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富硅氧化硅和ZnO掺Er薄膜的制备及光学特性

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富硅氧化硅和ZnO掺Er薄膜的制备及光学特性

作者：段淑卿大连理工大学

学位级别：硕士

由于Er在1.54μm波段的发光是由4f壳层中电子的4I→4I跃迁产生的,对应着石英光纤的最小吸收窗口,因此在光通讯领域得到了广泛的应用。随着光纤通信和集成光电子学的发展,人们越来越多的关注掺Er光波导放大器(EDWA)的研究,EDWA在通讯领... 详细信息

由于Er在1.54μm波段的发光是由4f壳层中电子的4I→4I跃迁产生的,对应着石英光纤的最小吸收窗口,因此在光通讯领域得到了广泛的应用。随着光纤通信和集成光电子学的发展,人们越来越多的关注掺Er光波导放大器(EDWA)的研究,EDWA在通讯领域的潜在应用前景对薄膜材料的研究提出了新的挑战。本硕士论文在国家自然科学基金(项目编号:50240420656)资助下完成的,论文中分别采用离子束辅助沉积(IBAD)和磁控溅射(MS)两种薄膜制备方法进行了掺Er材料的研究工作。实验内容分为三个部分,第一部分采用离子束辅助沉积的方法制备了掺Er-SiO薄膜。第二部分采用反应射频磁控溅射方法制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜。第三部分采用反应脉冲磁控溅射方法制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜。通过对薄膜形貌、组织结构、化学成分、光学特性以及光致荧光的检测分析及对比,探讨了不同沉积方法,不同基质材料薄膜中Er离子1.54μm光致荧光特性。论文中主要研究结果如下: 1.离子束辅助沉积制备掺Er-SiO薄膜的膜厚在微米量级;退火后薄膜中的O含量升高;结构分析结果表明;掺Er-SiO薄膜是无定形态,800℃退火后形成了纳米尺度的多晶硅薄膜,1100℃退火后薄膜的晶粒明显长大;光致荧光结果表明:未经退火的掺Er-SiO薄膜没有测到光致荧光,发光强度随退火温度的升高而增强,1100℃时强度达到最大。 2.反应射频磁控溅射法制备的Er/Yb共掺ZnO薄膜,沉积温度到500℃时,薄膜具有最高的择优取向性,在不同的退火阶段,薄膜结构变化明显:低于800℃退火是ZnO晶粒逐渐长大的阶段,900℃退火薄膜中出现了Er、Yb偏析,高于1100℃退火薄膜与基底发生界面反应;退火后薄膜中O含量增加;未退火及800℃退火后Er/Yb共掺ZnO薄膜没有观测到近红外光致荧光,高于900℃退火薄膜在1540nm附近具有明显的光致荧光,1050℃退火时光致荧光达到最大值;光谱呈现典型的晶体基质中Er离子荧光光谱所具有的明锐多峰结构特征;另外观察了Er/Yb共掺ZnO薄膜近紫外和可见光波段的光致荧光光谱。 3.同射频磁控溅射沉积Er/Yb共掺ZnO薄膜的XRD谱对比,脉冲磁控溅射沉积薄膜出现的稀土氧化物析出量小,发生界面反应的退火温度较高;薄膜的晶粒尺寸和薄膜应力都偏小;在1050℃退火获得了更强的光致荧光,并且在1537nm形成一个连续的发光带;实验证明:在Er/Yb共掺ZnO薄膜中,过高的Er、Yb掺杂浓度不利于获得Er离子高效的发光。

关键词：掺Er薄膜 Er/Yb共掺薄膜离子束辅助沉积磁控溅射光致荧光

抗菌药物规范化管理前后医院外科围手术期抗菌药物预防应用比较与分析

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抗菌药物规范化管理前后医院外科围手术期抗菌药物预防应用比较与...

作者：段淑卿山东大学

学位级别：硕士

[目的] 1.了解济南市某二级甲等医院在卫生部分别于2011年7月、2012年3月颁布《抗菌药物临床应用专项整治活动方案》前后,围手术期预防使用抗菌药物情况的变化情况,为医院制定外科抗菌药物政策提供依据。 2.了解不同级别医院的医... 详细信息

