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纳米金属氧簇EUV光刻胶及其性能影响因素

中国科学:化学 2024年

作者：邢攸美胡涛方伟华尹云舰高立江刘伟鑫徐钉金海安王国杰杭州格林达电子材料股份有限公司北京科技大学材料科学与工程学院中国电子材料行业协会

随着半导体行业的发展,先进电子技术亟需更高电子元件密度的集成电路(integrated circuit,亦称积体电路).在集成电路光刻技术(photolithography,亦称微影技术)中,图案化特征结构的尺寸主要取决于曝光光源的波长.为将图形化尺寸推到更小... 详细信息

随着半导体行业的发展,先进电子技术亟需更高电子元件密度的集成电路(integrated circuit,亦称积体电路).在集成电路光刻技术(photolithography,亦称微影技术)中,图案化特征结构的尺寸主要取决于曝光光源的波长.为将图形化尺寸推到更小的极限,曝光光源的波长从紫外发展到极紫外.近年来,波长为13.5 nm的极紫外光(extreme ultraviolet, EUV)成为新一代光刻技术的光源,是实现10 nm及以下制程的关键因素.除光源和光刻机外,光刻胶(photoresist,亦称光阻)也是决定图案化特征尺寸的重要因素,其关键性能指标包括分辨率、灵敏度、线边缘粗糙度和线宽粗糙度等.目前适配于EUV光源的光刻胶主要有聚合物、分子玻璃和金属基材料等几类,其中,纳米金属氧簇EUV光刻胶具备高灵敏度、高分辨率和低粗糙度等性能,成为半导体集成电路行业的研究热点.本文主要介绍近年来纳米金属氧簇EUV光刻胶体系的组成、结构特征及其性能影响因素,采用多种表征手段,从分辨率、灵敏度和粗糙度等角度阐述光刻胶成分结构及环境因素对光刻过程及图案形成的影响,多层次了解其光刻机理及性能平衡策略.

关键词：纳米结构金属氧簇极紫外光刻胶半导体集成电路

我市今年将建1500个公共充电桩 3000个私人充电桩

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我市今年将建1500个公共充电桩 3000个私人充电桩

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）充电基础设施建设是我市今年省、市重点民生实事。2024年，我市将建设1500个公共充电桩、3000个私人充电桩，加快构建布局合理、车桩相随的充电网络，进一步满足广大群众的电动汽车充电需求... 详细信息

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）充电基础设施建设是我市今年省、市重点民生实事。2024年，我市将建设1500个公共充电桩、3000个私人充电桩，加快构建布局合理、车桩相随的充电网络，进一步满足广大群众的电动汽车充电需求。目前，我市已建成284个充电桩，90个充电......

关键词：充电桩充电基础设施

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我市3个项目入选全省城市更新示范项目

我市3个项目入选全省城市更新示范项目

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，河南省住房和城乡建设厅发布河南省第一批城市更新示范项目建设公示名单，我市襄城县的明清古街修复改造项目、魏都区的“再见三国”区域城市更新（一期）项目、市城乡一体化示范区的... 详细信息

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，河南省住房和城乡建设厅发布河南省第一批城市更新示范项目建设公示名单，我市襄城县的明清古街修复改造项目、魏都区的“再见三国”区域城市更新（一期）项目、市城乡一体化示范区的中央公园片区提升项目等3个城市更新项目成......

关键词：城市更新

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中文作为第二语言教学中口语能力培养策略

汉字文化 2024年第8期 80-82页

作者：张建修冉婷刘良羽黄钉王意涵宜宾学院国际教育学部 644000

本研究探讨了中文作为第二语言口语能力的培养策略,重点关注任务型教学法、角色扮演与情景模拟以及群文阅读法的应用。笔者通过案例分析和实证研究,发现这些策略对学生口语能力的提升具有显著效果。任务型教学法强调学生在实际任务完成... 详细信息

本研究探讨了中文作为第二语言口语能力的培养策略,重点关注任务型教学法、角色扮演与情景模拟以及群文阅读法的应用。笔者通过案例分析和实证研究,发现这些策略对学生口语能力的提升具有显著效果。任务型教学法强调学生在实际任务完成中提升语言能力;而角色扮演和情景模拟则注重运用能力和交际技能,增强学生的口语表达能力;群文阅读法则通过小组阅读和讨论,拓展语言输入,提高语言交际能力。本研究为中文作为第二语言口语教学提供了实用的教学策略和理论支持。

关键词：汉语教学第二语言口语

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我市今年将创建19个“无废小区”

我市今年将创建19个“无废小区”

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，我市印发《许昌市“无废小区”创建工作方案》，明确今年将创建19个“无废小区”。参创“无废小区”的对象，是我市已交付使用、建筑面积在5万平方米以上的物业服务小区。《方案》明确... 详细信息

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，我市印发《许昌市“无废小区”创建工作方案》，明确今年将创建19个“无废小区”。参创“无废小区”的对象，是我市已交付使用、建筑面积在5万平方米以上的物业服务小区。《方案》明确，围绕我市“无废城市”建设目标要求，按......

