革、金融机构的多样化和差异化、金融市场的建设和完善,以及信息网络技术的发展为我国商业银行同业合作带来了广阔的创新空间,商业银行应采取正确的发展策略迎接和分享这一机遇。

关键词：银行金融机构同业合作商业金融财政金融金融同业创新空间策略

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凸面光栅成像光谱仪的光谱定标

光学精密工程 2011年第12期19卷 2870-2876页

作者：齐向东撖芃芃潘明忠崔继承中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039

为了对自主研发的凸面光栅成像光谱仪进行光谱定标,基于单色准直光定标法设计了一套由单色仪和平行光管组成的光谱定标系统。采用自行研制的光谱定标数据采集软件及数据处理软件对凸面光栅成像光谱仪进行了光谱定标及定标数据分析。定... 详细信息

为了对自主研发的凸面光栅成像光谱仪进行光谱定标,基于单色准直光定标法设计了一套由单色仪和平行光管组成的光谱定标系统。采用自行研制的光谱定标数据采集软件及数据处理软件对凸面光栅成像光谱仪进行了光谱定标及定标数据分析。定标结果显示:该定标系统结构紧凑、通用性强,具有较高的定标精度,其光谱范围大于400～800nm,光谱分辨率优于10nm,能够满足实际定标要求。

关键词：成像光谱仪凸面光栅光谱定标单色准直光定标法

基于数字微镜器件的中阶梯光栅光谱仪的光学系统设计

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光学精密工程 2017年第12期25卷 2994-3000页

作者：张锐潘明忠杨晋巴音贺希格崔继承中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

研究了一种基于数字微镜器件(DMD)具有新型光路结构的中阶梯光栅光谱仪,并采用新的谱图信息接收方式来降低其使用成本和数据处理过程的复杂程度。将具有单波长选通功能的DMD与一维探测器光电倍增管(PMT)相结合接收中阶梯光栅光谱仪的光... 详细信息

研究了一种基于数字微镜器件(DMD)具有新型光路结构的中阶梯光栅光谱仪,并采用新的谱图信息接收方式来降低其使用成本和数据处理过程的复杂程度。将具有单波长选通功能的DMD与一维探测器光电倍增管(PMT)相结合接收中阶梯光栅光谱仪的光谱信息,在降低仪器成本的同时将中阶梯光栅光谱仪谱图还原算法与DMD扫描驱动算法相整合,提高了算法效率。由于DMD的填充因子比CCD稍低,该类光谱仪对成像质量和能量集中度提出了更高的要求。本文根据DMD型中阶梯光栅光谱仪特点,在有限的可挑选的光学材料下,采用多重优化的方式合理设计了中阶梯光栅光谱仪准直镜、中阶梯光栅、棱镜、聚焦镜等各个光学元件的光路结构参数,并且在Czerny-Turner结构中加入校正透镜和场镜,校正了系统所有像差,提高了整个光学系统的成像质量和光谱分辨率。最终设计的光谱仪系统分辨率达0.01nm,单个微反射镜内的光斑能量聚集度达到70%。

关键词：中阶梯光栅光谱仪光学设计数字微镜器件光电倍增管