[目的] 1.了解济南市某二级甲等医院在卫生部分别于2011年7月、2012年3月颁布《抗菌药物临床应用专项整治活动方案》前后,围手术期预防使用抗菌药物情况的变化情况,为医院制定外科抗菌药物政策提供依据。 2.了解不同级别医院的医生与病人对抗菌药物相关的知识、态度、行为,为医院对医生提供差异的抗菌药物的使用宣教方式及监督机制及不同社会学特征的病人提供个性的抗菌药物宣教方式提供依据。 [研究方法] 1.选取2011年7月和2012年3月两个时间点前后三个时间段济南某二甲医院手术病人出院有效病历601份,其中Ⅰ类切口手术选择疝修补手术和甲状腺手术,Ⅱ类切口手术选择剖宫产手术。使用自行设计的调查表,收集基本情况、手术情况、用药情况、费用、术后伤口愈合情况、用药结果、药物不良反应等信息。使用Excel2007和SPSS17.0统计软件,对于基本情况进行描述性分析,通过x~2检验比较三个时间段抗菌药物使用的差异。 2.在济南市分别选取二级甲等和三级甲等各一家医院,使用自行设计的调查表对110名外科医生及321名病人进行调查问卷,了解他们抗菌药物相关的知识、态度和行为。对于抗菌药物的知、信、行首先进行描述性分析;不同人群间抗菌药物知、信、行等指标的比较采用秩和检验;抗菌药物知识、态度和行为之间的关系采用Spearman等级相关分析。 [结果] 1.二甲医院围手术期预防使用抗菌药物情况的变化经过两次整治后,抗菌药物变化显著且符合标准的有：甲状腺手术抗菌药物使用率为0,甲状腺手术术后停药时间小于24小时;围手术期抗菌药物用药的时机,三种手术均在术前在0.5～2h之内或断脐后;三种手术抗菌药物的联合应用;使用抗菌药物的种类。变化显著但仍不符合标准的有：Ⅰ类切口手术患者预防使用抗菌药物比例,疝修补术为64%;32%疝修补术术后停药时间大于24小时;Ⅱ类切口手术中11%剖宫产术术后停药时间大于48小时;限制使用级抗菌药物治疗的住院患者抗菌药物使用前微生物检验样本送检率由5%增长到45%;接受特殊使用级抗菌药物治疗的住院患者抗菌药物使用前微生物送检率由9%增长到75%,但仍未达到标准。未发生变化仍不符合标准的是三种手术时间超过3小时,或失血量大（＞1500ml）者,均未在术中给予第二剂。经过两次整治后,三种手术患者使用抗菌药物级别降低了,平均天数减少了,其人均抗菌药物费用降低了5倍左右,住院总费用变化不大。而医院所有外科手术病人变化较大的是抗菌药物使用强度减少到原来的二分之一、人均抗菌药物费用减少到原来的三分之一。此外,抗菌药物使用的减少并未引起术后刀口感染率增加。 2.两家医院外科系统医生抗菌药物相关知识、态度和行为外科医生对抗菌药物知识掌握程度总体上较低,二甲医院医生（平均68.2%）略高于三甲医院（平均59.9%）;考核办法对两家医院外科医生有一定影响,使用抗菌药物以指导原则为主要依据方面有很大变化;两家医院医生获得抗菌药物的主要途径是阅读文献资料与继续医学教育,分别为48（43.6%）人和41（37.2%）人;医院处罚政策对二甲医院医生的影响大于三甲医院,除国家法规政策外影响三甲医院规范用药的是职业道德;二甲医院医生的职称与抗菌药物知识成正相关;三甲医院抗菌药物知识与态度和行为成正相关。 3.两家医院病人抗菌药物相关知识、态度和行为。病人对抗菌药物知识知晓率均较低,在二甲、三甲医院分别是39.8%、44.96%,二者间差别无显著统计学意义;三甲医院病人对医生使用的抗菌药物方案的态度及住院手术治疗效果的感受满意度略低于二甲医院,其中住院费用对满意度影响最大;两家医院病人对医生的用药期望都以经济、有效为主;病人获得抗菌药物知识的主要途径是医生、亲友处;住院病人抗菌药物的知识掌握程度与自身学历相关（学历越高,知识掌握程度越高）,对抗菌药物的态度与学历和经济收入相关（学历越高、收入越高,抗菌药物态度得分越高）,抗菌药物的使用情况与学历相关（学历越高,抗菌药物的使用得分越高）;住院病人抗菌药物知识与态度之间存在相关关系,而行为与知识、态度之间没有相关关系。 [结论] 1.二甲医院经过两次整治后,三种手术术前用药时机、联合用药、抗菌药物使用种类、甲状腺病人术后用药时间已符合方案的规定;而三种手术术中追加药物、疝修补术和剖宫产术术后用药时间仍不符合规定;抗菌药物使用的减少并未造成感染的增加;微生物送检率（使用限制类及特殊类抗菌药物前）,-已经大大改善,但仍不符合方案的规定。 2.医院应针对二甲医院和三甲医院外科医生对抗菌药物知、信、行的调查,根据其不同特点进行相应对策,设立健全的反馈机制,抗菌知识成绩与处方权紧密联系。 3.患者抗菌药物行为不受抗菌