关键词：考核评价物业服务

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我市发布2024年房地产市场调控目标

我市发布2024年房地产市场调控目标

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，《许昌市2024年房地产调控工作目标》（以下简称《目标》）印发，以“稳地价、稳房价、稳预期”为目标，提出将继续实行契税缴纳政府补贴政策、推动认房不认贷政策落地等，以进一步提... 详细信息

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）日前，《许昌市2024年房地产调控工作目标》（以下简称《目标》）印发，以“稳地价、稳房价、稳预期”为目标，提出将继续实行契税缴纳政府补贴政策、推动认房不认贷政策落地等，以进一步提振房地产市场发展信心，促进房地产行业平稳......

关键词：房地产市场调控二手房市场

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我市超额完成今年充电基础设施建设任务

我市超额完成今年充电基础设施建设任务

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）作为今年省、市重点民生实事，2024年，我市将建设公共领域充电桩（枪）1000个，截至7月底已建设完成87座充电站和687个充电桩、1181个充电枪，完成率达年度任务的118.1%。今年以来，我市按... 详细信息

本报讯（记者高伟山通讯员魏錾钉田苗）作为今年省、市重点民生实事，2024年，我市将建设公共领域充电桩（枪）1000个，截至7月底已建设完成87座充电站和687个充电桩、1181个充电枪，完成率达年度任务的118.1%。今年以来，我市按照“分工合作、协同推进”原则，明确各部......

关键词：充电基础设施充电桩

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我市加快建筑和市政基础设施设备更新改造

我市加快建筑和市政基础设施设备更新改造

许昌日报

作者：高伟山魏錾钉田苗

本报讯（记者　高伟山　通讯员　魏錾钉　田苗）为保障城市安全运行，我市日前出台实施方案，以住宅电梯、供水、供热、供气、污水处理、城市生命线工程、建筑施工设备、建筑节能改造等为重点，加快推进全市建筑和市政基础设施设备更... 详细信息

本报讯（记者　高伟山　通讯员　魏錾钉　田苗）为保障城市安全运行，我市日前出台实施方案，以住宅电梯、供水、供热、供气、污水处理、城市生命线工程、建筑施工设备、建筑节能改造等为重点，加快推进全市建筑和市政基础设施设备更新改造，推进城市高质量发展。加快建筑和......

关键词：市政基础设施更新改造

万宁小海红树林区域大型底栖动物的多样性格局及影响因素分析

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中文科技期刊数据库（全文版）自然科学 2024年第9期 0009-0012页

作者：李平汝韦秀陈靓符钉辉袁源中国地质调查局海口海洋地质调查中心海南海口571127

红树林是一种独特的生态系统,具有丰富的生物多样性。其中,底栖动物群落是红树林生态系统的重要组成部分,它们在能量的流动、物质的循环和生态系统的平衡中起着至关重要的作用。在海南省,红树林面积分布广泛,其中万宁小海区域的种植红... 详细信息

红树林是一种独特的生态系统,具有丰富的生物多样性。其中,底栖动物群落是红树林生态系统的重要组成部分,它们在能量的流动、物质的循环和生态系统的平衡中起着至关重要的作用。在海南省,红树林面积分布广泛,其中万宁小海区域的种植红树林是比较典型的代表。因此,本文旨在通过对万宁小海红树林区域大型底栖动物的多样性格局及影响因素进行研究,为保护红树林生态系统和底栖动物提供科学依据。在万宁小海红树林区域的大型底栖动物调查中,发现栖息密度和生物量在不同站位间存在显著差异。例如,WN01站位的栖息密度高达288.00ind/m2,生物量也相应较高。这种差异主要受到生存环境和底质因素的影响。红树林为底栖动物提供了丰富的栖息地和食物来源,而潮汐、气候和季节变化也显著影响其分布。同时,不同底质类型如软泥、泥沙和沙质对底栖动物的生存和繁殖具有重要影响。受光滩环境和底质因素影响,研究区大型底栖动物在人工林比自然林丰富,综上所述,万宁小海红树林区域的大型底栖动物分布是多因素综合作用的结果。

关键词：大型底栖动物多样性格局万宁小海红树林区域