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pH-ISFET在电位滴定中的应用
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传感器技术 1990年 第2期9卷 49-53页
作者: 王政祥 武世香 哈尔滨工业大学
本文介绍了以pH-ISFET为检测器的电位滴定系统,研究了强酸与强碱的滴定。用pH-ISFET作为检测器,与其它种类检测器的滴定规律相似,pH-ISFET电位滴定系统可将被检测液的浓度下限拓展到10^(-5)N数量级。该系统辨认等当点的能力强,而且具有... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1991年 第2期10卷 53-58页
作者: 武世香 虞惇 王贵华 哈尔滨工业大学
ISFET是一种电位控制器件,又是一种阻抗变换器,输出信号大;其测量线路比较简单,形式很大。它们都是通过检测溶液与敏感膜间的界面电势差Φ的变化来测量待测离子活度(或浓度)的。本节予以综述。
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化学量传感器
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传感器技术 1991年 第6期10卷 52-60页
作者: 虞惇 王贵华 武世香 哈尔滨工业大学
在溶液分析中,被测液的组成大多比较复杂、往往需要同时分析溶液中的多种离子成分,因此ISFET的集成化和多功能化多年来始终是人们追求的目标。由于ISFET在工艺上与MOSFET基本相容,其目标的实现成为可能。 ISFET的集成化分为两大方向,一... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1990年 第4期9卷 51-56,45页
作者: 武世香 虞惇 王贵华 哈尔滨工业大学
三、pH-ISFET的设计与制作 (一)pH-ISFET的设计原则 pH-ISFET的设计原则与普通MOS-FET基本相同,后者已是较为普及的知识,故此处着重讨论pH-ISFET设计中需特殊考虑的问题。 1.材料选择 材料选择包括材料的导电类型、电阻率、晶向等方面... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1990年 第1期9卷 57-62,45页
作者: 武世香 虞惇 王贵华 哈尔滨工业大学
第四讲 离子敏场效应器件 五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺 如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件,而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1991年 第5期10卷 57-62页
作者: 虞惇 王贵华 武世香 哈尔滨工业大学
ISFET虽然具有重量轻、体积小、响应快以及易于实现集成化和多功能化等特点而倍受人们的重视,但是这类器件还存在着漂移和滞后量大等不足,影响了测量精度。众所周知,对于一价离子,如按Nernst公式估算,每1mV的测量偏差大约相当于4%的浓... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1992年 第1期11卷 49-56页
作者: 虞惇 王贵华 武世香 哈尔滨工业大学
随着ISFET研究的深入,与之相应的分析测试技术和测量仪器也在不断地更新和完善,这对提高测量的可靠性和分析精度起着重要的作用。本节予以介绍。 (一)仪器放大器型ISFET分析测量仪 其电路示于图12-1中。放大器A_1、A_2和A_3构成仪器放... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1990年 第3期9卷 56-60,55页
作者: 武世香 虞椁 王贵华 哈尔滨工业大学
二、pH-ISFET的基本结构与工作原理 氢离子敏场效应晶体管(pH-ISFET)与MOSFET的区别仅在于后者的金属栅被氢离子敏感膜所代替,二者都是建立在半导体表面场效应基础上的器件,有许多相似之处,因而可将MOSFET的理论分析及其结果直接用于对p... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1990年 第6期9卷 53-59,62页
作者: 武世香 虞惇 王贵华 哈尔滨工业大学
第四讲 离子敏场效应器件 五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺 如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件,而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选... 详细信息
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化学量传感器
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传感器技术 1990年 第5期9卷 52-58页
作者: 武世香 虞惇 王贵华 哈尔滨工业大学
四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述,离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。
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