关键词：抗菌药物规范化管理外科围手术期预防应用比较与分析

高浓度Er/Yb共掺ZnO薄膜的结构及室温光致发光特性

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光学学报 2006年第2期26卷 311-316页

作者：段淑卿谭娜苗壮刘志文张庆瑜大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连116024

采用射频磁控溅射方法制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,研究了退火处理对高浓度Er/Yb共掺ZnO薄膜的结构演化和光致发光(PL)特性的影响。X射线衍射分析结果表明:Er/Yb掺杂导致ZnO薄膜的晶粒细化及择优取向性消失,ZnO晶粒随退火温度的增加而逐渐... 详细信息

采用射频磁控溅射方法制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,研究了退火处理对高浓度Er/Yb共掺ZnO薄膜的结构演化和光致发光(PL)特性的影响。X射线衍射分析结果表明:Er/Yb掺杂导致ZnO薄膜的晶粒细化及择优取向性消失,ZnO晶粒随退火温度的增加而逐渐长大。900℃退火时,出现Er3+、Yb3+偏析,退火温度高于1000℃时,薄膜与基体间发生了界面反应,1200℃时,ZnO完全转变为Zn2SiO4相。光致发光测量结果表明:高于900℃退火处理后,Er/Yb共掺ZnO薄膜在1540 nm附近具有明显的光致发光,发光强度在退火温度为1050℃时达到最大值;光致发光光谱呈现典型的晶体基质中Er3+离子发光光谱所具有的明锐多峰结构特征。此外,探讨了薄膜结构演化及其对光致发光光谱的影响。

关键词：光通信 Er/Yb共掺光致发光 ZnO薄膜微观结构

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铝焊垫俄歇分析中荷电效应影响及其降低方法

半导体技术 2017年第1期42卷 74-80页

作者：虞勤琴李明段淑卿中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海201203

铝焊垫表面残留物的检测是确保铝焊垫质量的重要指标。俄歇电子能谱仪(AES)由于检测区域小、表面分析灵敏度高,被广泛用于集成电路(IC)芯片制造中铝焊垫的表面成分分析,但荷电效应的存在常常会影响俄歇分析的结果。铝焊垫分析过程中,消... 详细信息

铝焊垫表面残留物的检测是确保铝焊垫质量的重要指标。俄歇电子能谱仪(AES)由于检测区域小、表面分析灵敏度高,被广泛用于集成电路(IC)芯片制造中铝焊垫的表面成分分析,但荷电效应的存在常常会影响俄歇分析的结果。铝焊垫分析过程中,消除或者减少荷电效应是保证俄歇分析结果正确的前提。从优化俄歇电子能谱仪分析条件(比如降低入射电压、倾斜样品载物台、Ar+离子中和)和使用辅助方法改善样品导电性两大方面,介绍了几种减少荷电效应的有效方法,提出了铝焊垫俄歇分析的基本流程。结果表明,此分析流程能有效提高分析效率,为业内俄歇分析人员提供借鉴。

关键词：铝焊垫俄歇电子能谱荷电效应表面分析样品处理

先进集成电路超大测试结构的短路失效定位方法

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半导体技术 2022年第5期47卷 416-420页

作者：杨领叶史燕萍段淑卿陈强蔡恩静吕煜坤高金德上海华力集成电路制造有限公司上海201314

针对先进集成电路超大测试结构的超薄金属缺陷导致的短路失效问题,开发了一种新的失效定位方法,该方法结合了电阻比例法、被动电压对比(PVC)、聚焦离子束(FIB)线路修补以及二分法等。通过电阻比例法,可以粗略地计算出该缺陷在结构中的... 详细信息

针对先进集成电路超大测试结构的超薄金属缺陷导致的短路失效问题,开发了一种新的失效定位方法,该方法结合了电阻比例法、被动电压对比(PVC)、聚焦离子束(FIB)线路修补以及二分法等。通过电阻比例法,可以粗略地计算出该缺陷在结构中的大概位置,再利用FIB线路修补,结合PVC以及二分法,逐步将缺陷所在位置缩小到适合透射电子显微镜(TEM)分析的尺寸,通过TEM分析,定位到了导致金属线短路的超薄金属缺陷。

关键词：超薄金属缺陷电阻比例法被动电压对比(PVC) 二分法聚焦离子束(FIB)线路修补

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内镜下食管静脉曲张套扎术后的观察和护理

世界最新医学信息文摘 2017年第49期17卷 176-176页

作者：段淑卿山东省济南市第三人民医院

目的内镜下食管静脉曲张套扎术后的观察和护理。方法采取内镜下食管静脉曲张套扎术对患者进行治疗,通过胃镜吸引使用一次性套扎器连续对曲张的粗大食管静脉进行套扎。结果患者顺利完成治疗,所有患者均止住血,有1例患者术后第6天由于进... 详细信息

目的内镜下食管静脉曲张套扎术后的观察和护理。方法采取内镜下食管静脉曲张套扎术对患者进行治疗,通过胃镜吸引使用一次性套扎器连续对曲张的粗大食管静脉进行套扎。结果患者顺利完成治疗,所有患者均止住血,有1例患者术后第6天由于进食不当而引发大出血,经抢救后无效死亡,有1例患者由于术后过早下床活动而诱发大出血。结论采用EVL对肝硬化合并EVB患者进行治疗,做好护理工作,可使得再出血的并发症得到预防,住院天数得到减少,生活质量得到提高。

关键词：内镜下食管静脉曲张套扎术大出血护理

TEM样品制备辅助研究介质层可靠性失效机理

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半导体技术 2009年第5期34卷 498-501页

作者：李明段淑卿郭强简维廷中芯国际集成电路制造上海有限公司上海201203

研究了TEM样品制备条件对Cu/低k制程ILDTDDB失效样品及含更低介电常数(k=2.7)介质层样品的TEM成像质量的影响,发现在一定的样品制备条件下低介电常数介质的疏松特性可在TEM成像时得到增强显示,进而揭示了某Cu/低k制程ILDTDDB可靠性失效... 详细信息

研究了TEM样品制备条件对Cu/低k制程ILDTDDB失效样品及含更低介电常数(k=2.7)介质层样品的TEM成像质量的影响,发现在一定的样品制备条件下低介电常数介质的疏松特性可在TEM成像时得到增强显示,进而揭示了某Cu/低k制程ILDTDDB可靠性失效样品的失效机理为芯片制造过程中介质层沉积温度异常导致其疏松特性增强,介电常数降低,从而导致其电绝缘性能下降而引起TDDB可靠性测试项目失效。

关键词：透射电子显微镜样品制备低介电常数材料介质层TDDB可靠性测试

心理干预联合音乐疗法在普通胃肠镜检查中的应用及对病人影响分析

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世界最新医学信息文摘 2018年第78期 286-287页

作者：段淑卿山东省济南市第三人民医院

目的心理干预联合音乐疗法在普通胃肠镜检查中的应用及对病人影响分析。方法抽取104例胃肠镜检查病人进行探讨,随机分组,对照组采取常规护理,研究组采取心理干预联合音乐疗法。结果通过对比,研究组显著优于对照组,差异明显,具有统计学... 详细信息

目的心理干预联合音乐疗法在普通胃肠镜检查中的应用及对病人影响分析。方法抽取104例胃肠镜检查病人进行探讨,随机分组,对照组采取常规护理,研究组采取心理干预联合音乐疗法。结果通过对比,研究组显著优于对照组,差异明显,具有统计学意义。结论针对胃肠镜检查病人开展心理干预联合音乐疗法,能够提高SAS值,有利于检查的顺利进行,提高患者的耐受力,具有良好的效果。

关键词：心理干预音乐疗法胃肠镜检查护理干预

晶体结构对Er/Yb共掺ZnO薄膜光致荧光特性的影响

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真空科学与技术学报 2006年第Z1期26卷 9-13页

作者：谭娜段淑卿张庆瑜大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连116024 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连116024 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连116024

采用脉冲磁控溅射技术制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,对不同退火温度下薄膜晶体结构和光致荧光(PL)光谱进行了系统分析,探讨了退火处理所导致的晶体结构变化以及反应新相的生成对Er3+离子激活、薄膜PL光谱的影响.研究结果表明,退火处理所导致... 详细信息

采用脉冲磁控溅射技术制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,对不同退火温度下薄膜晶体结构和光致荧光(PL)光谱进行了系统分析,探讨了退火处理所导致的晶体结构变化以及反应新相的生成对Er3+离子激活、薄膜PL光谱的影响.研究结果表明,退火处理所导致的Er3+离子PL光谱的变化与薄膜的微观状态之间有着密切的联系.在室温到1050℃退火温度范围内,Er/Yb共掺ZnO薄膜为多晶结构,薄膜荧光强度的增加主要是薄膜内氧含量增加、缺陷减少使Er3+离子荧光寿命增加以及Er3+离子激活比例增加所致.当退火温度超过1050℃,荧光强度的明显降低是由新相生成造成缺陷增加以及薄膜内氧含量降低引起.在整个退火温度范围内,薄膜的PL光谱都表现为同一种光谱特性,即明锐的多峰结构,这说明Er3+在ZnO和Zn2SiO4中的周围环境非常相似.

关键词：晶体结构 Er/Yb共掺ZnO薄膜光致荧光